【技术实现步骤摘要】
一种过滤器
本技术涉及过滤
,特别是一种可快速上游排气的过滤器。
技术介绍
H3PO4,H2SO4,HNO3,HCl,H2O2,NH4OH,NH4F等流体常用于半导体制造的刻蚀工艺中,上述流体在使用前必须过滤、净化后才能被供应至刻蚀制程。由于上述流体均为易起泡物质,而气泡随洁净流体到达下游的刻蚀工艺,会造成产品缺陷,因此在上述流体的过滤过程中,必须考虑气泡的排除。附图1-2为常用的一种用于过滤上述流体的过滤器,该过滤器包括上壳1,筒体2、下壳3和滤芯4,上壳1包括流体入口11,流体出口12,上游排气口14和下游排气口15,滤芯4包括滤膜,其中,上游排气口14在靠近流体入口11处设置,用于排出进料流体中夹带的气泡,下游排气口15与滤芯4的中心流体连通,用于排出洁净滤液中夹带的少量气体,实现上下游排气。但是,该过滤器的上游排气口14紧挨着流体入口11设置,进料流体由流体入口11流入过滤器的内部,由于进料流体刚刚由流体入口11流入,此时仍然具有很高的流速,高流速使进料流体中夹带的气泡不能及时向上游排气口14聚集,因而 ...
【技术保护点】
1.一种过滤器,包括:外壳和滤芯,外壳包括上端盖部,筒体和下端盖部,所述的上端盖部和下端盖部分别位于于筒体的上端和下端,所述的上端盖部包括位于两端的流体入口和流体出口及位于内部中心的隔离管,所述的滤芯和隔离管的端部固定,进而所述的滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通;其特征在于,所述的隔离管的外周与上端盖部的边缘存在一环形区域,所述的环形区域被隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面分为区域一和区域二,所述的区域一位于切面与流体入口之间,所述的区域二位于切面与流体出口之间,所述的区域二内设有一上游排气口。/n
【技术特征摘要】
1.一种过滤器,包括:外壳和滤芯,外壳包括上端盖部,筒体和下端盖部,所述的上端盖部和下端盖部分别位于于筒体的上端和下端,所述的上端盖部包括位于两端的流体入口和流体出口及位于内部中心的隔离管,所述的滤芯和隔离管的端部固定,进而所述的滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通;其特征在于,所述的隔离管的外周与上端盖部的边缘存在一环形区域,所述的环形区域被隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面分为区域一和区域二,所述的区域一位于切面与流体入口之间,所述的区域二位于切面与流体出口之间,所述的区域二内设有一上游排气口。
2.根据权利要求1所述的过滤器,其特征在于,从所述的流体入口的起始位置处的内壁作隔离管的外壁的两条切线,所述的两条切线与隔离管的外壁的两个交点为两个切点,所述的上游排气口设在通过两个切点的上端盖部的垂面与流体出口之间。
3.根据权利要求2所述的过滤器,其特征在于,所述的上游排气口靠近上端盖部的边缘设置。
4.根据权利要求2所述的过滤器,其特征在于,所述的流体出口起始于所述的隔离管的外壁...
【专利技术属性】
技术研发人员:贾建东,郭江明,潘哲,柯文静,
申请(专利权)人:杭州科百特过滤器材有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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