下载一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备的技术资料

文档序号:23585266

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种磁控溅射用的绝缘块及磁控溅射设备,包括同轴心设置的上垫块和下垫块,上垫块的底面和下垫块顶面分别设置同轴心的上支撑柱和下支撑柱,上支撑柱和下支撑柱可拆卸的固定在一起,在上支撑柱外侧的上垫块底面上同轴心的设置若干条上绝缘环,...
该专利属于天津南玻节能玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津南玻节能玻璃有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。