真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜设备，包括真空炉、蒸发热源、冷却装置、以及旋转支架。真空炉内形成有镀膜腔室，蒸发热源设置在真空炉的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到镀膜腔室内。冷却装置包括在真空炉的外壁面周向分布的至少两组冷却组件，每一冷却组件包括在真空炉的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道、出液通道、以及在真空炉的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路，冷却支路一端连通进液通道，并由进液通道沿真空炉的外壁向下倾斜连通至出液通道。冷却液进入进液通道，再从各冷却支路分流流到出液通道流出，在冷却液流动过程中，可以将真空炉的热量带走，使真空炉内的温度保持在镀膜需求的范围内，还可开启适当数量的冷却组件冷却。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备
本技术涉及镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜设备。
技术介绍
相关技术中的镀膜设备的真空炉外侧的冷却方式通常为自然冷，或采用气冷的方式，其冷却效率较低，会导致真空炉的温度过高，而影响镀膜的颜色和厚度，使镀膜效果不稳定。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的真空镀膜设备。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种真空镀膜设备，包括真空炉、蒸发热源、冷却装置、以及旋转支架；所述真空炉内形成有镀膜腔室，所述蒸发热源设置在所述真空炉的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室内；所述冷却装置包括在所述真空炉的外壁面周向分布的至少两组冷却组件，每一冷却组件包括在所述真空炉的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道、出液通道、以及在所述真空炉的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路，所述冷却支路一端连通所述进液通道，并由所述进液通道沿所述真空炉的外壁向下倾斜连通至所述出液通道；所述旋转支架可转动地安装在所述真空炉内，所述旋转支架包括竖直设置的旋转轴，所述旋转轴的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂，供工件安装后随所述旋转支架在所述镀膜腔室内转动，每一组所述安装臂包括在所述旋转轴的周向分布的至少两个安装臂。优选地，所述冷却装置还包括套设在所述冷却组件外的隔离套，所述隔离套的内侧和所述真空炉的外壁面之间形成有冷却腔，供冷却介质流通通过。优选地，所述进液通道的上端为冷却液进入所述进液通道的进液口，所述出液通道的下端为冷却液流出的出液口。优选地，所述真空炉的外壁面周向均匀分布有四组所述冷却组件，且各所述冷却组件相对所述真空炉的轴线中心对称。优选地，所述安装臂上设有可绕水平轴线转动地工件支架，所述工件支架上设有若干供工件安装的安装位，且各所述安装位在所述工件支架上绕所述工件支架的转动轴线中心对称分布。优选地，所述安装臂上安装有供所述工件支架安装的驱动轴、以及带动所述驱动轴转动地驱动电机。优选地，所述真空炉的底部设有与所述旋转轴的下端转动配合的承载座，以及带动所述旋转支架和承载座升降的升降台。优选地，所述蒸发热源包括分布在所述真空炉的内壁面上、且位于上下两相邻所述安装臂之间的若干蒸发点。实施本技术的真空镀膜设备，具有以下有益效果：冷却液可以先进入进液通道，再从各冷却支路分流流到出液通道，再从出液通道流出，在冷却液流动过程中，可以将真空炉的热量带走，使真空炉内的温度保持在镀膜需求的范围内。另外，可根据冷却的需求，选择开启适当数量的冷却组件，使真空炉内的温度适当降低，真空炉内温度高出较多时，可以开启多的冷却组件，真空炉内温度高出较少时，可以开启少的冷却组件，使得真空炉内的温度调节灵敏度更高。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术实施例中的真空镀膜设备的内部结构示意图；图2是本技术实施例中的真空镀膜设备的真空炉外壁上的冷却组件的排布示意图；图3是图2中真空镀膜设备的俯视方向冷却组件和隔离套的组装示意图。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。如图1、图2所示，本技术一个优选实施例中的真空镀膜设备包括真空炉1、蒸发热源2、冷却装置3、以及旋转支架4。真空炉1内形成有镀膜腔室11，蒸发热源2设置在真空炉1的内壁面上，以在通电后将镀膜材料加热蒸发到镀膜腔室11内，可以沉积到工件表面镀膜。结合图1至图3所示，进一步地，冷却装置3包括在真空炉1的外壁面周向分布的至少两组冷却组件31，每一冷却组件31包括在真空炉1的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道311、出液通道312、以及在真空炉1的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路313，冷却支路313一端连通进液通道311，并由进液通道311沿真空炉1的外壁向下倾斜连通至出液通道312。冷却液可以先进入进液通道311，再从各冷却支路313分流流到出液通道312，再从出液通道312流出，在冷却液流动过程中，可以将真空炉1的热量带走，使真空炉1内的温度保持在镀膜需求的范围内。