下载一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置的技术资料

文档序号:23500999

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本实用新型涉及一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,包括底座、立柱、气浮垫、压板、S型压力传感器、螺纹转接头、压电驱动器、位移传感器、粗调螺杆、上盖、顶盖和手柄,所述底座上设有有位移传感器、立柱和气浮垫,气浮垫上设置压板,压板与S型压力传...
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