测试装置制造方法及图纸

实施方式的测试装置具备：腔室；探针卡，具有在腔室内露出的探针；支撑台，在腔室内支撑测试对象物；移动机构，使支撑台在测试对象物与探针接触的测试位置和测试对象物在水平方向上与探针分离的清洁位置之间移动；及空气管，当支撑台配置在清洁位置时，通过探针卡将第1干空气导入至腔室内。

testing device

【技术实现步骤摘要】
测试装置[相关申请案]本申请案享有以日本专利申请2018-141446号(申请日：2018年7月27日)为基础申请案的优先权。本申请案通过参照该基础申请案而包含基础申请案的全部内容。
本专利技术的实施方式涉及一种测试装置。
技术介绍
已知使探针卡的探针(针)接触于形成在半导体晶圆上的金属焊点，测试电气特性。若重复进行如此的测试，则存在金属屑附着于探针的情形。在此情形时，因存在测试精度下降的可能性，故探针被定期地利用清洁片清洁。若以清洁片进行清洁，则探针被研磨而磨损。因此，存在探针寿命下降的可能性。
技术实现思路
实施方式提供一种可一面维持测试精度一面避免探针寿命下降的测试装置。本实施方式的测试装置具备：腔室；探针卡，具有在腔室内露出的探针；支撑台，在腔室内支撑测试对象物；移动机构，使支撑台在测试对象物与探针接触的测试位置和测试对象物在水平方向上与探针分离的清洁位置之间移动；及空气管，当支撑台配置在清洁位置时，通过探针卡将第1干空气导入至腔室内。附图说明图1是表示第1实施方式的测试装置的概略构成的示意图。图2是探针卡的概略俯视图。图3(a)是表示使用第1实施方式的测试装置的测试状态的示意图。图3(b)是表示使用图3(a)的测试装置的清洁状态的示意图。图4(a)是表示使用变化例1的测试装置的测试状态的示意图。图4(b)是表示使用图4(a)的测试装置的清洁状态的示意图。图5(a)是表示使用变化例2的测试装置的测试状态的示意图。图5(b)是表示使用图5(a)的测试装置的清洁状态的示意图。图6是简略地表示变化例3的收屑构件的构造的示意图。图7(a)是表示第2实施方式的测试装置的概略构成的示意图。图7(b)是图7(a)所示的虚线区域的放大图。图8(a)是表示使用变化例4的测试装置的测试状态的示意图。图8(b)是表示使用图8(a)的测试装置的清洁的准备状态的示意图。图9(a)是表示使用变化例2的测试装置的清洁状态的示意图。图9(b)是图9(a)所示的虚线区域的放大图。图10(a)是表示使用第3实施方式的测试装置的测试状态的示意图。图10(b)是表示使用图10(a)的测试装置的清洁状态的示意图。图11是图10(b)所示的虚线区域的放大图。具体实施方式以下，对于实施方式，一面参照附图，一面进行说明。另外，本专利技术不限于这些实施方式。(第1实施方式)图1是表示第1实施方式的测试装置的概略构成的示意图。图1所示的测试装置1具备：腔室10、探针卡20、测试头30、空气管40、支撑台50、收屑构件60、及移动机构70。腔室10收容探针卡20、支撑台50、及收屑构件60。本实施方式中，测试对象物100是在腔室10内以各种温度条件进行测试。测试对象物100是例如半导体晶圆。在该半导体晶圆表面，形成有金属焊点(未图示)。金属焊点是使用例如铝而形成。探针卡20固定在腔室10的内面上部。在探针卡20，形成有开口部21。而且，如图2所示，多个探针22以沿着开口部21排列的方式设置。从上方观察时，探针22的前端配置在开口部21。探针22在腔室10内露出，以便可与所述金属焊点接触。测试头30在腔室10的外表面上部，与探针卡20电性连接。测试头30根据与测试对象物100的测试相关的电气条件，对探针进行信号收发。而且，在测试头30形成有开口部21。开口部21是与形成在探针卡20的开口部21连通。空气管40通过测试头30的开口部31及探针卡20的开口部21，将干空气200(第1干空气)导入至腔室10内。干空气200的露点是例如-60～-70℃。干空气200是用于将附着在探针22上的金属屑(本实施方式中为铝屑)吹落。支撑台50是支撑测试对象物100。支撑台50可通过移动机构70而在水平方向及铅垂方向上移动。收屑构件60是与支撑台50一体地设置。具体而言，收屑构件60是从支撑台50的外周部水平方向地突出。收屑构件60形成为凹状。在收屑构件60内，回收被干空气200从探针22吹落的金属屑。移动机构70根据测试对象物100的测试时及探针22的清洁时而调整支撑台50及收屑构件60的位置。移动机构70具有用以将支撑台50及收屑构件60驱动的电动机、或该电动机的驱动电路等。图3(a)是表示测试对象物100的测试状态的示意图。图3(b)是表示探针22的清洁状态的示意图。在对测试对象物100进行测试时，如图3(a)所示，移动机构70使支撑台50在铅垂方向上移动到测试位置。在测试位置上，由支撑台50支撑的测试对象物100的金属焊点(未图示)接触探针22。在金属焊点与探针22接触的状态下，测试头30通过探针22，对测试对象物100进行通电。由此，测试测试对象物100的电气特性。若重复进行如上所述的测试，则金属焊点的金属可能作为金属屑附着在探针22上。因此，在本实施方式中，当测试对象物100的测试结束后，移动机构70毎次或定期地使支撑台50以水平方向移动至清洁位置。在清洁位置上，由支撑台50支撑的测试对象物100在水平方向上与探针22分离，另一方面，收屑构件60被配置在探针22的下方。接着，干空气200从空气管40通过测试头30的开口部31。进而，干空气200从探针卡20的开口部21流入腔室10内。因沿着开口部21设置探针22，故而，附着在探针22上的金属屑被干空气200吹落。吹落的金属屑被回收到在探针22的正下方配置的收屑构件60。根据以上说明的本实施方式，利用干空气200将附着在探针22上的金属屑去除。因此，即便不使清洁片等清洁构件接触探针，也可将金属屑去除，从而可维持测试对象物100的测试精度。而且，因也可防止清洁时探针22的磨损，故可避免探针22寿命下降。(变化例1)对变化例1进行说明。对于与所述第1实施方式同样的构成要素，标注相同符号，将详细说明省略。图4(a)是表示使用变化例1的测试装置1a的测试对象物100的测试状态的示意图。图4(b)是表示使用测试装置1a的探针22的清洁状态的示意图。如图4(a)及图4(b)所示，在本变化例的测试装置1a中，将收屑构件60与支撑台50分离地设置。而且，移动机构70使支撑台50单独地移动，移动机构71使收屑构件60单独地移动。即，支撑台50及收屑构件60可分别独立地移动。本变化例中，在测试测试对象物100时，如图4(a)所示，以测试对象物100接触探针22的方式，移动机构70使支撑台50上升移动。另一方面，在清洁探针22时，如图4(b)所示，以测试对象物100在水平方向上与探针22分离的方式，移动机构70使支撑台50水平移动。而且，移动机构71使收屑构件60移动至探针22的下方。此后，将干空气200从空气管40导入至腔室10内后，将附着在探针22上的金属屑吹落。根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试装置，具备：/n腔室；/n探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；/n支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；/n移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物与所述探针接触的测试位置和所述测试对象物在水平方向上与所述探针分离的清洁位置之间移动；及/n空气管，当所述支撑台配置在所述清洁位置时，通过所述探针卡将第1干空气导入至所述腔室内。/n

