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本实用新型公开了一种薄膜太阳能蒸发镀膜设备的腔体，包括腔体顶板、腔体底板以及固定连接腔体顶板与腔体底板的腔体侧板，腔体顶板、腔体底板及腔体侧板中的至少一块其表面一体设置或固定设置若干块筋板和/或凸板；凸板上间隔设置若干个测量孔；腔体顶板或腔...
该专利属于光科真空科技(泰兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光科真空科技(泰兴)有限公司授权不得商用。

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