真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜设备，包括真空炉、蒸发热源、冷却装置、以及旋转支架。真空炉内形成有镀膜腔室，蒸发热源设置在真空炉的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到镀膜腔室内。冷却装置包括在真空炉的外壁面周向分布的至少两组冷却组件，每一冷却组件包括在真空炉的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道、出液通道、以及在真空炉的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路，冷却支路一端连通进液通道，并由进液通道沿真空炉的外壁向下倾斜连通至出液通道。冷却液进入进液通道，再从各冷却支路分流流到出液通道流出，在冷却液流动过程中，可以将真空炉的热量带走，使真空炉内的温度保持在镀膜需求的范围内，还可开启适当数量的冷却组件冷却。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备
本技术涉及镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜设备。
技术介绍
相关技术中的镀膜设备的真空炉外侧的冷却方式通常为自然冷，或采用气冷的方式，其冷却效率较低，会导致真空炉的温度过高，而影响镀膜的颜色和厚度，使镀膜效果不稳定。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的真空镀膜设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种真空镀膜设备，包括真空炉、蒸发热源、冷却装置、以及旋转支架；所述真空炉内形成有镀膜腔室，所述蒸发热源设置在所述真空炉的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室内；所述冷却装置包括在所述真空炉的外壁面周向分布的至少两组冷却组件，每一冷却组件包括在所述真空炉的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道、出液通道、以及在所述真空炉的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路，所述冷却支路一端连通所述进液通道，并由所述进液通道沿所述真空炉的外壁向下倾斜连通至所述出液通道；所述旋转支架可转动地安装在所述真空炉内，所述旋转支架包括竖直设置的旋转轴，所述旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空炉(1)、蒸发热源(2)、冷却装置(3)、以及旋转支架(4)；/n所述真空炉(1)内形成有镀膜腔室(11)，所述蒸发热源(2)设置在所述真空炉(1)的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室(11)内；/n所述冷却装置(3)包括在所述真空炉(1)的外壁面周向分布的至少两组冷却组件(31)，每一冷却组件(31)包括在所述真空炉(1)的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道(311)、出液通道(312)、以及在所述真空炉(1)的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路(313)，所述冷却支路(313)一端连通所述进液通道(311)，并由所述进液通道(31...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空炉(1)、蒸发热源(2)、冷却装置(3)、以及旋转支架(4)；
所述真空炉(1)内形成有镀膜腔室(11)，所述蒸发热源(2)设置在所述真空炉(1)的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室(11)内；
所述冷却装置(3)包括在所述真空炉(1)的外壁面周向分布的至少两组冷却组件(31)，每一冷却组件(31)包括在所述真空炉(1)的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道(311)、出液通道(312)、以及在所述真空炉(1)的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路(313)，所述冷却支路(313)一端连通所述进液通道(311)，并由所述进液通道(311)沿所述真空炉(1)的外壁向下倾斜连通至所述出液通道(312)；
所述旋转支架(4)可转动地安装在所述真空炉(1)内，所述旋转支架(4)包括竖直设置的旋转轴(41)，所述旋转轴(41)的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂(42)，供工件安装后随所述旋转支架(4)在所述镀膜腔室(11)内转动，每一组所述安装臂(42)包括在所述旋转轴(41)的周向分布的至少两个安装臂(42)。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述冷却装置(3)还包括套设在所述冷却组件(31)外的隔离套(32)，所述隔离套(32)的内侧和所述真空炉(1)的外壁面之间形成有冷却腔(33)，供冷却介质流通通过。


3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑威，李锦干，徐华毕，
申请(专利权)人：深圳市华尔利泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44