一种用于硅棒定向的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于硅棒定向的装置，包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动，具有移动灵活、定向精准的特点。

A device for orientation of silicon rod

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅棒定向的装置
本技术属于半导体行业硅棒检测
，具体地说涉及一种用于硅棒定向的装置。
技术介绍
半导体滚圆机对硅棒进行滚圆磨削时，除了对硅棒进行粗磨、精磨加工外，还需要对硅棒磨OF面或开V槽，为下道工序做准备。而OF面或V槽的加工位置需要通过对硅棒定向来实现。因此，怎样实现对硅棒的精准定向是我们需要解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，现提出一种能够将硅棒精准定向的装置。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅棒定向的装置，包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动。进一步，所述X射线检测装置包括检测箱，所述检测箱内安装有微安表，所述检测箱的一侧固设有检测板，所述检测板自上到下依次安装X射线探测器和X射线发射管，且所述检测板的外围安装有探头保护罩以保护X射线探测器和X射线发射管。进一步，所述驱动装置为电机，所述丝杠通过支撑座与所述固定座相固定，且其一端与电机输出端相连接。进一步，所述电机通过电机安装板与所述固定座相固定，所述电机安装板上设有供电机输出端贯穿的通孔，所述电机输出端贯穿通孔后与所述电机安装板通过螺栓固定。进一步，所述进给滑板与丝杠相平行的两侧安装有防护板，且所述电机的外侧安装有电机防护罩。进一步，所述进给滑板与所述电机护罩之间安装有第一风琴护罩，且其与固定座远离电机的一端之间安装有第二风琴护罩，用以防护所述滑轨与进给丝杠。进一步，所述进给装置固设在检测支架上，所述固定座的下表面与检测装置的上表面固定连接，所述检测支架的纵截面为三角形。本技术的有益效果是：1、X射线检测装置安装在检测滑板上，进给滑板通过电机带动丝杠实现运动，以满足不同硅棒尺寸、不同晶向的定向需求。2、进给滑板的两侧在于滑轨一致的方向上安装有第一风琴护罩和第二风琴护罩，同时，进给滑板与丝杠相平行的两侧安装有防护板，能够有效的保护丝杠和进给滑板，防止灰尘以及硅棒加工过程中的费屑进入到进给滑板以及滑轨内，有效的保护进给装置，延长设备的使用寿命。3、电机通过电机安装板与固定座通过螺栓有效的固定，防止在工作过程中电机的位移，提高设备的精确性。4、X射线检测装置包括微安表、X射线探测管和X射线发射管，结构简单，是硅棒定向的核心部件，其定向精准，为后续OF面或V槽的加工位置提供可靠依据。5、X射线探测管探头和X射线发射管外设有探头保护罩，能够有效的保护X射线探测管探头和X射线发射管。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是进给装置的结构示意图；图3是进给装置的另一结构示意图；图4是X射线检测装置的结构示意图；图5是X射线检测装置的另一结构示意图。附图中：1-X射线检测装置、2-进给装置、3-固定座、4-进给滑板、5-丝杠、6-检测箱、7-检测板、8-X射线探测管、9-X射线发射管、10-探头保护罩、11-电机安装板、12-防护板、13-电机防护罩、14-第一风琴护罩、15-第二风琴护罩、16-检测支架。具体实施方式为了使本领域的人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本专利技术创造。下面结合附图和较佳的实施例对本技术作进一步说明。如图1-5所示，一种用于硅棒定向的装置，包括X射线检测装置1和进给装置2，所述进给装置2包括固定座3和进给滑板4，所述进给滑板4的下表面开设有两条滑轨槽，同时，所述固定座3上固设有与所述进给滑板4相配合的滑轨，且滑轨之间安装有与所述进给滑板4相固定的丝杠5，所述丝杠5与驱动装置相连接，以驱动进给滑板4带动X射线检测装置1在滑轨上移动，以满足不同硅棒尺寸、不同晶向的定向需求。所述X射线检测装置1包括检测箱6，所述检测箱6内安装有微安表7，同时，所述检测箱6的一侧固设有检测板7，所述检测板7自上而下依次安装X射线探测管8和X射线发射管9，同时，为了更好的保护X射线探测管8和X射线发射管9，在检测板7的外围安装有探头保护罩10。所述驱动装置为电机，同时，所述丝杠5通过支撑座与固定座3相固定，且其一端与电机的输出端相连接。所述电机通过电机安装板11与固定座3相固定，在所述电机安装板11上开设有供电机输出端贯穿的通孔，电机输出端贯穿通孔后与电机安装板11通过螺栓相固定。所述进给滑板4与丝杠5相平行的两侧安装有防护板12，且所述电机的外围安装有电机防护罩13，用以防止灰尘以及加工过程的杂物等的影响电机和进给滑板4的正常工作。为更好的保护丝杠5和进给滑板4，在进给滑板4和电机防护罩13之间安装第一风琴护罩14，同时，所述进给滑板4与所述固定座3远离电机的一端之间安装第二风琴护罩15。所述进给装置2固设在检测支架16上，所述固定座3的下表面与检测支架16的上表面固定连接。本实施例中，检测支架16的纵截面为三角形，其下方开设通孔，通过螺栓固定在加工晶硅的设备上。硅棒由头架组件和尾架组件夹持，头架组件和尾架组件由夹持电机驱动。当硅棒外圆精磨后，电机驱动丝杠5运动，从而带动X射线检测装置1在滑轨上运动，以满足不同硅棒尺寸、不同晶向的定向需求。由于硅是晶体，符合布拉格方程，X射线发射管9发出X射线，在硅棒的晶向位置会发生衍射，此时，微安表7会显示最大峰值，然后在此基础上，头架组件和尾架组件在夹持电机的驱动下转动，将硅棒正方向转动5度，再反方向转动5度，并观察在转动的过程中微安表7是否有强度值。如果在正反转动时，微安表7有指示峰值，且此值小于原来峰值，或有微弱峰值为正常，此位置为所测硅棒的晶向；如果此时的峰值大于原来峰值，则需重新确认最强的峰值，再重复以上操作，转动头架组件和尾架组件将硅棒正方向转动5度，再反方向转动5度，并观察在转动的过程中微安表7是否有强度值，再次确认最强峰值后，此位置即所测硅棒的晶向。以上已将本技术做一详细说明，以上所述，仅为本技术之较佳实施例而已，当不能限定本技术实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本技术涵盖范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅棒定向的装置，其特征在于：包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅棒定向的装置，其特征在于：包括X射线检测装置和固设在X射线检测装置下方的进给装置，所述进给装置包括固定座和进给滑板，所述进给滑板的下表面的两侧设有滑轨槽，且固定座上固设有与所述进给滑板相配合的滑轨，所述滑轨之间安装有与所述进给滑板相固定的丝杠，所述丝杠与驱动装置连接，X射线检测装置可随进给滑板在滑轨上移动。


2.根据权利要求1所述的一种用于硅棒定向的装置，其特征在于：所述X射线检测装置包括检测箱，所述检测箱内安装有微安表，所述检测箱的一侧固设有检测板，所述检测板自上到下依次安装X射线探测器和X射线发射管，且所述检测板的外围安装有探头保护罩以保护X射线探测器和X射线发射管。


3.根据权利要求2所述的一种用于硅棒定向的装置，其特征在于：所述驱动装置为电机，所述丝杠通过支撑座与所述固定座相固定，且其一端与电机输出端相连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：东野广俊，张笑笑，盛东营，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37