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实施方式的测试装置具备：腔室；探针卡，具有在腔室内露出的探针；支撑台，在腔室内支撑测试对象物；移动机构，使支撑台在测试对象物与探针接触的测试位置和测试对象物在水平方向上与探针分离的清洁位置之间移动；及空气管，当支撑台配置在清洁位置时，通过探...
该专利属于东芝存储器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。

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