【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气罐阀门自动开闭装置及其方法
本专利技术涉及将装载（loading）于柜（cabinet）上的气罐与供气管线自动连接的气罐阀门自动开闭装置及其方法，具体是，将端帽从装载于柜中的气罐上分离以后，与供气管线连接，然后开放阀门手柄，将气罐内的气体向供气管线输送的过程中气体泄漏时，不仅在非停电，在停电时也可以将开放的气体喷嘴迅速地自动关闭的气罐阀门自动开闭装置及其方法。
技术介绍
通常制造半导体的制造工艺中，根据用途将不同种类的气体供应使用，这些气体大部分被人体吸入或者暴露在空气中，容易引起安全事故和环境污染等各种伤害，故需要小心谨慎。例如，用于离子注入工艺的气体种类包括砷化氢（AsH3：Arsine）、磷化氢（PH3：Phosphine）或三氟化硼（BF3：BoronFluoride）等有毒气体，这些气体的毒性极强，被作业人员吸入呼吸道时，其结果是致命的，因此在生产线上输送的过程中应细心管理，谨防泄漏。如上所述，用于半导体制造工艺的气体的管理极其重要，而这些气体是被高压填充到气罐内后装在柜内，通过供气管线被输送至生...
【技术保护点】
1.一种气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，/n该结构包括：被可升、降地设置的主板（11）和；设置于所述主板（11）的下部，使端帽（62）从气罐（60）上分离后，使连接器座（28）自动螺旋转结合于气体喷嘴（64）的气罐连接部（20）和；以第一轴（55）为中心旋转地设置于所述主板（11）上，使阀门手柄（61）向顺时针或逆时针方向旋转的阀门手柄装置（50）和；设置于所述主板（11）的上部使将气罐（60）的阀门（63）自动开闭的阀门手柄装置（50）启动的阀门手柄开闭装置（40）。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170802 KR 10-2017-0097984;20180706 KR 10-2018-001.一种气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
该结构包括：被可升、降地设置的主板（11）和；设置于所述主板（11）的下部，使端帽（62）从气罐（60）上分离后，使连接器座（28）自动螺旋转结合于气体喷嘴（64）的气罐连接部（20）和；以第一轴（55）为中心旋转地设置于所述主板（11）上，使阀门手柄（61）向顺时针或逆时针方向旋转的阀门手柄装置（50）和；设置于所述主板（11）的上部使将气罐（60）的阀门（63）自动开闭的阀门手柄装置（50）启动的阀门手柄开闭装置（40）。
2.一种气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
该结构包括：被可升、降地设置的主板（11）和；设置于所述主板（11）的下部，使端帽（62）从气罐（60）上分离后，使连接器座（28）自动螺旋结合于气体喷嘴（64）上的气罐连接部（20）和；以第一轴（55）为中心可旋转地设置在所述主板（11）上，使阀门手柄（61）向顺时针或逆时针方向旋转的阀门手柄装置（50）和；以所述第一轴（55）为中心旋转的阀门手柄齿轮（51）和；设置于所述阀门手柄齿轮（51）的一侧，使阀门手柄装置（50）向顺时针方向或逆时针方向旋转的阀门手柄开闭装置（40）。
3.根据权利要求1或要求2所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述阀门手柄装置（50）是，其组成结构包括：将所述气罐（60）的阀门手柄（61）包住使其旋转的阀门手柄座（52）和；多个设置于所述阀门手柄座（52）内被卡在阀门手柄（61）凹入部（61a）的卡合销（53）和；使所述卡合销（53）向下方偏移的第四弹性部件（54）和；位于所述阀门手柄座（52）的上部并与齿条（44）啮合旋转的阀门手柄齿轮（51）。
4.根据权利要求1或要求2所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述阀门手柄开闭装置（40）是，其组成结构包括：
以铰链轴（41）为中心可旋转地设置于所述主板（11）上的旋转部件（42）和；
设置在位于所述旋转部件（42）一侧的主板（11）上，使旋转部件（42）旋转的旋转部件用传动装置（47）和；
设置在所述旋转部件（42）和旋转部件用传动装置（47）之间的第三弹性部件（48）和；
固定设置在所述旋转部件（42）上的一对齿条驱动用传动装置（46）和；
随着的述齿条驱动用传动装置（46）的驱动被导向杆（43）导向进行进退运动的可动片（45）和；
固定在所述可动片（45）上与阀门手柄齿轮（51）啮合的齿条（44）。
5.根据权利要求1或要求2所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述主板（11）上还包括：检测从气罐（60）上泄露的气体的传感器部（140）。
