摄像面板制造技术

摄像面板中，在多个像素的每一个上具备光电转换元件的有源矩阵基板中，在各像素包括：设置在光电转换元件的一侧的表面的第一电极；设置在光电转换元件和所述第一电极的上层的第一平坦化膜；以及设置在所述第一平坦化膜的下层的偏压导电部。偏压导电部与第一电极连接，并向第一电极施加偏压电压。第一平坦化膜在与所述像素区域重叠的区域中未形成开口。

Camera panel

【技术实现步骤摘要】
摄像面板
以下公开的专利技术涉及一种摄像面板。
技术介绍
以往，提出了用于在每个像素上具备设置有开关元件和光电转换元件的有源矩阵基板中，抑制光电转换元件的漏电流的技术。特开2011-114310号公报公开了一种光电转换装置，其设置有化合物层，所述化合物层保护光电转换层的上表面中从上部电极突出的部分的。光电转换层是在形成覆盖非晶硅层上的上部电极的外侧部分的化合物层之后，通过蚀刻非晶硅层并进行图案化来形成。通过设置化合物层，可以降低蚀刻后的灰化处理导致的光电转换层的损害，可以抑制光电二极管的漏电流。然而，在X射线摄像装置中，存在如下情况：在光电二极管的上层所设置的平坦化膜上配置提供偏压电压的偏压配线，且用于连接偏压配线和光电二极管的上部电极的接触孔被形成在平坦化膜上。在这种情况下，当水分渗透到平坦化膜时，水分容易经由设置在平坦化膜上的接触孔而进入光电二极管。结果，光电二极管的漏电流变得容易流动，且漏电流增大。
技术实现思路
为了解决上述问题，以下公开的摄像面板，包括有源矩阵基板，所述有源矩阵基板具有包括多个像素的像素区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种摄像面板，其特征在于，包括有源矩阵基板，所述有源矩阵基板具有包括多个像素的像素区域，所述多个像素的每一个包括光电转换元件，/n所述有源矩阵基板在所述多个像素的每一个中具有：/n第一电极，设置在所述光电转换元件的一侧的表面；/n第一平坦化膜，设置在所述光电转换元件和所述第一电极的上层；以及/n偏压导电部，与所述第一电极连接，且向所述第一电极施加偏压电压，/n所述偏压导电部与所述第一平坦化膜相比靠下层设置，/n所述第一平坦化膜在俯视时与所述像素区域重叠的区域中未形成开口。/n

【技术特征摘要】
20180730 US 62/7120781.一种摄像面板，其特征在于，包括有源矩阵基板，所述有源矩阵基板具有包括多个像素的像素区域，所述多个像素的每一个包括光电转换元件，
所述有源矩阵基板在所述多个像素的每一个中具有：
第一电极，设置在所述光电转换元件的一侧的表面；
第一平坦化膜，设置在所述光电转换元件和所述第一电极的上层；以及
偏压导电部，与所述第一电极连接，且向所述第一电极施加偏压电压，
所述偏压导电部与所述第一平坦化膜相比靠下层设置，
所述第一平坦化膜在俯视时与所述像素区域重叠的区域中未形成开口。


2.根据权利要求1所述的摄像面板，其特征在于，所述有源矩阵基板进一步包括：
第一绝缘膜，覆盖所述第一电极和所述光电转换元件的表面；以及
第二平坦化膜，与所述光电转换元件相比靠下层设置，
所述偏压导电部包括设置在所述第二平坦化膜的下层的偏压配线，以及连接所述偏压配线和所述第一电极之间的偏压电极，
在所述第一绝缘膜的一部分的上方中，所述偏压电极设置在所述第一绝缘膜和所述第一平坦化膜之间，
所述第一绝缘膜具有用于连接所述偏压电极和所述第一电极的第一接触孔，
所述第二平坦化膜在俯视时与所述光电转换元件未重叠的位置处具有用于连接所述偏压电极和所述偏压配线的第二接触孔。


3.根据权利要求1所述的摄像面板，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷田力也，中野文树，中泽淳，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP