【技术实现步骤摘要】
薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体
本技术涉及一种薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体。
技术介绍
半个世纪以来，太阳电池的效率不断提高，制造成本持续下降，在不少领域已经具有相当强的竞争力。尽管晶体硅电池在相当长的一段时期内仍将是太阳电池的主导产品，但是高效低成本的薄膜电池必将成为未来太阳电池领域的发展趋势，并且其市场份额将会逐年增大。薄膜太阳电池是以低成本、低效能和柔软性为基础的，通常在金属薄膜上以卷到卷方式制造，或在低成本的的柔性塑料膜上如PET上镀敷金属。薄膜太阳电池在降低成本方面比晶体硅太阳电池具有更大的优势：一是薄膜化可极大地节省昂贵的半导体材料：二是薄膜电池的材料制备和电池同时形成，因此节省了许多工序：三是质量轻、转换效率高、可根据用途使用软性基材制造，易折叠携带、应用空间弹性大。蒸发镀膜设备，是指待镀材料在真空环境下被加热至蒸发并达到饱和蒸汽压条件，此时待镀材料以分子或原子的形态进入到空间并最终沉积在基片上。这种镀膜方法由法拉第在1857年提出，并成为现代常用的镀膜技术之一。蒸发镀膜具有薄膜材料及基底材料范围广、薄膜...
【技术保护点】
1.薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体，其特征在于，包括腔体顶板、腔体底板以及固定连接腔体顶板与腔体底板的腔体侧板，腔体顶板、腔体底板及腔体侧板中的至少一块其表面一体设置或固定设置若干块筋板和/或凸板；凸板上间隔设置若干个测量孔；腔体顶板或腔体底板或腔体侧板上设置若干个呈燕尾槽形式的密封槽；腔体底板内表面一体设置或固定设置蒸发源基板连接件，蒸发源基板连接件呈方形或圆形。/n
【技术特征摘要】
1.薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体，其特征在于，包括腔体顶板、腔体底板以及固定连接腔体顶板与腔体底板的腔体侧板，腔体顶板、腔体底板及腔体侧板中的至少一块其表面一体设置或固定设置若干块筋板和/或凸板；凸板上间隔设置若干个测量孔；腔体顶板或腔体底板或腔体侧板上设置若干个呈燕尾槽形式的密封槽；腔体底板内表面一体设置或固定设置蒸发源基板连接件，蒸发源基板连接件呈方形或圆形。
2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体，其特征在于，所述腔体顶板、腔体底板及腔体侧板均固定设置若干块筋板和凸板；各块筋板的尺寸规格以及设置方向均不同。
3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体，其特征在于，所述蒸发源基板连接件呈方形且设有若干个，...
【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，钱拥军，
申请(专利权)人：光科真空科技泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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