【技术实现步骤摘要】
背装镀膜治具
本技术涉及镀膜装置
,尤其是涉及一种背装镀膜治具。
技术介绍
对基片进行镀膜处理时,需要将基片固定在基板上。在现有技术中,大多将基片放置在基板上,然后在基板上安装压条,通过紧固螺丝的方式将基片压紧在基板和压条之间。为防止基片松动,通常需要增大压条对基片的压紧力,由此极易导致基片破碎。此外,基板上通常设有用于对基片定位的凹槽,基片放置在凹槽内,当镀膜结束时需要使用薄片状物体将基片翘起,以便拿取基片。基片多为薄片,且洁净度要求较高,然而翘起基片的操作容易引发基片划伤和脏污的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种背装镀膜治具,以缓解现有技术中基片装夹固定易损伤的技术问题。第一方面,本技术提供的背装镀膜治具,包括:第一治具板和第二治具板,所述第一治具板与所述第二治具板可拆卸连接;所述第一治具板上设有镀膜通槽,所述镀膜通槽远离所述第二治具板的一端设有限位部;所述第二治具板与所述第一治具板相对的端面设有支撑部;当所述第一治具板与所述第二治具板连接时,所述支撑部插接于所述镀膜通槽,并 ...
【技术保护点】
1.一种背装镀膜治具,其特征在于,包括:第一治具板(1)和第二治具板(2),所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)可拆卸连接;/n所述第一治具板(1)上设有镀膜通槽(11),所述镀膜通槽(11)远离所述第二治具板(2)的一端设有限位部(12);/n所述第二治具板(2)与所述第一治具板(1)相对的端面设有支撑部(21);/n当所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)连接时,所述支撑部(21)插接于所述镀膜通槽(11),并抵接所述限位部(12),所述限位部(12)和所述第二治具板(2)之间形成容纳腔。/n
【技术特征摘要】
1.一种背装镀膜治具,其特征在于,包括:第一治具板(1)和第二治具板(2),所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)可拆卸连接;
所述第一治具板(1)上设有镀膜通槽(11),所述镀膜通槽(11)远离所述第二治具板(2)的一端设有限位部(12);
所述第二治具板(2)与所述第一治具板(1)相对的端面设有支撑部(21);
当所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)连接时,所述支撑部(21)插接于所述镀膜通槽(11),并抵接所述限位部(12),所述限位部(12)和所述第二治具板(2)之间形成容纳腔。
2.根据权利要求1所述的背装镀膜治具,其特征在于,当所述支撑部(21)抵接所述限位部(12)时,所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)相对的端面与所述第二治具板(2)之间形成预留间隙。
3.根据权利要求2所述的背装镀膜治具,其特征在于,所述第一治具板(1)与所述第二治具板(2)采用螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的背装镀膜治具,其特征在于,所述支撑部(21)沿所述镀膜通槽(11)的内壁延伸,用于围绕所述容纳腔。
5.根据权利要求4所述的背装镀膜治具,其特征在于,所述第一治具板(1)上设有边槽(13),所述边槽(13)与所述镀膜通槽(11)连通;
当所述支撑部(21)插接于所述镀膜通槽(11)内时,所述边槽(13)位于所述支撑部(21)背离所述容纳腔的一侧。
6.根据权利要求5所述的背装镀膜治具,其特征在于,所述镀膜通槽(11)的截面形状为多边形,所述边槽(13)由所述镀膜通槽(11)的棱边位置向背离所述容纳腔的方向凹陷形成。
7.根据权利要求1所述的背装镀膜治具,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆张武,徐征驰,黄敏,徐勇军,李恭剑,
申请(专利权)人:浙江水晶光电科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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