【技术实现步骤摘要】
一种高位加料装置
本技术涉及到半导体加工加料装置领域,特别是一种高位加料装置。
技术介绍
半导体加工过程中,光刻工艺是不可缺少的一步,光刻工艺离不开光刻胶,在添加光刻胶时,需要人工举升35公斤左右的金属加料桶,举升高度450mm,并需要翻转倾倒粘稠的光刻胶,金属加料桶重量大,需要操作员站在两级的踏步上举升进行操作,由于光刻胶粘度大,流动性不好,在倾倒光刻胶时需要保持倾倒姿势,劳动强度较大,踏步占用操作空间。为克服以上问题,采用机械取代人工的方式进行加料,通过气缸的伸缩实现加料桶的举升、翻转、卸料与复位。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高位加料装置,可以实现高位加料机械化,节省人力,减少占地空间。为达到以上目的,提供以下技术方案:一种高位加料装置,其特征在于,结构包括固定架、U型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条,所述旋转篮、U型支架、双导杆气缸、固定架自上而下依次连接,所述链条一端与旋转篮铰接,另一端与固定架固定连接,所述固定架结构包括固定架本体与可调节脚杯,所述固定架本体为方管柱固定连接组成的长方体架体,所述固定架本体的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板,所述固定架本体的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯,所述双导杆气缸位于固定架本体的内部并竖直固定连接到固定板的一侧面,所述U型支架为U型结构,且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口,所述U型支架的底部与双导杆气缸的顶部固定连接,所述旋转篮为方管柱固定连接组成的阶梯型结构,且其一侧设有开口,所述旋转篮的中部两侧各设有 ...
【技术保护点】
1.一种高位加料装置,其特征在于,结构包括固定架、U型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条,所述旋转篮、U型支架、双导杆气缸、固定架自上而下依次连接,所述链条一端与旋转篮铰接,另一端与固定架固定连接,所述固定架结构包括固定架本体与可调节脚杯,所述固定架本体为方管柱固定连接组成的长方体架体,所述固定架本体的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板,所述固定架本体的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯,所述双导杆气缸位于固定架本体的内部,并竖直固定连接到固定板的一侧面,所述U型支架为U型结构,且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口,所述U型支架的底部与双导杆气缸的顶部固定连接,所述旋转篮为方管柱固定连接组成的阶梯型结构,且其一侧设有开口,所述旋转篮的中部两侧各设有一处旋转轴,所述旋转轴活动安装在U型支架的半圆形缺口处,进而实现旋转篮与U型支架的活动连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种高位加料装置,其特征在于,结构包括固定架、U型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条,所述旋转篮、U型支架、双导杆气缸、固定架自上而下依次连接,所述链条一端与旋转篮铰接,另一端与固定架固定连接,所述固定架结构包括固定架本体与可调节脚杯,所述固定架本体为方管柱固定连接组成的长方体架体,所述固定架本体的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板,所述固定架本体的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯,所述双导杆气缸位于固定架本体的内部,并竖直固定连接到固定板的一侧面,所述U型支架为U型结构,且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口,所述U型支架的底部与双导杆气缸的顶部固定连接,所述旋转篮为方管柱固定连接组成的阶梯型结构,且其一侧设有开口,所述旋转篮的中部两侧各设有一处旋转轴,所述旋转轴活...
【专利技术属性】
技术研发人员:鲁济伟,
申请(专利权)人:吉林瑞能半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:吉林;22
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