【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备
本技术属于磁控溅射
，尤其是涉及一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备。
技术介绍
随着磁控溅射镀膜法在生产中的应用越来越广泛，提高生产效率、简化生产过程，显得越来越重要，在底板上能够同时安装多个基底是提高效率、减少结果偶然性偏差的一种有效方式，此外，简化基片的安装过程，提高基片的牢固度等也是提高镀膜成功率的关键。目前为了避免生产镀膜玻璃过程中出现放电，需要底板与腔室之间保持绝缘，通常在底板与腔室之间设置一个一体结构的绝缘块以保持两者之间的绝缘效果，然而，由于受腔室内部溅射物的影响，底板下部的绝缘块使用一段时间后，溅射物逐渐积累在绝缘块的外壁，绝缘块的绝缘效果失效，那么需要设计一种绝缘效果佳的绝缘块。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备，以解决上述技术问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种磁控溅射用的绝缘块，包括同轴心设置的上垫块和下垫块，上垫块的底面和下垫块顶面分别设置同轴心的上支...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射用的绝缘块，其特征在于：包括同轴心设置的上垫块(1)和下垫块(2)，上垫块(1)底面和下垫块(2)顶面分别设置同轴心的上支撑柱(11)和下支撑柱(21)，上支撑柱(11)和下支撑柱(21)可拆卸的固定在一起，在上支撑柱(11)外侧的上垫块(1)底面上同轴心的设置若干条上绝缘环(12)，在下支撑柱(21)外侧的下垫块(2)顶面同轴心的设置若干条下绝缘环(22)，上垫块(1)固定到下垫块(2)时，上绝缘环(12)和下绝缘环(22)依次交替排列，上绝缘环(12)和下绝缘环(22)的端部交叠设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射用的绝缘块，其特征在于：包括同轴心设置的上垫块(1)和下垫块(2)，上垫块(1)底面和下垫块(2)顶面分别设置同轴心的上支撑柱(11)和下支撑柱(21)，上支撑柱(11)和下支撑柱(21)可拆卸的固定在一起，在上支撑柱(11)外侧的上垫块(1)底面上同轴心的设置若干条上绝缘环(12)，在下支撑柱(21)外侧的下垫块(2)顶面同轴心的设置若干条下绝缘环(22)，上垫块(1)固定到下垫块(2)时，上绝缘环(12)和下绝缘环(22)依次交替排列，上绝缘环(12)和下绝缘环(22)的端部交叠设置。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用的绝缘块，其特征在于：上绝缘环(12)和下绝缘环(22)的数量分别为2-4条。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用的绝缘块，其特征在于：相邻的上绝缘环(12)和下绝缘环(22)之间的缝隙的宽度在2-3mm。
4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射用的绝缘块，其特征在于：相邻的上绝缘环(12)和下绝缘环(22)之间的缝隙的宽度为2mm。
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【专利技术属性】
技术研发人员：齐士新，
申请(专利权)人：天津南玻节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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