高压气罐的自动更换方法技术

本发明专利技术的特征是，依次实施：在柜（100）中装载第一、二高压气罐（201、202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；将第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）关闭的第三步骤；从连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；使第一高压气罐（201）下降至下止点的第五步骤；在连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；将第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；打开柜（100）的门，将第一高压气罐（201）用第三高压气罐（203）更换以后关门的第八步骤；将第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；在连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；使第三高压气罐（203）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；从第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；打开第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高压气罐的自动更换方法
本专利技术涉及半导体制造工艺（FabricationProcess）设备中，为了给晶圆生产线输送气体，在柜（cabinet）上的提升装置上装载（loading）高压气罐后，在高压气罐的更换时点，从连接器座上卸下用完的高压气罐以后，将新的高压气罐连接到连接器座的高压气罐的自动更换方法。
技术介绍
在半导体的制造工艺上，通常根据用途输送不同种类的气体使用，如果这些气体一旦被大量吸入人体或者散发到空气中，容易造成安全事故或者环境污染等带来较大伤害，因此必须小心谨慎使用。例如，用于离子注入工艺的气体种类一般包括砷化氢（AsH3：Arsine）、磷化氢（PH3：Phosphine）或三氟化硼（BF3：BoronFluoride）等有毒气体，这些气体的毒性非常强，被作业人员吸入呼吸道会造成致命性的伤害，因此在生产线上输送的过程中须细心管理，谨防泄漏。如上所述的半导体制造工艺用气体而言，其管理非常重要，这些气体以被高压填充到气罐（下称高压气罐）内的状态装在柜内，由供气管线输送至生产线，气体消耗约达到90%左右时，为避免高压气罐内残留的异物进入晶圆加工工艺，由作业人员用新的高压气罐进行更换，使气体被继续输送。图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图，FAB7外部的规定场所设有柜1，用于安放FAB7内各个装备8所需的SiH4、PH3、NF3、CF4等工程气体被分别填充的多个高压气罐（省略图示），所述柜1的一侧设有可以引导分别连接于所述高气罐的供气管线3的管道4。所述管道4的另一侧设有数量对应于高压气罐的调压箱5，用于输送沿着供气管线3流入的工艺气体，所述的各调压箱5上端部连接着与装备8数量同样数量的供应管9，用于与FAB7内的各装备8对应连接。然后由安放在柜1中的各个高压气罐供给工艺气体时，各工艺气体沿着从管道4内部通过的供气管线3流入各个调压箱5。然后流入各调压箱5内的各工艺气体通过过滤器（省略图示）被净化以后，沿着以与FAB7内装备8对应的数量分支连接的各个供应管9被输送，用于晶圆的加工。如上所述，将气体输送到供气管线3的途中，气体被耗尽，高压气罐的更换时间被控制部（省略图示）检测到时，作业人员将用完的高压气罐的阀门关闭后，从外部气体管线上卸下来。然后作业人员将从气体管线卸下来的高压气罐从柜1中卸下以后，用新的高压气罐更换，然后将所述高压气罐重新连接到外部的气体管线，然后打开（Open）关闭气体喷嘴的阀门手柄即完成高压气罐的更换。先有技术文献（专利文献0001）韩国注册专利公报10-0242982（1998.11.15注册）；（专利文献0002）韩国注册专利公报10-0649112（2006.11.16注册）；（专利文献0003）韩国注册专利公报10-09885575（2010.09.29注册）。
技术实现思路
技术课题但这种现有的高压气罐的更换方法是，作业人员将新的高压气罐装载到柜中的状态下，检测到高压气罐的更换时间时，用手将用完的高压气罐卸下以后，将新的高压气罐连接到气体配管的连接器座上，不仅无法迅速更换高压气罐，还会根据作业人员熟练程度，发生人为失误（humanerror），而且在更换操作中因不小心导致气体从高压气罐泄漏时，容易造成气体爆炸或者作业人员被泄漏气体中毒等可谓是其致命性缺陷。本专利技术是为解决现有的这些问题而提出，其目的在于，将高压气罐装载到柜中设置的提升装置以后，在高压气罐的更换时点卸下连接于连接器座上的高压气罐的同时，将新的高压气罐自动连接到连接器座，使得高压气罐的更换实现自动化。技术方案根据实现所述目的所需的本专利技术的一实施例，提供高压气罐的自动更换方法，其特征是，依次实施；在可升、降地设置于柜上的一对提升装置上装载第一、二高压气罐，将第一高压气罐的气体输送到供气管线，而第二高压气罐的阀门连接件是连接于连接器座待机的第一步骤；由所述第一高压气罐供气的途中，通过控制部检测到第一高压气罐的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐供气，由第二高压气罐供气的第二步骤；将所述第一高压气罐的阀门手柄自动关闭的第三步骤；从所述连接器座上释放第一高压气罐的连接状态以后，用端帽关闭阀门连接件的第四步骤；使所述第一高压气罐被放置的圆盘下降至下止点的第五步骤；在所述连接器座上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；将放置于所述圆盘上的第一高压气罐的夹紧状态释放的第七步骤；打开所述柜的门，从圆盘上去除第一高压气罐以后，在圆盘上放置第三高压气罐并关门的第八步骤；将放置于所述圆盘上的第三高压气罐夹紧的第九步骤；在所述连接器座上自动插入新的垫圈的第十步骤；使所述第三高压气罐被装载的提升装置上升至上止点以后，使阀门连接件的中心和连接器座的中心校准的第十一步骤；从所述第三高压气罐上去除端帽以后，将阀门连接件连接到连接器座的第十二步骤；打开所述第三高压气罐的阀门手柄待机的第十三步骤。有益效果本专利技术的有益效果在于，将一对提升装置可升、降地设置，先由一个高压气罐将气体输送至供气管线，然后控制部检测到高压气罐的更换时间时，切换流道使待机中的另一高压气罐供气，然后将结束供气的高压气罐自动卸下以后，在提升装置的圆盘上装载新的高压气罐，保持待机状态，因此和现有的手动更换高压气罐相比，可以将高压气罐自动更换，进而预防作业人员人为失误，使得高压气罐的更换实现自动化。