【技术实现步骤摘要】
一种交替步进式机器人供料装置
本专利技术涉及集成电路(IC)行业的机器人关节机构,具体地说是一种交替步进式机器人供料装置。
技术介绍
真空机台内的真空机械手,手臂的普遍构型为水平关节型。目前,真空机台的机械手在满足功能的前提下,经济型优化是后续研发的重点方向。由于非线性有限分析、拓扑优化等技术的不断成熟,让手臂机构轻量化成为可能;所以机器人供料装置的手腕部位需要交替步进式机构,以期望补偿机械手结构的非线型柔性变形。
技术实现思路
为了满足机器人手臂轻量化的要求,本专利技术的目的在于提供一种交替步进式机器人供料装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括底座、旋转筒、柔性主大臂、柔性主小臂、柔性副大臂、柔性副小臂、交替步进式腕关节及末端执行器,其中旋转筒通过圆柱副安装在底座上,柔性主大臂及柔性副大臂的一端分别与所述旋转筒相连,由该旋转筒驱动同步反向转动,所述柔性主小臂及柔性副小臂的一端分别与柔性主大臂及柔性副大臂的另一端转动连接,该柔性主小臂及柔性副小臂的另一端分别通过交 ...
【技术保护点】
1.一种交替步进式机器人供料装置,其特征在于:包括底座(1)、旋转筒(2)、柔性主大臂(3)、柔性主小臂(4)、柔性副大臂(10)、柔性副小臂(9)、交替步进式腕关节及末端执行器(7),其中旋转筒(2)通过圆柱副安装在底座(1)上,柔性主大臂(3)及柔性副大臂(10)的一端分别与所述旋转筒(2)相连,由该旋转筒(2)驱动同步反向转动,所述柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的一端分别与柔性主大臂(3)及柔性副大臂(10)的另一端转动连接,该柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的另一端分别通过交替步进式腕关节与末端执行器(7)相连;所述交替步进式腕关节包括同步齿轮机构、球铰(5) ...
【技术特征摘要】
1.一种交替步进式机器人供料装置,其特征在于:包括底座(1)、旋转筒(2)、柔性主大臂(3)、柔性主小臂(4)、柔性副大臂(10)、柔性副小臂(9)、交替步进式腕关节及末端执行器(7),其中旋转筒(2)通过圆柱副安装在底座(1)上,柔性主大臂(3)及柔性副大臂(10)的一端分别与所述旋转筒(2)相连,由该旋转筒(2)驱动同步反向转动,所述柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的一端分别与柔性主大臂(3)及柔性副大臂(10)的另一端转动连接,该柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的另一端分别通过交替步进式腕关节与末端执行器(7)相连;所述交替步进式腕关节包括同步齿轮机构、球铰(5)及凸轮(6),该柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的另一端通过同步齿轮机构进行同步耦合,所述柔性主小臂(4)及柔性副小臂(9)的另一端分别通过球铰(5)与末端执行器(7)相连,每个所述球铰(5)的外侧均设有使末端执行器(7)相对于底座(1)直线运动的凸轮(6)。
2.根据权利要求1所述的交替步进式机器人供料装置,其特征在于:所述凸轮(6)包括凸轮凹部及凸轮立柱(603),所述柔性主小臂(4)另一端对应的为主凸轮凹部(601),柔性副小臂(9)另一端对应的为副凸轮凹部(602),该主凸轮凹部(601)与副凸轮凹部(602)分别安装在末端执行器(7)上,在主凸轮凹部(601)与副凸轮凹部(602)的下方分别设有安装在所述同步齿轮机构上的凸轮立柱(603),该凸轮立柱(603)随同步齿轮机构转动,在转动的过程中,所述凸轮立柱(603)的上端始终与主凸轮凹部(601)与副凸轮凹部(602)的下端面抵接。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:马周路,朱维金,孙宝龙,王凤利,陈立博,王金涛,刘国鹏,陈冬雪,
申请(专利权)人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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