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本发明提供衬底处理系统、衬底处理装置及半导体器件的制造方法，能够分别使用搬送衬底时的图像数据和发生搬送错误时的图像数据来进行异常解析。具备：第1控制单元，其获取搬送衬底时产生的事件数据及发生搬送错误时产生的警报数据；记录单元，其将衬底的搬送...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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