附图说明图1是简略显示采用现有技术的半导体装备供气装置的透视图；图2是用以说明本专利技术的柜的正视图；图3是显示本专利技术的连接机构的透视图；图4是显示本专利技术的提升装置和夹紧装置的正视图；图5是显示本专利技术的下部夹紧装置的透视图；图6是本专利技术中夹紧装置将高压气罐夹紧的状态下阻挡器将夹紧装置开启（on）的状态图；图7是显示高压气罐的透视图；图8是本专利技术中使第一高压气罐升、降的提升装置位于下止点，第二高压气罐被放置在圆盘上的提升装置是位于上止点的状态图；图9a和图9b是用以说明本专利技术的流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案详细进行描述，但所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，本领域普通技术人员可以以各种形态实现是显而易见的。附图中的图示简略，并不符合比例。图中部分的相对尺寸和比率是，为了图中的明确性和便利，其大小可以被夸张或缩小图示，任一尺寸仅限于示例，并没有限定。而且两个以上的图中显示的同一结构物、要素或配件使用同一参考符号，以显示相似特征。图2是用以说明本专利技术的柜的正视图，图3是显示本专利技术的连接机构的透视图，图4是显示本专利技术的提升装置及夹紧装置的正视图，图2是省略显示被可开闭地设置在柜100的正面的门。本专利技术的结构包括：设置于柜100内的上部，使高压气罐200的阀门连接装置211自动连接到连接器座310上或者释放的连接机构300和，具备放置于所述高压气罐200被放置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压气罐的自动更换方法，其特征在于，依次实施：/n在可升、降地设置于柜（100）上的一对提升装置（400）上装载第一、二高压气罐（201）（202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；/n由所述第一高压气罐（201）供气的途中，通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；/n将所述第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）自动关闭的第三步骤；/n从所述连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；/n使所述第一高压气罐（201）被放置的圆盘（410）下降至下止点的第五步骤；/n在所述连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；/n将放置于所述圆盘（410）上的第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；/n打开所述柜（100）的门，从圆盘（410）上除去第一高压气罐（201）以后，在圆盘（410）上放置第三高压气罐（203）并关门的第八步骤；/n将放置于所述圆盘（410）上的第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；/n在所述连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；/n使所述第三高压气罐（203）被装载的提升装置（400）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；/n从所述第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；/n打开所述第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171219 KR 10-2017-01747401.一种高压气罐的自动更换方法，其特征在于，依次实施：
在可升、降地设置于柜（100）上的一对提升装置（400）上装载第一、二高压气罐（201）（202），将第一高压气罐（201）的气体输送到供气管线，而第二高压气罐（202）的阀门连接件（211）是连接于连接器座（310）待机的第一步骤；
由所述第一高压气罐（201）供气的途中，通过控制部（500）检测到第一高压气罐（201）的更换时间以后，切换流道停止由第一高压气罐（201）供气，由第二高压气罐（202）供气的第二步骤；
将所述第一高压气罐（201）的阀门手柄（213）自动关闭的第三步骤；
从所述连接器座（310）上释放第一高压气罐（201）的连接状态以后，用端帽（212）关闭阀门连接件（211）的第四步骤；
使所述第一高压气罐（201）被放置的圆盘（410）下降至下止点的第五步骤；
在所述连接器座（310）上将用完的垫圈自动去除的第六步骤；
将放置于所述圆盘（410）上的第一高压气罐（201）的夹紧状态释放的第七步骤；
打开所述柜（100）的门，从圆盘（410）上除去第一高压气罐（201）以后，在圆盘（410）上放置第三高压气罐（203）并关门的第八步骤；
将放置于所述圆盘（410）上的第三高压气罐（203）夹紧的第九步骤；
在所述连接器座（310）上自动插入新的垫圈的第十步骤；
使所述第三高压气罐（203）被装载的提升装置（400）上升至上止点以后，使阀门连接件（211）的中心和连接器座（310）的中心校准的第十一步骤；
从所述第三高压气罐（203）上去除端帽以后，将阀门连接件（211）连接到连接器座（310）的第十二步骤；
打开所述第三高压气罐（203）的阀门手柄（213）待机的第十三步骤。


2.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第一、二高压气罐（201）（202）的更换时间是，由控制部（500）检测高压气罐（201）（202）的重量或压力而低于设定值时判断。


3.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第一、二高压气罐（201）（202）的阀门手柄（213）的开闭是通过构成阀门手柄机构（600）的阀门手柄座（610）的旋转得以实施。


4.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
在所述第一、二高压气罐（201）（202）的阀门连接件（211）上将端帽（212）锁住或者卸下的作业是通过连接机构（300）的端帽座（320）得以实施。


5.根据权利要求1所述的高压气罐的自动更换方法，其特征在于，
所述第六步骤中，从连接器座（310）上去除垫圈的时点是在圆盘（41...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔元镐，
申请(专利权)人：AMT株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR