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扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置制造方法及图纸

技术编号:23271528 阅读:44 留言:0更新日期:2020-02-08 11:51
本实用新型专利技术公开了一种扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置,此装置能保证扩散硅压力传感器使用在潮湿、有害气体环境时的测量精度、稳定性和使用寿命。本实用新型专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:在扩散硅压力传感器使用现场安装一个气压平衡隔离装置。隔离装置是一个带密封上盖的中空密封盒,其内部含两个独立舱室,分别是接线端子密封舱和气压平衡隔离舱。压力传感器引出信号线和控制室信号线在接线端子密封舱内进行连接后,将通气管引入气压平衡隔离舱内与平衡气囊连接进行现场大气压传导和空气隔离。最终实现即进行现场大气压传导又避免现场潮湿、有害空气进入扩散硅传感器内部影响测量精度、稳定性和使用寿命。

Atmospheric pressure balance isolation device of diffused silicon pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置
本技术涉及一种扩散硅压力传感器在测量相对压力或液位时,隔离现场空气及有害气体,保证测量精度和稳定性,延长传感器使用寿命的装置。同时该装置也可以应用于其他压阻和压电式传感器检测时现场空气的隔离。
技术介绍
目前,扩散硅压力传感器被广泛用于有工业及民用领域压力和液位测量。在应用过程中,大部分情况是测量被测介质的相对压力(表压),即被测介质的绝对压力减去现场大气压。为实现测量相对压力(表压),一般采取在扩散硅压力传感器敏感元件硅片的反面设置一根中空细管(通气管)与现场大气连通,使正反面大气压力相互抵消,达到测量相对压力即表压的目的。但,压力、液位测量传感器在实际应用时,多数安装于地下窨井、水池、露天、车间等潮湿、存有害气体的恶劣环境。这时,潮湿空气或有害气体就会顺着通气管到达扩散硅压力传感器内部,干扰测量精度和破坏传感器内部元件,造成测量数值失真、漂移和器件损坏现象,严重影响测量可靠性,给工业控制和正常生产带来困难。根据实际应用统计,在潮湿环境使用3-6个月,露天使用经过1个雨季,传感器均出现不同程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置,在隔离装置中,接线端子密封舱、气压平衡隔离舱、电缆密封接头、接线端子、平衡气囊、隔离装置上盖、分子塞通气孔,其特征是:隔离装置中设立两个独立舱室,分别是接线端子密封舱和气压平衡隔离舱,信号电缆通过接线端子密封舱连接,通过气压平衡隔离舱进行大气压平衡和空气隔离。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置,在隔离装置中,接线端子密封舱、气压平衡隔离舱、电缆密封接头、接线端子、平衡气囊、隔离装置上盖、分子塞通气孔,其特征是:隔离装置中设立两个独立舱室,分别是接线端子密封舱和气压平衡隔离舱,信号电缆通过接线端子密封舱连接,通过...

【专利技术属性】
技术研发人员:李占东
申请(专利权)人:李占东
类型:新型
国别省市:吉林;22

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