【技术实现步骤摘要】
太赫兹信号探测器及其制备方法
本专利技术涉及太赫兹信号探测
，尤其涉及一种太赫兹信号探测器及其制备方法。
技术介绍
太赫兹波是指频率范围为0.1THz～10THz的电磁波，相对应的波长范围为3毫米～30微米，介于微波与红外线之间，因此也被称作亚毫米波段或远红外波段。太赫兹波的以下特点使其具有广阔的应用前景：(1)光子能量低。在太赫兹波的频率范围内，其光子能量处于毫电子伏量级，只有X射线光子能量的百万分之一，而生物大分子自身的振动和转动能级位于太赫兹波段，有机分子之间相互作用会在太赫兹波段呈现强烈的吸收特性，因此，太赫兹波可以应用于生物大分子等物质的活体检测、人体安检等。(2)穿透性强。太赫兹波的波长长于可见光，可以穿透多种材料，例如皮革、塑料、脂肪等，并且其在沙尘、烟雾等环境下传输损耗也远远小于可见光，因此，太赫兹波可以应用于复杂环境下的人员装备探测。(3)宽波段与高分辨率。太赫兹波比微波的频段更宽，具有更大的传输容量，其脉冲宽度可以达到皮秒量级、波长短于微波，因此，太赫兹波可以实现更高的时间和空间分辨率的信号...
【技术保护点】
1.一种太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号探测器包括衬底及设置于所述衬底上的太赫兹信号探测像素阵列，所述太赫兹信号探测像素阵列包括多条信号线、多条数据线以及由所述多条信号线和所述多条数据线交叉限定的多个像素单元，每一个所述像素单元包括太赫兹信号接收层和薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的源极与所述太赫兹信号接收层电连接，所述薄膜晶体管的漏极与其中一条数据线连接，所述薄膜晶体管的栅极与其中一条信号线连接，所述薄膜晶体管用于将所述太赫兹信号接收层接收的太赫兹信号转换为电信号并输出。/n
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号探测器包括衬底及设置于所述衬底上的太赫兹信号探测像素阵列，所述太赫兹信号探测像素阵列包括多条信号线、多条数据线以及由所述多条信号线和所述多条数据线交叉限定的多个像素单元，每一个所述像素单元包括太赫兹信号接收层和薄膜晶体管，所述薄膜晶体管的源极与所述太赫兹信号接收层电连接，所述薄膜晶体管的漏极与其中一条数据线连接，所述薄膜晶体管的栅极与其中一条信号线连接，所述薄膜晶体管用于将所述太赫兹信号接收层接收的太赫兹信号转换为电信号并输出。
2.根据权利要求1所述的太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号接收层包括太赫兹信号转换层、热敏层，所述热敏层设于所述衬底与所述太赫兹信号转换层之间。
3.根据权利要求2所述的太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号转换层包括导热层、太赫兹信号吸收层，所述导热层设于所述热敏层与所述太赫兹信号吸收层之间。
4.根据权利要求3所述的太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号吸收层包括两层金属层及设于所述两层金属层之间的中间介质层。
5.根据权利要求1所述的太赫兹信号探测器，其特征在于，所述太赫兹信号探测器还包括支撑结构及反射层，所述支撑结构位于所述衬底与所述反...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴阳，邵龑，杨春雷，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44
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