气体传输装置制造方法及图纸

该实用新型专利技术涉及一种气体传输装置，包括：止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。上述气体传输装置通过设置在所述气体传输装置底部的止逆阀板来防止外界环境中的颗粒进入到所述气体传输装置内部，可以降低所述气体传输装置内部的晶圆被颗粒沾染的可能性，减少晶圆表面出现颗粒杂质，防止晶圆发生颗粒缺陷，提高晶圆的加工良率。

Gas transmission device

【技术实现步骤摘要】
气体传输装置
本技术涉及晶圆加工生产领域，具体涉及一种气体传输装置。
技术介绍
现在的晶圆生产过程中，都要求晶圆表面保持绝对的洁净，从而来保证晶圆生产加工的良率。如在晶圆的光刻中，晶圆表面、掩膜表面都需要保持决定的洁净，才能保证晶圆光刻的成功。现有的工艺机台都采用气体传输装置来将晶圆传输到真空环境中，再进行后续的工艺加工。然而，晶圆在经过所述气体传输装置传输后，晶圆表面经常出现颗粒杂质，晶圆表面的绝对洁净被破坏，容易发生颗粒缺陷，晶圆的加工良率降低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种气体传输装置，能够防止气体传输装置中的晶圆表面出现颗粒杂质，降低晶圆发生颗粒缺陷的可能性，提高晶圆的加工良率。为解决上述技术问题，以下提供了一种气体传输装置，包括：止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。可选的，所述止逆阀包括：止逆件，安装于至所述气体传输装置底部，用于阻挡外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。可选的，所述止逆阀还包括：框架，形状与所述止逆件的形状相一致，设置于所述气体传输装置底部，用于安装所述止逆件。可选的，所述止逆件为片状止逆件，且所述止逆件平铺在所述框架内。可选的，所述止逆阀板的尺寸与所述气体传输装置底部的尺寸相同，以使得所述气体传输装置底部完全被所述止逆阀板所覆盖。可选的，所述止逆阀还包括：铰链，包括第一合页和第二合页，所述第一合页和第二合页通过连接轴相连接，且所述第一合页连接至所述框架，所述第二合页连接至所述止逆件。可选的，所述第二合页可绕所述连接轴发生旋转，所述止逆件能够跟随所述第二合页绕所述连接轴发生旋转。可选的，所述止逆阀还包括：弹簧，设置于所述止逆阀朝向所述气体传输装置内部的一侧，且所述弹簧的一端连接至所述框架，另一端连接至所述止逆件，用于给所述止逆件施加朝向气体传输装置内部的力，以将向外打开的止逆件拉回至平铺于所述气体传输装置底部。可选的，所述止逆阀板包括多个止逆阀，且各个止逆阀并列排布于所述止逆阀板所在的平面上，并将所述止逆阀板铺满。上述气体传输装置通过设置在所述气体传输装置底部的止逆阀板来防止外界环境中的颗粒进入到所述气体传输装置内部，可以降低所述气体传输装置内部的晶圆被颗粒沾染的可能性，防止晶圆表面出现颗粒杂质，并进一步防止晶圆发生颗粒缺陷，提高晶圆的加工良率。附图说明图1为本技术一种具体实施方式中气体传输装置的结构示意图。图2为本技术一种具体实施方式中止逆阀板的结构示意图。图3为本技术一种具体实施方式中设置于止逆阀板的止逆阀打开时的示意图。图4为本技术一种具体实施方式中设置于止逆阀板的止逆阀打开时的侧视示意图。图5为本技术一种具体实施方式中止逆件与弹簧的连接示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种气体传输装置的作进一步详细说明。研究发现，气体传输装置的底部的缝隙让所述气体传输装置内部与外界环境相通，外界环境中的颗粒物会经由所述缝隙进入所述气体传输装置内，对所述气体传输装置内传输的晶圆造成影响，掉落在晶圆表面引起晶圆表面颗粒缺陷的产生，降低晶圆生产的良率。请参阅图1和图2，其中图1为本技术一种具体实施方式中气体传输装置的结构示意图，图2为本技术一种具体实施方式中止逆阀板的结构示意图。该具体实施方式中提供了一种气体传输装置100，包括：止逆阀板101，设置于所述气体传输装置100底部，包括止逆阀201，所述止逆阀201设置在所述气体传输装置100底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置100底部进入所述气体传输装置100。所述气体传输装置100是用于传输晶圆的。