另外，可根据冷却的需求，选择开启适当数量的冷却组件31，使真空炉1内的温度适当降低，真空炉1内温度高出较多时，可以开启多的冷却组件31，真空炉1内温度高出较少时，可以开启少的冷却组件31，使得真空炉1内的温度调节灵敏度更高。优选地，进液通道311的上端为冷却液进入进液通道311的进液口314，接上管道让冷却液流入进液通道311，出液通道312的下端为冷却液流出的出液口315，让冷却液流动时可以依靠重力自动流下，经管道排出，不会在内部产生残留，使吸收的余热排出更充分。在本实施例中，真空炉1的外壁面周向均匀分布有四组冷却组件31，且各冷却组件31相对真空炉1的轴线中心对称，可以根据冷却需求开启适当的冷却组件31，利于控制冷却的效率，保证能按需求冷却。冷却组件31还可以与真空炉1拆分开，更换不同结构的冷却组件31。进一步地，旋转支架4可转动地安装在真空炉1内，旋转支架4包括竖直设置的旋转轴41，旋转轴41的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂42，安装臂42可供工件安装后随旋转支架4在镀膜腔室11内转动，让工件上沉积蒸发的镀膜材料。优选地，每一组安装臂42包括在旋转轴41的周向分布的至少两个安装臂42，可以在旋转轴41周向上分布的安装臂42上装上工件，提升生产效率。在一些实施例中，蒸发热源2包括分布在真空炉1的内壁面上、且位于上下两相邻安装臂42之间的若干蒸发点21，各蒸发点21可分别加热蒸发镀膜材料，使蒸发的镀膜材料在镀膜腔室11内分布的更加均匀，同时，蒸发点21也相对各安装臂42的位置分布更加均匀，利于在各不同位置的工件上沉积厚度均匀的沉积膜。进一步地，冷却装置3还包括套设在冷却组件31外的隔离套32，隔离套32的内侧和真空炉1的外壁面之间形成有冷却腔33，供冷却介质流通通过。冷却腔33内可以供冷却气体、冷却液等冷却介质流通通过，进一步带走多余的热量。冷却腔33内流通冷却介质的冷却方式可以与采用冷却组件31冷却的冷却方式同时进行，也可分别进行。在一些实施例中，安装臂42上设有可绕水平轴线转动地工件支架43，工件支架43上设有若干供工件安装的安装位431，且各安装位431在工件支架43上绕工件支架43的转动轴线中心对称分布。工件支架43在安装臂42上转动时，可以让工件支架43不同位置的工件交换高度位置，以能让不同位置的工件沉积更加均匀的镀膜厚度，不会产生较大差异。进一步地，安装臂42上安装有供工件支架43安装的驱动轴、以及带动驱动轴转动的驱动电机，在进行镀膜作业时，驱动电机可以带动驱动轴转动，进一步带动工件支架43转动。也可在外部电机的运转下，通过齿轮传动等机构带动工件支架43的转动。在一些实施例中，真空炉1的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空炉(1)、蒸发热源(2)、冷却装置(3)、以及旋转支架(4)；/n所述真空炉(1)内形成有镀膜腔室(11)，所述蒸发热源(2)设置在所述真空炉(1)的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室(11)内；/n所述冷却装置(3)包括在所述真空炉(1)的外壁面周向分布的至少两组冷却组件(31)，每一冷却组件(31)包括在所述真空炉(1)的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道(311)、出液通道(312)、以及在所述真空炉(1)的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路(313)，所述冷却支路(313)一端连通所述进液通道(311)，并由所述进液通道(311)沿所述真空炉(1)的外壁向下倾斜连通至所述出液通道(312)；/n所述旋转支架(4)可转动地安装在所述真空炉(1)内，所述旋转支架(4)包括竖直设置的旋转轴(41)，所述旋转轴(41)的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂(42)，供工件安装后随所述旋转支架(4)在所述镀膜腔室(11)内转动，每一组所述安装臂(42)包括在所述旋转轴(41)的周向分布的至少两个安装臂(42)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括真空炉(1)、蒸发热源(2)、冷却装置(3)、以及旋转支架(4)；
所述真空炉(1)内形成有镀膜腔室(11)，所述蒸发热源(2)设置在所述真空炉(1)的内壁面上，以将镀膜材料加热蒸发到所述镀膜腔室(11)内；
所述冷却装置(3)包括在所述真空炉(1)的外壁面周向分布的至少两组冷却组件(31)，每一冷却组件(31)包括在所述真空炉(1)的外壁面在竖直方向并排间隔设置的进液通道(311)、出液通道(312)、以及在所述真空炉(1)的外壁面上由上至下间隔分布的若干冷却支路(313)，所述冷却支路(313)一端连通所述进液通道(311)，并由所述进液通道(311)沿所述真空炉(1)的外壁向下倾斜连通至所述出液通道(312)；
所述旋转支架(4)可转动地安装在所述真空炉(1)内，所述旋转支架(4)包括竖直设置的旋转轴(41)，所述旋转轴(41)的轴向上分布有水平伸出的若干组安装臂(42)，供工件安装后随所述旋转支架(4)在所述镀膜腔室(11)内转动，每一组所述安装臂(42)包括在所述旋转轴(41)的周向分布的至少两个安装臂(42)。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述冷却装置(3)还包括套设在所述冷却组件(31)外的隔离套(32)，所述隔离套(32)的内侧和所述真空炉(1)的外壁面之间形成有冷却腔(33)，供冷却介质流通通过。


3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑威，李锦干，徐华毕，
申请(专利权)人：深圳市华尔利泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44