微机电泵的制造方法技术

一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(a)提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度；(b)于第一基板形成第一氧化层，且第一基板蚀刻出至少一进气孔；(c)提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度；(d)于第二基板形成第二氧化层，并于第二基板上蚀刻出穿孔；(e)将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；(f)提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度，及于第三基板蚀刻出至少一气体通道；(g)于第三基板设置压电组件；(h)将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间，气体通道与穿孔错位。

Manufacturing method of MEMS pump

【技术实现步骤摘要】
微机电泵的制造方法
本案是关于一种微机电泵的制造方法，尤指一种通过半导体制程来制作微机电泵的制造方法。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的用以输送流体的泵构为其关键元件，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。然而，目前微型化的泵虽然持续地改良使其微小化，但仍旧无法突破毫米等级进而将泵缩小到微米等级，因此如何将泵缩小到微米等级并且将其完成为本案所欲专利技术的主要课题。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种微机电泵的制造方法，用以制造一纳米等级的微机电泵，来减少体积对于泵的限制。为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电泵的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：/n(a)提供一第一基板，将该第一基板薄化至一第一厚度；/n(b)于该第一基板形成一第一氧化层，且该第一基板蚀刻出至少一进气孔；/n(c)提供一第二基板，将该第二基板薄化至一第二厚度；/n(d)于该第二基板形成一第二氧化层，并于该第二基板上蚀刻出一穿孔；/n(e)将该第二基板结合至该第一基板，且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间，该进气孔与该穿孔错位；/n(f)提供一第三基板，将该第三基板薄化至一第三厚度，以及于该第三基板蚀刻出多个气体通道；/n(g)于该第三基板设置一压电组件；/n(h)将该第三基板结合至该第二基板，且该第二氧化层...

【技术特征摘要】
1.一种微机电泵的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
(a)提供一第一基板，将该第一基板薄化至一第一厚度；
(b)于该第一基板形成一第一氧化层，且该第一基板蚀刻出至少一进气孔；
(c)提供一第二基板，将该第二基板薄化至一第二厚度；
(d)于该第二基板形成一第二氧化层，并于该第二基板上蚀刻出一穿孔；
(e)将该第二基板结合至该第一基板，且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间，该进气孔与该穿孔错位；
(f)提供一第三基板，将该第三基板薄化至一第三厚度，以及于该第三基板蚀刻出多个气体通道；
(g)于该第三基板设置一压电组件；
(h)将该第三基板结合至该第二基板，且该第二氧化层位于该第二基板与该第三基板之间，该气体通道与该穿孔错位。


2.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法，其特征在于，步骤(b)更包含于该第一氧化层蚀刻出至少一进气流道及一汇流腔室，该进气流道的一端与该汇流腔室相通，该进气流道的另一端与该进气孔相通。


3.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法，其特征在于，步骤(d)更包含于该第二氧化层蚀刻出一气体腔室。


4.如权利要求1所述的微机电泵的制造方法，其特征在于，步骤(g)包含有以下步骤：
(g1)沉积一下电极层；
(g2)于该下电极层上沉积一压电层；
(g3)于该压电层的部分与该下电极层的部分沉积一绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，黄启峰，韩永隆，陈宣恺，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71