阴极狭缝遮挡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。该阴极狭缝遮挡装置包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置，所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接，每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。本实用新型专利技术提供的阴极狭缝遮挡装置，能够对两个挡板之间阴极狭缝的宽度进行调节，从而有效控制膜层厚度及均匀性，提高产品的转化率。

Cathode slit shielding device

【技术实现步骤摘要】
阴极狭缝遮挡装置
本技术涉及PVD镀膜设备
，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。
技术介绍
目前，太阳能行业在中国的发展势头势不可挡，太阳能发电已经成为我国的重点科研项目。PVD镀膜作为太阳能电池的重要工艺，膜层的好坏将直接影响太阳能电池的质量和转换率，所以PVD镀膜的厚度及均匀性是PVD镀膜工艺的一个重要的研究方向。然而，现有的阴极镀膜方式，存在膜层厚度及均匀性不好控制的问题。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种阴极狭缝遮挡装置，解决现有技术无法有效控制膜层厚度及均匀性的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种阴极狭缝遮挡装置，包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分别与两个所述导轨对应滑动连接；每个所述挡板分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板两端。进一步地，每个所述驱动装置均包括驱动机构、与所述驱动机构连接的传动机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：包括两个挡板(3)、限位装置、以及驱动两个所述挡板(3)进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨(4)，每个所述挡板(3)分别设有两个滑块(5)，两个所述滑块(5)分别与两个所述导轨(4)对应滑动连接；每个所述挡板(3)分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板(3)两端。/n

【技术特征摘要】
1.一种阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：包括两个挡板(3)、限位装置、以及驱动两个所述挡板(3)进行相对或相向运动的驱动装置；所述限位装置包括两个平行设置的导轨(4)，每个所述挡板(3)分别设有两个滑块(5)，两个所述滑块(5)分别与两个所述导轨(4)对应滑动连接；每个所述挡板(3)分别连接两个所述驱动装置，两个所述驱动装置对应设置于所述挡板(3)两端。


2.根据权利要求1所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：每个所述驱动装置均包括驱动机构、与所述驱动机构连接的传动机构、以及与所述传动机构连接的齿轮(6)，每个所述挡板(3)分别设有两个齿条(7)，两个所述齿条(7)分别与两个所述齿轮(6)对应啮合连接。


3.根据权利要求2所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述驱动机构包括驱动电机(9)以及与所述驱动电机(9)连接的减速器(10)。


4.根据权利要求3所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：所述传动机构包括依次连接的减速器联轴器(11)、磁流体(12)和齿轮联轴器(13)，所述减速器联轴器(11)与所述减速器(10)相连，所述齿轮联轴器(13)与所述齿轮(6)相连。


5.根据权利要求4所述的阴极狭缝遮挡装置，其特征在于：两个所述挡板(3)和所述限位装置均设置于腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋永明，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11