一种倾摆补偿式直驱真空机器人制造技术

本发明专利技术涉及一种倾摆补偿式直驱真空机器人，旋转筒通过圆柱副安装在底座上，柔性大臂的一端与旋转筒相连，另一端与柔性小臂的一端转动连接，柔性小臂的另一端通过倾摆补偿式腕关节与末端执行器的一端转动连接，末端执行器的另一端用于承载负载；倾摆补偿式腕关节包括球铰及凸轮，柔性小臂的另一端通过球铰与末端执行器的一端相连，球铰内设有柔性传动波纹管，柔性传动波纹管的两端分别与球铰及末端执行器连接，柔性小臂的另一端与末端执行器的一端之间设有使末端执行器及承载的负载相对于底座直线运动的凸轮。本发明专利技术由于能让机械手的末端执行器避免倾摆振动，能有效抑制振动提高产品节拍和系统稳定时间。

A direct drive vacuum robot with tilting compensation

【技术实现步骤摘要】
一种倾摆补偿式直驱真空机器人
本专利技术涉及集成电路(IC)行业的机器人关节机构，具体地说是一种倾摆补偿式直驱真空机器人。
技术介绍
真空机台内的真空机械手，手臂的普遍构型为水平关节型。目前，真空机台的机械手在满足功能的前提下，经济型优化是后续研发的重点方向。由于非线性有限分析、拓扑优化等技术的不断成熟，让手臂机构轻量化成为可能；所以直驱真空机器人的手腕部位需要倾摆补偿式机构，以期望补偿机械手结构的非线型柔性变形。
技术实现思路
为了满足直驱真空机器人的手腕部位需要，本专利技术的目的在于提供一种倾摆补偿式直驱真空机器人。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括底座、旋转筒、柔性大臂、柔性小臂、倾摆补偿式腕关节、末端执行器及柔性传动波纹管，其中旋转筒通过圆柱副安装在底座上，所述柔性大臂的一端与旋转筒相连，另一端与所述柔性小臂的一端转动连接，该柔性小臂的另一端通过倾摆补偿式腕关节与所述末端执行器的一端转动连接，该末端执行器的另一端用于承载负载；所述倾摆补偿式腕关节包括球铰及凸轮，该柔性小臂的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种倾摆补偿式直驱真空机器人，其特征在于：包括底座(1)、旋转筒(2)、柔性大臂(3)、柔性小臂(4)、倾摆补偿式腕关节、末端执行器(7)及柔性传动波纹管(10)，其中旋转筒(2)通过圆柱副安装在底座(1)上，所述柔性大臂(3)的一端与旋转筒(2)相连，另一端与所述柔性小臂(4)的一端转动连接，该柔性小臂(4)的另一端通过倾摆补偿式腕关节与所述末端执行器(7)的一端转动连接，该末端执行器(7)的另一端用于承载负载(8)；所述倾摆补偿式腕关节包括球铰(6)及凸轮(9)，该柔性小臂(4)的另一端通过球铰(6)与末端执行器(7)的一端相连，所述球铰(6)内设有柔性传动波纹管(10)，该柔性传动波...

【技术特征摘要】
1.一种倾摆补偿式直驱真空机器人，其特征在于：包括底座(1)、旋转筒(2)、柔性大臂(3)、柔性小臂(4)、倾摆补偿式腕关节、末端执行器(7)及柔性传动波纹管(10)，其中旋转筒(2)通过圆柱副安装在底座(1)上，所述柔性大臂(3)的一端与旋转筒(2)相连，另一端与所述柔性小臂(4)的一端转动连接，该柔性小臂(4)的另一端通过倾摆补偿式腕关节与所述末端执行器(7)的一端转动连接，该末端执行器(7)的另一端用于承载负载(8)；所述倾摆补偿式腕关节包括球铰(6)及凸轮(9)，该柔性小臂(4)的另一端通过球铰(6)与末端执行器(7)的一端相连，所述球铰(6)内设有柔性传动波纹管(10)，该柔性传动波纹管(10)的两端分别与所述球铰(6)及末端执行器(7)连接，所述柔性小臂(4)的另一端与末端执行器(7)的一端之间设有使末端执行器(7)及承载的负载(8)相对于底座(1)直线运动的凸轮(9)。


2.根据权利要求1所述的倾摆补偿式直驱真空机器人，其特征在于：所述球铰(6)包括球铰轴(601)及球铰凸出端(602)，该球铰轴(601)转动安装于所述柔性小臂(4)的另一端内，所述末端执行器(7)的一端设有球铰凸出端(602)，该球铰凸出端(602)与所述球铰轴(601)相连，进而形成球铰(6)。


3.根据权利要求2所述的倾摆补偿式直驱真空机器人，其特征在于：所述球铰轴(601)及球铰凸出端(602)均为内部中空结构，该球铰凸出端(602)插入球铰轴(601)内部，所述球铰轴(601)通过轴承(5)转动安装在柔性小臂(4)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱维金，陈立博，孙宝龙，王凤利，王金涛，马周路，刘国鹏，陈冬雪，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21