在一种具体实施方式中，所述气体传输装置100的入口处设置有晶圆装载台103，所述晶圆装载台103用于放置晶圆盒104，待传输的晶圆放置在所述晶圆盒104内。在所述气体传输装置100底部的止逆阀板101，能够防止外界环境中的颗粒通过所述气体传输装置100底部进入到所述气体传输装置100内部，降低所述气体传输装置100内部的晶圆被外界环境中的颗粒沾染的可能性，降低晶圆表面出现颗粒杂质的可能性，防止晶圆发生颗粒缺陷，提高晶圆的加工良率。在一种具体实施方式中，所述止逆阀板101包括多个止逆阀201，且各个止逆阀201并列排布于所述止逆阀板101所在的平面上。实际上，所述止逆阀201的数目的多少可以根据需要来进行设置。止逆阀201的数目越多，止逆阀201在空间上的分布越均匀，在通过所述止逆阀201向外排出气体时，排出气体的效果越均匀，不会在某一个位置存留有气体无法排出。在一些具体实施方式中，也可只设置单个的止逆阀201，在这种情况下，所述止逆阀201的尺寸应当足够大，以满足气体排出的要求。在一种具体实施方式中，所述止逆阀板101表面铺满了止逆阀201。实际上，所述止逆阀板101表面也可不被所述止逆阀201满铺。在一种具体实施方式中，所述止逆阀201包括：止逆件301，安装于至所述气体传输装置100底部，用于阻挡外界气体从所述气体传输装置100底部进入所述气体传输装置100。在一种具体实施方式中，所述止逆件301由耐腐蚀的材料制成，且所述止逆件301具有一定的硬度，难以发生形变。实际上，所述止逆件301也应当具有一定的柔韧度，以防止在所述止逆件301在收到冲击时发生碎裂，污染气体传输装置100的内环境。在一种具体实施方式中，所述止逆阀201还包括：框架401，形状与所述止逆件301的形状相一致，设置于所述气体传输装置100底部，用于安装所述止逆件301。在一种具体实施方式中，所述框架401也选用耐腐蚀、具有一定硬度的材料制成。在包含多个止逆阀201，且所述止逆阀201铺满了整个止逆阀板101表面时，可通过连接所述框架401，将各个止逆阀201连接到一起。在一种具体实施方式中，所述止逆件301安装至所述框架401内，且所述止逆件301和所述框架401均水平放置时，所述止逆件301与所述框架401之间无缝隙。所述框架401的尺寸与所述止逆件301的尺寸相匹配，具体的，所述框架401的内侧尺寸与所述止逆件301的尺寸相同，刚好将所述止逆件301包含在内。在一种具体实施方式中，各个框架401的连接方式为焊接，以使得各个止逆阀201之间无缝隙，不会有外界的气体通过各个止逆阀201的连接处进入至所述气体传输装置100内部。在一种具体实施方式中，所述止逆件301为片状止逆件，且所述止逆件301平铺在所述框架401内。设置片状止逆件能够在铺满所述框架401的同时，节省制备所述止逆件301所需的物料成本。实际上，也可根据需要将所述止逆件301设置为其他的形状。在一种具体实施方式中，所述止逆件301为方形片状止逆件，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体传输装置，其特征在于，包括：/n止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体传输装置，其特征在于，包括：
止逆阀板，设置于所述气体传输装置底部，包括止逆阀，所述止逆阀设置在所述气体传输装置底部，用于防止外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。


2.根据权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，所述止逆阀包括：
止逆件，安装于至所述气体传输装置底部，用于阻挡外界气体从所述气体传输装置底部进入所述气体传输装置。


3.根据权利要求2所述的气体传输装置，其特征在于，所述止逆阀还包括：框架，形状与所述止逆件的形状相一致，设置于所述气体传输装置底部，用于安装所述止逆件。


4.根据权利要求3所述的气体传输装置，其特征在于，所述止逆件为片状止逆件，且所述止逆件平铺在所述框架内。


5.根据权利要求1所述的气体传输装置，其特征在于，所述止逆阀板的尺寸与所述气体传输装置底部的尺寸相同，以使得所述气体传输装置底部完全被所述止逆阀板...

【专利技术属性】
技术研发人员：周舟，周亚勇，陈伏宏，刘家桦，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32