【技术实现步骤摘要】
一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具
本技术涉及一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具。
技术介绍
工业上常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作，真空蒸发镀膜需要一定的真空条件和蒸发条件，真空蒸发镀膜设备中的主要部件之一是镀膜治具；为提高镀膜工作的效率，真空镀膜设备一般为大型机腔，因此，镀膜治具也以大型治具为设计宗旨，目前，除小型镀膜治具或特殊形状镀膜治具外，常用的大型镀膜治具为伞形的行星锅，伞形的行星锅比平面的镀膜治具面积更大，而分布在治具表面镀膜产品量相应增大，但是，伞形行星锅由于伞形具有一定倾斜度，镀膜产品在伞形治具表面的位置各不相同，因此所涂覆的膜层厚度也各不相同，影响膜层的均匀性，同时还会导致镀膜产品的边缘、棱角处无法完全沉积膜层，直接影响镀膜效果；由于行星锅里中外圈的膜厚不一致，需要加入一个修正板对膜厚进行修正，使里中外圈的膜厚一致，现有的调节行星锅均匀性的装置为一个固定的四周边缘为圆滑的弧形挡板外加一根固定角度连接杆组成，挡板通过螺丝固定在连接杆上。对行星锅里，中，外三圈膜厚均匀性进行调节...
【技术保护点】
1.一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，其特征在于，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。/n
【技术特征摘要】
1.一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，其特征在于，包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。
2.根据权利要求1所述的一种改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，其特征在于，所述挡板固定板固定有垂直于挡板固定板的...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖家骐，陈东旭，罗江平，陆绿，
申请(专利权)人：福建中科光芯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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