显示面板及其制备方法技术

本发明专利技术提供一显示面板及其制备方法，通过在源漏极金属层与所述第一栅极层以及第二栅极层连接处设置氧化层，具体的，在第一栅极层对应于第一通孔处设置第一氧化层，在第二栅极层对应于第二通孔处设置第二氧化层；也可以在第一栅极层以及第二栅极层的整个一面都设置氧化层；所述第一氧化层与所述第二氧化层用以保护源漏极金属层与第一栅极层或第二栅极层的连接处不易被HF腐蚀，进而可以使源漏极金属层与第一栅极层或第二栅极层的接触电阻不受影响，进而保持显示面板的显示效果稳定。

Display panel and its preparation

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制备方法
本专利技术涉及显示领域，尤其是涉及一种显示面板及其制备方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)由于其重量轻，自发光，广视角、驱动电压低、发光效率高功耗低、响应速度快等优点，应用范围越来越广泛，尤其是柔性OLED显示装置具有可弯折易携带的特点，成为显示
研究和开发的主要领域。现有的显示面板结构中，由于采用缓冲氧化物刻蚀液(BOE)或氟氢酸(HF)溶液清洗对接触孔半导体的表面进行处理，使源漏极(SD)和半导体形成较好的接触，但这同时会导致栅极被严重蚀刻，导致源漏极与栅极的接触电阻增大；但如果不使用BOE或HF，源漏极与栅极的接触电阻无异常，但源漏极与半导体的电阻-电容电路的电压会增大，且收敛性变差，影响显示面板的显示效果。因此，有必要提出一种新的显示面板及其制备方法，用以使源漏极与栅极的接触电阻正常，提高显示面板的稳定性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种显示面板及其制备方法，通过在源漏极金属层与所述第一栅极层以及第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：/n基板；/n有源层，设于所述基板上；/n第一绝缘层，设于所述基板以及所述有源层上；/n第一栅极层，设于所述第一绝缘层远离所述有源层的一侧，所述第一栅极层上设有一第一氧化层；/n第二绝缘层，设于所述第一氧化层以及所述第一绝缘层上；/n第二栅极层，设于所述第二绝缘层远离所述第一栅极层的一侧，所述第二栅极层上设有一第二氧化层；/n第三绝缘层，设于所述第二氧化层以及所述第二绝缘层上，具有一第一通孔以及一第二通孔，所述第一通孔延伸至所述第二绝缘层；/n源漏极金属层，设于所述第三绝缘层远离所述第二绝缘层的一侧；/n其中，所述源漏极金属层通过所述第一通孔连接所述第一氧化...

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
基板；
有源层，设于所述基板上；
第一绝缘层，设于所述基板以及所述有源层上；
第一栅极层，设于所述第一绝缘层远离所述有源层的一侧，所述第一栅极层上设有一第一氧化层；
第二绝缘层，设于所述第一氧化层以及所述第一绝缘层上；
第二栅极层，设于所述第二绝缘层远离所述第一栅极层的一侧，所述第二栅极层上设有一第二氧化层；
第三绝缘层，设于所述第二氧化层以及所述第二绝缘层上，具有一第一通孔以及一第二通孔，所述第一通孔延伸至所述第二绝缘层；
源漏极金属层，设于所述第三绝缘层远离所述第二绝缘层的一侧；
其中，所述源漏极金属层通过所述第一通孔连接所述第一氧化层，所述源漏极金属层通过所述第二通孔连接所述第二氧化层。


2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述第一氧化层对应所述第一通孔；
所述第二氧化层对应所述第二通孔处。


3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括
所述第一氧化层在所述第一通孔处的厚度小于所述第一氧化层在非所述第一通孔处的厚度；
所述第二氧化层在所述第二通孔处的厚度小于所述第二氧化层在非所述第二通孔处的厚度。


4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述第一氧化层的材料为二氧化钛；
所述第二氧化层的材料为二氧化钛。


5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极层以及所述第二栅极层均包括：
第二金属层；
第三金属层，设于所述第二金属层的一侧。


6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极层以及所述第二栅极层均还包括：
第一金属层，所述第二金属层设于所述第一金属层上。


7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，
所述第一金属层的材料为钛；
所述第二金属层的材料为铝；
所述第三金属层的材料为钛。


8.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述第三绝缘层还包括第三通孔，所述第三通孔贯穿所述第二绝缘层并延伸至所述第一绝缘层，所述源漏极金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨薇薇，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42