6.根据权利要求1或要求2所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述气罐连接部（20）是，其组成结构包括：
设置于所述主板（11）上使第二设置板（23）向端帽（62）侧进行进退运行的第二传动装置（24）和；
设置于所述第二设置板（23）使第一设置板（21）向与第二设置板（23）的移动方向直交的方向移动的第一传动装置（22）和；
可旋转地设置在固定于所述第一设置板（21）上的垂直板（27）上，将端帽（62）包住装卸的端帽座（25）和；
使所述端帽座（25）旋转使端帽（62）分离或者拧结的第三传动装置（26）和；
设置于所述垂直板（27）上，与气罐（60）的气体喷嘴（64）螺旋结合的连接器座（28）和；
分别固定所述端帽座（25）和连接器座（28）的轴上，并相互啮合传递第三传动装置（26）的动力的第一、二齿轮（29a）（29b）。
7.根据权利要求6所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述端帽座（25）还具备端帽支撑装置（30）。
8.根据权利要求7所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述端帽支撑装置（30）是，其组成结构包括：
可在所述端帽座（25）上贯通地形成多个的通孔（31）和；
位于所述各通孔外侧地用拧结部件（33）被固定在端帽座（25）上的闩锁块（32）和；
以锁（34）为中心可旋转地设置在所述闩锁块（32）上，通过通孔（31）向端帽座（25）的内部露出而支撑收容在端帽座（25）内的端帽（62）的闩锁（35）和；
设置于所述闩锁块（32）和闩锁（35）之间，使闩锁（35）向端帽座（25）内偏移的弹性部件（36）。
9.根据权利要求8所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
通过所述端帽座（25）的通孔（31）向所述端帽座（25）内部露出的闩锁（35）上设有倾斜面（35a）和卡合坎（35b），将端帽（62）收纳到端帽座（25）时，使所述端帽（62）通过倾斜面（35a）从闩锁（35）通过，所述端帽（62）被收纳的状态下，使端帽（62）的凸出部（65）被卡在卡合坎（35b）上受到支撑。
10.根据权利要求7所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述端帽支撑装置（30）是，其组成结构包括：
可在所述端帽座（25）上贯通地形成多个的通孔（31）和；
螺旋结合于所述各通孔的壳体（37）和；
收容于所述壳体（37）内部夹进收容于端帽座（25）内的端帽（62）泄漏试验孔而支撑端帽（62）的球（38）和；
设置于所述壳体（37）内部使球（38）向端帽座（25）内部偏移的如线圈弹簧的弹性部件（39）。
11.根据权利要求7、要求8、要求10中某一项所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
在所述端帽座（25）上将端帽支撑装置（30）按等间隔设置多个。
12.根据权利要求1或要求2所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，还包括：
通过所述第一轴（55）的旋转使发条（56）被卷绕的发条卷绕装置（80）和；
使所述发条卷绕装置（80）驱动的驱动装置和；
将所述气罐（60）的阀门（63）开放时与阀门手柄齿轮（51）啮合而通过发条（56）的复原力使阀门手柄座（52）不能正旋转的第一防逆旋转装置（70）和；
在所述驱动装置的驱动下卷绕发条（56）时使第二轴（82）不能逆旋转的第二防逆旋转装置（90）。
13.根据权利要求12所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述发条卷绕装置（80），是其组成结构包括：
设置于所述阀门手柄装置（50）中心的第一轴（55）和；
被位于所述阀门手柄装置（50）内部地设置的固定销（59）和；
一端固定于所述固定销（59），另一端固定于第一轴（55），随着第一轴（55）向阀门手柄（61）打开的方向旋转被卷绕的发条（56）。
14.根据权利要求12所述的气罐阀门自动开闭装置，其特征在于，
所述驱动装置是，其组成结构包括：
被位于所述阀门手柄齿轮（51）上部地固定于第一轴（55）上的发条驱动齿轮（58）和；
可旋转地设置于所述主板（11）上的第二轴（82）和；
固定于所述第二轴（82）上使第二轴（82）的旋转数增大的增大齿轮（84）和；
固定于第二轴（82）上的连杆（87）和；
与增...
【专利技术属性】
技术研发人员：金斗喆，李种声，崔元镐，
申请(专利权)人：AMT株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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