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本实用新型涉及PVD镀膜设备技术领域，尤其涉及一种阴极狭缝遮挡装置。该阴极狭缝遮挡装置包括两个挡板、限位装置、以及驱动两个所述挡板进行相对或相向运动的驱动装置，所述限位装置包括两个平行设置的导轨，每个所述挡板分别设有两个滑块，两个所述滑块分...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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