一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，包括底座、立柱、气浮垫、压板、S型压力传感器、螺纹转接头、压电驱动器、位移传感器、粗调螺杆、上盖、顶盖和手柄，所述底座上设有有位移传感器、立柱和气浮垫，气浮垫上设置压板，压板与S型压力传感器的底端相连，压电驱动器通过螺纹转接头与S型压力传感器的上端相连，所述压电驱动器与上盖相连，上盖设置在立柱上方，粗调螺杆设置在上盖上，手柄固定在顶盖上，手柄控制粗调螺杆移动。本实用新型专利技术装置能够有效测量气浮垫在不同气膜间隙下的刚度值，结构简单，易于操作，为超精密机床的设计制造提供指导。

A device for measuring the stiffness of air bearing pad of ultra precision machine tool

【技术实现步骤摘要】
一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置
本技术涉及精密测量领域，尤其涉及一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置。
技术介绍
超精密加工技术是现代制造技术的发展方向，对促进科学技术的进步起到至关重要的作用，现代工业对产品质量、性能、可靠性等的要求越来越高，超精密加工技术也在逐渐革新。加工过程中的加工工艺、设备、工件材料、工具、工装、环境、检测等都会影响超精密加工的精度。超精密加工技术的发展方向趋向于高精度、高效率、微型化、大型化、智能化等特点。超精密切削(车削、铣削、飞切)机床是超精密加工应用最广泛的加工设备，机床中的很多部件都采用气浮垫装置，如空气轴承，气浮导轨等，采用气浮垫制成的加工设备，具有非常小且均匀的动静摩擦系数，因此可以获得更高的加工精度。气浮垫的刚度是其重要性能之一，对机床的加工精度有很大影响。因此开展气浮垫刚度测量对推进超精密加工技术的迅速发展具有重要意义。气浮垫气膜刚度的定义为施加在气浮垫上的承载力的变化量和此时引起的气膜间隙的变化量之间的比值。气浮垫的刚度测试装置由力加载装置、力传感器和位移传感器组成。力加载装置用于改本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征在于：包括底座、立柱、气浮垫、压板、S 型压力传感器、螺纹转接头、压电驱动器、位移传感器、粗调螺杆、上盖、顶盖和手柄，所述底座上设有位移传感器、立柱和气浮垫，气浮垫上设置压板，压板与S 型压力传感器的底端相连，压电驱动器通过螺纹转接头与 S 型压力传感器的上端相连，所述压电驱动器与上盖相连，上盖设置在立柱上方，粗调螺杆设置在上盖上，手柄固定在顶盖上，手柄控制粗调螺杆移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征在于：包括底座、立柱、气浮垫、压板、S型压力传感器、螺纹转接头、压电驱动器、位移传感器、粗调螺杆、上盖、顶盖和手柄，所述底座上设有位移传感器、立柱和气浮垫，气浮垫上设置压板，压板与S型压力传感器的底端相连，压电驱动器通过螺纹转接头与S型压力传感器的上端相连，所述压电驱动器与上盖相连，上盖设置在立柱上方，粗调螺杆设置在上盖上，手柄固定在顶盖上，手柄控制粗调螺杆移动。


2.根据权利要求1所述的用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征在于：所述位移传感器测量气浮垫与底座之间的气膜间隙，所述S型压力传感器测量气浮垫承载力的数值。


3.根据权利要求1所述的用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征在于：所述位移传感器的位移敏感方向为垂直方向，分辨率为0.1μm。


4.根据权利要求1所述的用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征在于：所述S型压力传感器的力敏感方向为垂直方向，分辨率小于等于1N。


5.根据权利要求1所述的用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨凯，陈万群，
申请(专利权)人：南京艾提瑞精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32