【技术特征摘要】
20180727 JP 2018-1414461.一种测试装置，具备：
腔室；
探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；
支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；
移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物与所述探针接触的测试位置和所述测试对象物在水平方向上与所述探针分离的清洁位置之间移动；及
空气管，当所述支撑台配置在所述清洁位置时，通过所述探针卡将第1干空气导入至所述腔室内。


2.根据权利要求1所述的测试装置，其中在所述支撑台配置在所述测试位置时，所述空气管通过所述探针卡，将第2干空气导入至所述腔室内，且所述第2干空气的流量小于所述第1干空气的流量。


3.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备与所述支撑台一体地或与所述支撑台分离地设置的收屑构件，
所述移动机构在所述支撑台配置在所述清洁位置时，使所述收屑构件配置在所述探针的下方。


4.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述收屑构件在当所述支撑台配置在所述清洁位置时与所述探针对向的表面上具有粘附片。


5.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备在所述支撑台配置在所述清洁位置时在所述探针的下方产生静电的静电产生器。


6.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备：
容器，储存所述支撑台配置在所述清洁位置时浸渍所述探针的液体；及
超声波产生器，使所述液体进行超声波振动。


7.一种测试装置，具备：
腔室；
探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；
支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；
移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物接触所述探针的测试位置与所述测试对象物在水平方向上与所述探...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原友子，末山敬雄，金田圭子，津村路子，
申请(专利权)人：东芝存储器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP