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扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置制造方法及图纸
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文档序号:23271528
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本实用新型公开了一种扩散硅压力传感器大气压平衡隔离装置,此装置能保证扩散硅压力传感器使用在潮湿、有害气体环境时的测量精度、稳定性和使用寿命。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:在扩散硅压力传感器使用现场安装一个气压平衡隔离装置。隔离...
该专利属于李占东所有,仅供学习研究参考,未经过李占东授权不得商用。
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