【技术实现步骤摘要】
一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置
本技术属于直拉单晶
,尤其是涉及一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置。
技术介绍
石英坩埚作为直拉单晶炉重要辅料之一,对单晶炉装料、成晶及单晶品质有着重要作用,因此,石英坩埚的尺寸将影响其与其他热场件的合理装配,如果石英坩埚直壁部分尺寸不合理易造成单晶成晶差甚至坩埚上沿变形、卷边异常,如果弧度部分尺寸不合理,易造成单晶尾部断苞,势必造成单晶拉制成本上升,品质下降。因此对于单晶硅制造企业石英坩埚进厂检验工作做好尤为重要。当前对石英坩埚测量方法多数为使用游标卡尺、卷尺、专用弧度卡尺等工具的形式进行测量,工作量大且受测量水平影响误差大、一致性差,同时存在数据不准的情况,一旦反馈尺寸不合理追溯将非常困难,这对企业的可持续发展十分不利。
技术实现思路
鉴于上述问题,本技术要解决的问题是提供一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置,用于对石英坩埚的尺寸进行测量,测量方便,误差小,可应用于自动化测量。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种快速判断石英坩 ...
【技术保护点】
1.一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置,其特征在于:包括弧度部和直壁部,所述弧度部与所述直壁部可单独使用,或所述弧度部与所述直壁部可拆卸连接,其中,/n所述弧度部包括第一弧度部和第二弧度部,所述第一弧度部分别设于所述第二弧度部的两端,所述弧度部设有多个网孔,所述弧度部用于与石英坩埚装配,对所述石英坩埚的底部弧度进行测量,所述第一弧度部与所述第二弧度部分别对所述石英坩埚的底部的第一弧度和第二弧度进行测量;/n所述直壁部包括观察部和测量部,所述观察部设于所述测量部一端,所述测量部另一端开口,所述测量部设有观察孔,所述直壁部用于与所述石英坩埚的直壁部装配,用于对所述石英坩埚的直壁部进行测量。/n
【技术特征摘要】
1.一种快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置,其特征在于:包括弧度部和直壁部,所述弧度部与所述直壁部可单独使用,或所述弧度部与所述直壁部可拆卸连接,其中,
所述弧度部包括第一弧度部和第二弧度部,所述第一弧度部分别设于所述第二弧度部的两端,所述弧度部设有多个网孔,所述弧度部用于与石英坩埚装配,对所述石英坩埚的底部弧度进行测量,所述第一弧度部与所述第二弧度部分别对所述石英坩埚的底部的第一弧度和第二弧度进行测量;
所述直壁部包括观察部和测量部,所述观察部设于所述测量部一端,所述测量部另一端开口,所述测量部设有观察孔,所述直壁部用于与所述石英坩埚的直壁部装配,用于对所述石英坩埚的直壁部进行测量。
2.根据权利要求1所述的快速判断石英坩埚尺寸满足规格的装置,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨志,赵国伟,吴树飞,王建平,周泽,刘学,刘有益,徐强,王林,谷守伟,
申请(专利权)人:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙;15
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