一种新型冷却遮板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型冷却遮板，包括冷却遮板本体，所述冷却遮板本体靠近热源直射的表面上加工成增加曝露面积的扩散形状面，所述冷却遮板本体内开设有直接深孔钻加工出的一道道可以供导热媒介全面直接接触遮板的循环深孔水路，所述冷却遮板本体外表面经过喷砂粗糙处理及染黑处理形成一层黑色磨砂层。本实用新型专利技术可运用于高精度温度控制之环境中，其各项主动抓热及吸热设计，可快速及时反映真空环境中之当前温度，依温度需求，搭配冰水机或油温机进行降温或升温，进行准确的温度精密控制，具有优异的冷却效果，可运用于高温环境，温度不易累积，不会造成遮板变形问题。

【技术实现步骤摘要】
一种新型冷却遮板
本技术涉及真空设备
，尤其涉及一种新型冷却遮板。
技术介绍
现行真空溅镀设备之腔内遮罩，於真空溅镀时，反应物直接溅射附着于腔内而设计之防镀遮罩，主要功能系以达到保护腔内清洁，防止直接被大量反应物职沉积，并间接遮断发热源产生之”真空辐射热”直接照射于腔体，但现行的设计往往造成此遮罩可以有效防止反应物直接沉积,但使用于高温热源的真空腔室环境热源持续累积无法被有效的媒介传导带走，容易造成严重变形。目前在物理气象沉积(PVD)及化学气象沉积(CVD)真空设备中，所采用的传统遮板设计主要还是以遮挡溅镀设备制程反应物附着，并阻断热源直射腔体或怕高温零件，但经常在高温直射状况下容易导致遮板严重变形，其水路设计采外部圆管焊接，非整体水路接触，无法快速将温度控制。有鉴于现行之遮罩缺点，为了克服目前传统遮板无法达到的弹性温度控制，此新技术采用主动积极地面对的设计概念，进行主动补抓温度或释放温度，此新技术的
融入五项重要设计及加工要素，更有效地满足现有设备在真空环境温度控制的问题，以应对未来真空镀膜设备面对未来市场多样产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型冷却遮板，其特征在于：包括冷却遮板本体，所述冷却遮板本体靠近热源直射的表面上加工成增加曝露面积的扩散形状面，所述冷却遮板本体内开设有直接深孔钻加工出的一道道可以供导热媒介全面直接接触遮板的循环深孔水路。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型冷却遮板，其特征在于：包括冷却遮板本体，所述冷却遮板本体靠近热源直射的表面上加工成增加曝露面积的扩散形状面，所述冷却遮板本体内开设有直接深孔钻加工出的一道道可以供导热媒介全面直接接触遮板的循环深孔水路。


2.根据权利要求1所述一种新型冷却遮板，其特征在于：所述扩散形状面为三角型、凹凸型、半圆波浪型中的一种。

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【专利技术属性】
技术研发人员：杨与胜，王俊尧，张建德，张延任，王树林，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35