衬底处理系统、衬底处理装置及半导体器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供衬底处理系统、衬底处理装置及半导体器件的制造方法，能够分别使用搬送衬底时的图像数据和发生搬送错误时的图像数据来进行异常解析。具备：第1控制单元，其获取搬送衬底时产生的事件数据及发生搬送错误时产生的警报数据；记录单元，其将衬底的搬送动作记录为第1图像数据，且将该衬底的搬送动作记录为比该第1图像数据高精细的第2图像数据；第2控制单元，其基于事件数据使由记录单元记录的第1图像数据存储到第1存储部中，并且基于警报数据使由记录单元记录的第2图像数据存储到第2存储部中；和操作部，其至少显示第1图像数据和第2图像数据，第2控制单元将第1图像数据和发生搬送错误时记录的第2图像数据双方显示到同一画面。

Substrate processing system, substrate processing device and manufacturing method of semiconductor device

【技术实现步骤摘要】
衬底处理系统、衬底处理装置及半导体器件的制造方法
本专利技术涉及衬底处理系统、衬底处理装置及半导体器件的制造方法。
技术介绍
衬底处理装置例如构成为通过搬送单元向处理室内搬送衬底(以下也称为晶片)，并在处理室内对衬底进行规定处理。在搬送衬底时，存在例如因搬送单元的故障、处理室内外的压力差而衬底偏移、落下或破损的情况。以往，会掌握该搬送单元的搬送状况(例如参照专利文献1)。另外，设置检测衬底的状态的检测单元(例如光传感器、映射传感器(mappingsensor)等传感器类)，在规定位置处的衬底的状态与期待值不同的情况下，将其检测为搬送错误，并且，在操作画面上显示搬送错误状况和发生搬送错误时的搬送系统的监视画面(例如参照专利文献2)。但是，即使明白发生了搬送错误，对于位置偏移、落下、破损等衬底的详细状态和导致该状态的原因的掌握，也无法立刻知道。为了消除上述状况，可以想到例如将摄像机等记录单元设置在衬底处理装置内并将其利用于搬送错误的解析(例如参照专利文献3)。但是，若只是持续保存运转中的图像数据，则在发生搬送错误时要从庞大量的图像数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底处理系统，其特征在于，具备：/n第1控制单元，其获取搬送衬底时产生的事件数据及发生搬送错误时产生的警报数据；/n记录单元，其将衬底的搬送动作记录为第1图像数据，且将该衬底的搬送动作记录为分辨率比该第1图像数据高的第2图像数据；/n第2控制单元，其基于所述事件数据使由所述记录单元记录的第1图像数据存储到第1存储部中，并且基于所述警报数据使由所述记录单元记录的第2图像数据存储到第2存储部中；和/n操作部，其至少显示所述第1图像数据和所述第2图像数据，/n所述第2控制单元将所述第1图像数据和发生所述搬送错误时记录的所述第2图像数据双方显示到同一画面上。/n

【技术特征摘要】
20180803 JP 2018-146484;20190708 JP 2019-1270501.一种衬底处理系统，其特征在于，具备：
第1控制单元，其获取搬送衬底时产生的事件数据及发生搬送错误时产生的警报数据；
记录单元，其将衬底的搬送动作记录为第1图像数据，且将该衬底的搬送动作记录为分辨率比该第1图像数据高的第2图像数据；
第2控制单元，其基于所述事件数据使由所述记录单元记录的第1图像数据存储到第1存储部中，并且基于所述警报数据使由所述记录单元记录的第2图像数据存储到第2存储部中；和
操作部，其至少显示所述第1图像数据和所述第2图像数据，
所述第2控制单元将所述第1图像数据和发生所述搬送错误时记录的所述第2图像数据双方显示到同一画面上。


2.如权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，还具备：
搬送衬底的搬送单元；和
检测由所述搬送单元导致的所述搬送错误的检测单元，
所述第1控制单元构成为，
从所述检测单元获取表示所述搬送错误的通知，将至少包含发生了所述搬送错误的装置名、对所述搬送错误设定的警报ID、所述搬送错误的发生时刻的错误信息向所述第2控制单元和所述操作部通知。


3.如权利要求2所述的衬底处理系统，其特征在于，
所述第2控制单元构成为，
获取所述错误信息，将所述搬送错误发生前后的规定时间量的所述第2图像数据文件化，将其存储到所述第2存储部中，且基于所述错误信息而使与发生了所述搬送错误的装置的操作画面相同的画面显示到所述操作部上，并且在该相同的画面上显示进行受理的单元，该进行受理的单元用于受理使所述记录单元获取到的所述第1图像数据显示的指示。


4.如权利要求2所述的衬底处理系统，其特征在于，
所述第2控制单元构成为，
当受理使所述记录单元获取到的所述第1图像数据显示的指示后，切换到包含发生所述搬送错误的时间点下的所述第1图像数据和所述错误信息的画面并使其显示到所述操作部上。


5.如权利要求2所述的衬底处理系统，其特征在于，
所述第2控制单元构成为，
当受理所述警报ID及/或所述发生时刻的选择指示后，使通过以选择的所述警报ID及/或所述发生时刻在所述第2存储部内进行检索而得到的所述第2图像数据显示到所述操作部上。


6.如权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，
所述检测单元检测表示基于所述搬送单元进行的所述衬底的搬送开始及结束的事件数据，
所述第1控制单元当通过所述检测单元检测出所述事件数据时向所述第2控制单元通知所述事件数据，
所述第2控制单元构成为，当被通知所述衬底的搬送动作结束的事件数据后，将记录了所述衬底的搬送动作的从开始到结束为止的第1图像数据保存到所述第1存储部中。


7.如权利要求2所述的衬底处理系统，其特征在于，
所述第2控制单元构成为，将所述第2图像数据和所述第1图像数据显示到同一画面上，其中所述第2图像数据是通过以所述警报ID及/或所述发生时刻在所述第2存储部内检索而得到的，所述第1图像数据预先保存在所述第1存储部内，记录了所述衬底的搬送动作的从开始到结...

【专利技术属性】
技术研发人员：米田秋彦，浅井一秀，前田哲之，宫下直也，宫川信之，冈崎正，柳濑英雄，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：日本;JP