【技术实现步骤摘要】
一种离子镀膜装置
本技术属于等离子装置
，尤其涉及一种离子镀膜装置。
技术介绍
众所周知，对导体施加高温和负高压会刺激电子从导体发射到真空。可以管理高电子电流以便从坩埚中的材料产生电子束蒸镀。一系列这些热电导体基于热灯丝，其中由于导线的横截面小，因此在相对低的电流下容易实现高温要求。热灯丝已广泛用于化学气相沉积(热灯丝CVD)以及增强蒸镀材料的电离，例如在热灯丝电离增强电子束蒸镀中。常压等离子镀膜技术可取代极为昂贵且维护手续繁杂的真空等离子镀膜技术。此外，常压等离子镀膜技术的量产流程具有连续性，因此可降低真空等离子镀膜批次制造的人力成本。然而，目前常压等离子镀膜技术最大的瓶颈在于大气环境下各种气体粒子碰撞剧烈，如何精准控制镀膜前驱物与等离子的混合将是关键技术。一种已知技术是直接将镀膜前驱物直接喷向等离子火炬。然而，这样的方式不仅容易造成镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费，也会有镀膜前驱物与等离子混合时间过短，而造成镀膜前驱物与等离子混合不均的问题，进而导致薄膜品质不佳。中国专利公开号为CN10...
【技术保护点】
1.一种离子镀膜装置，其特征在于，该离子镀膜装置，包括离子镀膜反应箱（1），支撑柱（2），固定底座板（3），L型角板（4），置物横板（5），可调节支撑的阴极夹座板结构（6），可加热的离子发生阳极坩埚结构（7），可放大观察的镀膜防护门结构（8），真空泵（9），加热固定座（10），加热棒（11），氧气补充管（12），补氧控制阀（13），抽气管（14）和磁铁块（15），所述的支撑柱（2）一端分别螺栓连接在离子镀膜反应箱（1）的下表面四角位置，另一端螺栓连接在固定底座板（3）的上表面中间位置；所述的L型角板（4）螺栓连接在支撑柱（2）的内侧下部位置；所述的置物横板（5）横向螺栓连接...
【技术特征摘要】
1.一种离子镀膜装置，其特征在于，该离子镀膜装置，包括离子镀膜反应箱（1），支撑柱（2），固定底座板（3），L型角板（4），置物横板（5），可调节支撑的阴极夹座板结构（6），可加热的离子发生阳极坩埚结构（7），可放大观察的镀膜防护门结构（8），真空泵（9），加热固定座（10），加热棒（11），氧气补充管（12），补氧控制阀（13），抽气管（14）和磁铁块（15），所述的支撑柱（2）一端分别螺栓连接在离子镀膜反应箱（1）的下表面四角位置，另一端螺栓连接在固定底座板（3）的上表面中间位置；所述的L型角板（4）螺栓连接在支撑柱（2）的内侧下部位置；所述的置物横板（5）横向螺栓连接在L型角板（4）水平段的上表面；所述的可调节支撑的阴极夹座板结构（6）安装在离子镀膜反应箱（1）的内部上侧中间位置；所述的可加热的离子发生阳极坩埚结构（7）安装在离子镀膜反应箱（1）的内部下表面中间位置；所述的可放大观察的镀膜防护门结构（8）安装在离子镀膜反应箱（1）的正表面中间位置；所述的真空泵（9）螺栓连接在置物横板（5）的上表面；所述的加热固定座（10）分别螺栓连接在离子镀膜反应箱（1）的内部左右两侧的上下两部；所述的加热棒（11）纵向镶嵌在加热固定座（10）和加热固定座（10）之间；所述的氧气补充管（12）镶嵌在离子镀膜反应箱（1）的右侧下部位置并与离子镀膜反应箱（1）的内部连通；所述的补氧控制阀（13）螺纹连接在氧气补充管（12）的下表面中间位置；所述的抽气管（14）一端镶嵌在离子镀膜反应箱（1）的下表面左侧位置，另一端镶嵌在真空泵（9）的上表面左侧位置；所述的磁铁块（15）胶接在离子镀膜反应箱（1）正表面左侧中间位置；所述的可调节支撑的阴极夹座板结构（6）包括阴极固定座（61），收纳螺纹管（62），顶紧螺栓（63），支撑螺杆（64），镀膜挂钩（65），吊杆（66），横支杆（67）和防撞座（68），所述的收纳螺纹管（62）螺钉连接在阴极固定座（61）的上表面中间位置；所述的顶紧螺栓（63）螺纹连接在收纳螺纹管（62）的正表面下部中间位置；所述的支撑螺杆（64）螺纹连接在收纳螺纹管（62）的内部上侧位置；所述的镀膜挂钩（65）分别镶嵌在阴极固定座（61）的下表面左右两侧位置；所述的吊杆（66）一端镶嵌在阴极固定座（61）的下表面中间位置，另一端胶接在横支杆（67）的上表面中间位置；所述的防撞座（68）分别胶接在横支杆（67）的左右两端。
2.如权利要求1所述的离子镀膜装置，其特征在于，所述的可加热的离子发生阳极坩埚结构（7）包括阳极坩埚（71），支撑杆（72），加热腔（73），加热丝（74），离子离散发生网板（75）和阳极棒（76）...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄先锋，陈杰，
申请(专利权)人：天津欧亚西斯金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12
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