一种可组装式气垫导轨制造技术

技术编号:22931520 阅读:59 留言:0更新日期:2019-12-25 03:57
本实用新型专利技术涉及一种可组装式气垫导轨,包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫,溜板与导轨之间通过气浮垫连接,气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面;气浮垫上开设有出气孔和进气孔,气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面,气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。由于气浮垫实现气体节流,在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层,使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦,由于无需在溜板上设置节流孔,可使得溜板尺寸减小、刚性提高,使装置整体具有更高的灵活性。

An assembled air track

【技术实现步骤摘要】
一种可组装式气垫导轨
本技术涉及超精密加工
,尤其涉及一种可组装式气垫导轨。
技术介绍
现如今,微电子学、航天技术、信息技术、激光及生物工程等科学蓬勃向上发展,对加工机器和检测仪器等的精度要求越来越高,从毫米到微米再到亚微米,对于精度等级现阶段已经发展到纳米水平,并进一步向着亚纳米水平发展,使得超精密加工及超精密检测技术诞生。在微细加工
,不管是用于精密加工的机械,还是测量仪器,都对其机械部分提出了高精度、高速度、高运动分辨率、热稳定性、低震动、爬行小、污染少甚至无污染以及降低设备成本等方面的苛刻要求。现有的气浮导轨多是将节流孔设置在溜板上,这样给制造加工造成不便,增加了制造成本。加工出带有节流孔的溜板都是拥有固定的形状,只能适用固定形状的导轨,无法再与其他形状的导轨配合使用,降低了资源的可配置性。
技术实现思路
为解决现有的技术问题,本技术提供了一种可组装式气垫导轨,通过使用气浮垫组装成不同形式的导轨,以减小溜板的尺寸、提高溜板刚性,气浮垫可实现模块化设计,组装方式更加灵活,也提高资源的综合利用。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可组装式气垫导轨,其特征在于:包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫,溜板与导轨之间通过气浮垫连接,气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面;气浮垫上开设有出气孔和进气孔,气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面,气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。/n

【技术特征摘要】
1.一种可组装式气垫导轨,其特征在于:包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫,溜板与导轨之间通过气浮垫连接,气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面;气浮垫上开设有出气孔和进气孔,气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面,气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。


2.根据权利要求1所述的可组装式气垫导轨,其特征在于:所述溜板为开放式或闭式结构。


3.根据权利要求1所述的可组装式气垫导轨,其特征在于:所述气浮垫节流包括但不限于小孔节流、环面节流、多孔质节流、狭缝节流和表面节流。


4.根据权利要求1所述的可组装式气垫导轨,其特征在于:所述溜板内侧上表面与导轨的上表面平行设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈万群杨凯
申请(专利权)人:南京艾提瑞精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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