测试装置制造方法及图纸

实施方式的测试装置具备：腔室；探针卡，具有在腔室内露出的探针；支撑台，在腔室内支撑测试对象物；移动机构，使支撑台在测试对象物与探针接触的测试位置和测试对象物在水平方向上与探针分离的清洁位置之间移动；及空气管，当支撑台配置在清洁位置时，通过探针卡将第1干空气导入至腔室内。

testing device

【技术实现步骤摘要】
测试装置[相关申请案]本申请案享有以日本专利申请2018-141446号(申请日：2018年7月27日)为基础申请案的优先权。本申请案通过参照该基础申请案而包含基础申请案的全部内容。
本专利技术的实施方式涉及一种测试装置。
技术介绍
已知使探针卡的探针(针)接触于形成在半导体晶圆上的金属焊点，测试电气特性。若重复进行如此的测试，则存在金属屑附着于探针的情形。在此情形时，因存在测试精度下降的可能性，故探针被定期地利用清洁片清洁。若以清洁片进行清洁，则探针被研磨而磨损。因此，存在探针寿命下降的可能性。
技术实现思路
实施方式提供一种可一面维持测试精度一面避免探针寿命下降的测试装置。本实施方式的测试装置具备：腔室；探针卡，具有在腔室内露出的探针；支撑台，在腔室内支撑测试对象物；移动机构，使支撑台在测试对象物与探针接触的测试位置和测试对象物在水平方向上与探针分离的清洁位置之间移动；及空气管，当支撑台配置在清洁位置时，通过探针卡将第1干空气导入至腔室内。附图说明图1是表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试装置，具备：/n腔室；/n探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；/n支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；/n移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物与所述探针接触的测试位置和所述测试对象物在水平方向上与所述探针分离的清洁位置之间移动；及/n空气管，当所述支撑台配置在所述清洁位置时，通过所述探针卡将第1干空气导入至所述腔室内。/n

【技术特征摘要】
20180727 JP 2018-1414461.一种测试装置，具备：
腔室；
探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；
支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；
移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物与所述探针接触的测试位置和所述测试对象物在水平方向上与所述探针分离的清洁位置之间移动；及
空气管，当所述支撑台配置在所述清洁位置时，通过所述探针卡将第1干空气导入至所述腔室内。


2.根据权利要求1所述的测试装置，其中在所述支撑台配置在所述测试位置时，所述空气管通过所述探针卡，将第2干空气导入至所述腔室内，且所述第2干空气的流量小于所述第1干空气的流量。


3.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备与所述支撑台一体地或与所述支撑台分离地设置的收屑构件，
所述移动机构在所述支撑台配置在所述清洁位置时，使所述收屑构件配置在所述探针的下方。


4.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述收屑构件在当所述支撑台配置在所述清洁位置时与所述探针对向的表面上具有粘附片。


5.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备在所述支撑台配置在所述清洁位置时在所述探针的下方产生静电的静电产生器。


6.根据权利要求1所述的测试装置，其更具备：
容器，储存所述支撑台配置在所述清洁位置时浸渍所述探针的液体；及
超声波产生器，使所述液体进行超声波振动。


7.一种测试装置，具备：
腔室；
探针卡，具有在所述腔室内露出的探针；
支撑台，在所述腔室内支撑测试对象物；
移动机构，使所述支撑台在所述测试对象物接触所述探针的测试位置与所述测试对象物在水平方向上与所述探...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原友子，末山敬雄，金田圭子，津村路子，
申请(专利权)人：东芝存储器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP