线锯用加工液供给喷嘴及向线锯供给加工液的方法技术

提供一种双重管构造的线锯用加工液供给喷嘴，前述线锯用加工液供给喷嘴能够在不被加工液向喷嘴内的供给条件、加工液的状态等影响的情况下，简单且高精度地进行线锯用加工液供给喷嘴的延伸方向的加工液的喷出量的调整。本发明专利技术的线锯用加工液供给喷嘴是具有内管和外管的双重管构造。向内管的内部供给的加工液经由内管的多个孔向外管的内部排出，进而经由外管的狭缝向线锯喷出。在外管，在与内管的多个孔相向的位置分别设置孔。螺栓安装于这些外管的多个孔，使螺栓相对于外管的孔的固定位置从外管的外部移动，由此能够将内管的各个孔的加工液的排出量个别地调整。此外，螺栓经由位于与外管的外表面接触的位置的螺母，相对于外管的孔固定。

【技术实现步骤摘要】
线锯用加工液供给喷嘴及向线锯供给加工液的方法
本专利技术涉及为了向从硅等铸锭切出多个晶片的线锯供给浆料、冷却剂等加工液而使用的线锯用加工液供给喷嘴及向线锯供给加工液的方法。
技术介绍
作为半导体基板的晶片通过将由硅、化合物半导体等构成的铸锭切断来制造。近年来，铸锭的切断方法的主流为借助线锯同时切出多张晶片的方法。包括这些铸锭，将接受线锯的切断处理的对象物在本说明书中称作“工件”。这里，利用图2说明线锯的大致情况。线锯40具有线组44、工件保持机构46、喷嘴200，前述线组44将线在多个辊42A、42B、42C间并列且能够往复行进地张紧，前述工件保持机构46保持工件W，前述喷嘴200向线组44供给加工液。工件的切断方法大致分为游离磨粒方式和固定磨粒方式。游离磨粒方式的情况下，将包括磨粒的浆料从喷嘴200向线组44连续供给，同时使线组44沿其延伸方向Z高速地往复行进。与此同时，借助工件保持机构46，相对于线组44使工件W沿推入的方向移动。借助此时的磨粒的切削作用，能够将工件W同时切出多数张晶片。固定磨粒方式的情况下，通过树脂或电镀使用固接有磨粒的线(固定磨粒线)进行切片加工，所以从喷嘴200向线组44供给的是不含磨粒的冷却剂。另外，在图2中，描绘了线组44在图中从左向右移动的状态。这里，作为向线组44喷出加工液的喷嘴200，已知图3(A)~(C)所示那样的双重管构造的。图3所示的线锯用加工液供给喷嘴200包括内管10及外管20。内管10直线状地延伸，沿其延伸方向E1设置有相同直径的多个孔12。外管20在内管10的外侧延伸，沿其延伸方向E1在与内管的孔12相反的一侧的位置设置有恒定宽度的狭缝22。加工液L被向内管的内部14供给，经由内管的多个孔12向外管的内部24排出，进而经由狭缝22被喷出。如图2及图3所示，工件及喷嘴200在线组44位于上使得与其延伸方向Z正交的位置。因此，从喷嘴的狭缝22喷出的加工液L如图3(A)所示，被向线组44上供给后沿线组44的行进方向移动。此时，有时来自狭缝22的加工液的喷出量沿喷嘴200的延伸方向E1不均。例如，图3所示的喷嘴200中，从一个端部200A向内管的内部14供给加工液，另一个端部200B被固封。该情况下可知，若作为加工液使用冷却剂，则来自内管的孔12的冷却剂的每单位时间的排出量为，与靠近端部200A的上游侧的孔相比，在靠近端部200B的下游侧的孔处变多。因此，如图3(A)所示，从狭缝22喷出的冷却剂L的线组44上的到达位置也是与喷嘴200的上游侧相比在下游侧变远。另一方面，若作为加工液使用浆料，则来自内管的孔12的浆料的每单位时间的排出量为，与下游侧相比在上游侧变多。这样，若来自狭缝22的加工液的喷出量、到达位置沿喷嘴200的延伸方向E1不均，则导致被上游侧的线切断的晶片和被下游侧的线切断的晶片加工精度不同这样的加工精度的不均。因此，希望抑制这样的由加工液的不同导致的喷出量、到达位置的不均。另外，以下在本说明书中，在喷嘴的内管的内部的加工液的流动中，将端部200A侧表述为“上游”，将端部200B侧表述为“下游”。专利文献1中，作为以游离磨粒方式喷出包括磨粒的浆料的喷嘴，记载有单管式的喷嘴、双重管构造的喷嘴。单管式的喷嘴中，记载有使喷出浆料的狭缝的宽度从上游向下游逐渐增加，使得浆料从狭缝均匀落下(参照引用文献1图3)。但是，在双重管构造的喷嘴中，记载着即使狭缝的宽度沿其延伸方向恒定，浆料也从狭缝均匀落下(参照引用文献1第[0012]段)。专利文献2中，作为在游离磨粒方式下喷出包括磨粒的浆料的喷嘴，记载有双重管构造的喷嘴。该喷嘴中，意欲通过使内管的孔的直径从上游向下游逐渐增加来使来自各孔的浆料的排出量恒定。专利文献1：日本特开平7-195358号公报。专利文献2：日本特开平10-291212号公报。专利文献1中，未认识到即使在双重管构造的喷嘴中来自狭缝的加工液的喷出量也不均的图3中说明的技术问题。此外，即使在图3中，使狭缝22的宽度在上游侧较窄而在下游侧较宽的情况下，也不能解决既述的问题。该情况下，从狭缝22的上游侧比下游侧更猛烈地喷出加工液，所以抑制图3(A)所示的加工液的到达位置的不均。然而，虽然有到达位置对齐的倾向，但仍然有来自内管的孔的排出量不均的情况，这是因为来自狭缝22的实际的喷出量与上游相比在下游侧较多的状态不变。因此，不能消除晶片的加工精度的不均。专利文献2是调整来自内管的孔的排出量的技术，所以也能够抑制来自狭缝的喷出量的不均。然而，根据本专利技术的多位专利技术人的研究，可知在预先调整内管的孔的尺寸的方法中，不能将喷出量的调整高精度且简易地进行。在本专利技术的多位专利技术人实际进行的实验中，用铝带覆盖相同尺寸的多个孔，将开在铝带的孔的大小微调，同时试着将来自各个孔的排出量对齐。但是，虽然能够进行某种程度的排出量的调整，但高精度的调整较难，此外，难以得到再现性。并且，来自内管的孔的排出量的不均由于向喷嘴内的加工液供给条件、加工液的状态等各种要因而各种各样地变化，但若像专利文献2那样地预先确定孔的直径，则不能与这些各种各样的要因对应。
技术实现思路
因此，本专利技术鉴于上述问题，目的在于提供一种线锯用加工液供给喷嘴，前述线锯用加工液供给喷嘴能够在不被加工液向喷嘴内的供给条件、加工液的状态等影响的情况下，简单且高精度地进行线锯用加工液供给喷嘴的延伸方向的加工液的喷出量的调整，前述线锯用加工液供给喷嘴是双重管构造的。本专利技术也一并提供使用该线锯用加工液供给喷嘴的向线锯供给加工液的方法。能够实现上述目的的本专利技术的主要技术方案如下所述。本专利技术的线锯用加工液供给喷嘴具有内管和外管，前述内管直线状地延伸，沿其延伸方向设置有多个孔，前述外管沿该内管的外侧延伸，沿其延伸方向在与前述内管的孔错开的位置设置有宽度恒定的狭缝，向前述内管的内部供给的加工液经由前述内管的多个孔向前述外管的内部排出，进而经由前述外管的狭缝向线锯喷出，前述线锯用加工液供给喷嘴是双重管构造的，其特征在于，在前述外管处，在与前述内管的多个孔相向的位置分别设置有孔，在该外管的多个孔处，分别安装向相向的前述内管的孔延伸的螺栓，使前述螺栓相对于前述外管的孔的固定位置从前述外管的外部移动，由此，能够个别地调整前述内管的各个孔的加工液的排出量，前述螺栓经由位于与前述外管的外表面接触的位置的螺母，相对于前述外管的孔固定。这里，优选的是，前述外管由包括前述外管的多个孔的上部零件、包括前述狭缝的下部零件构成，前述上部零件和前述下部零件能够拆装。此外，优选的是，前述螺栓具有直径向前述内管的孔逐渐减小的末端部。进而，优选的是，前述螺栓的直径为前述内管的孔的直径以上。本专利技术的向线锯供给加工液的方法使用线锯用加工液供给喷嘴，前述线锯用加工液供给喷嘴具有内管和外管，前述内管直线状地延伸，沿其延伸方向设置有多个孔，前述外管沿该内管的外侧延伸，沿其延伸方向在与前述内管的孔错开的位置设置有狭缝，前述线锯用加工液供给喷嘴是双重管构造的，在前述向线锯供给加工液的方法中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线锯用加工液供给喷嘴，前述线锯用加工液供给喷嘴具有内管和外管，前述内管直线状地延伸，沿其延伸方向设置有多个孔，前述外管在该内管的外侧延伸，沿其延伸方向在与前述内管的孔错开的位置设置有狭缝，向前述内管的内部供给的加工液经由前述内管的多个孔向前述外管的内部排出，进而经由前述外管的狭缝向线锯喷出，前述线锯用加工液供给喷嘴是双重管构造的，其特征在于，/n在前述外管处，在与前述内管的多个孔相向的位置分别设置有孔，/n在该外管的多个孔处，分别安装向相向的前述内管的孔延伸的螺栓，使前述螺栓相对于前述外管的孔的固定位置从前述外管的外部移动，由此，能够个别地调整前述内管的各个孔的加工液的排出量，/n前述螺栓经由位于与前述外管的外表面接触的位置的螺母，相对于前述外管的孔固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种线锯用加工液供给喷嘴，前述线锯用加工液供给喷嘴具有内管和外管，前述内管直线状地延伸，沿其延伸方向设置有多个孔，前述外管在该内管的外侧延伸，沿其延伸方向在与前述内管的孔错开的位置设置有狭缝，向前述内管的内部供给的加工液经由前述内管的多个孔向前述外管的内部排出，进而经由前述外管的狭缝向线锯喷出，前述线锯用加工液供给喷嘴是双重管构造的，其特征在于，
在前述外管处，在与前述内管的多个孔相向的位置分别设置有孔，
在该外管的多个孔处，分别安装向相向的前述内管的孔延伸的螺栓，使前述螺栓相对于前述外管的孔的固定位置从前述外管的外部移动，由此，能够个别地调整前述内管的各个孔的加工液的排出量，
前述螺栓经由位于与前述外管的外表面接触的位置的螺母，相对于前述外管的孔固定。


2.如权利要求1所述的线锯用加工液供给喷嘴，其特征在于，
前述外管由包括前述外管的多个孔的上部零件、包括前述狭缝的下部零件构成，前述上部零件和前述下部零件能够拆装。


3.如权利要求1或2所述的线锯用加工液供给喷嘴，其特征在于，
前述螺栓具有直径向前述内管的孔逐渐减小的末端部。


4.如权利要求1或2所述的线锯用加工液供给喷嘴，其特征在于，
前述螺栓的直径为前述内管的孔的直径以上。


5.如权利要求3所述的线锯用加工液供给喷嘴，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫藤义博，桥本大辅，
申请(专利权)人：胜高股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP