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一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(a)提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度；(b)于第一基板形成第一氧化层，且第一基板蚀刻出至少一进气孔；(c)提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度；(d)于第二基板形成第二氧化层，并于第二基板上蚀...
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