【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于与刷子无线通信的方法和设备相关申请本国际申请要求于2017年5月30日递交的名称为“用于与刷子无线通信的方法和设备(MethodsandApparatusesforWirelessCommunicationwithaBrush)”的美国专利申请编号15/607,849的优先权。美国专利申请编号15/607,849的全部内容通过引用并入本文中。
技术介绍
本公开涉及无线通信，并且更特别地，涉及用于与刷子无线通信的方法和设备。在半导体制造工业和其它工业中，刷子用于将污染物从表面(例如，从半导体晶片)去除。从制造商接收的传统的刷子并不是将立即使用的状态。而是，刷子通常在用于预期产品上之前被调节(或“调整适应”)。通过将调节和使用刷子的传统方法与本公开的其余部分中参照附图所阐述的本方法和系统的一些方面进行比较，传统方法的局限性和缺点对于本领域技术人员来说将变得显而易见。
技术实现思路
提供了一种用于刷子的无线通信的方法和设备，如权利要求书中更完整地阐述的，实质上如附图中的至少一幅所示出和结合附图中的至少一幅...
【技术保护点】
1.一种用于清洁半导体晶片的表面的刷子，所述刷子包括：/n中心核心；/n清洁材料，所述清洁材料处于所述中心核心周围；以及/n无线装置，所述无线装置与所述刷子相关联。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】20170530 US 15/607,8491.一种用于清洁半导体晶片的表面的刷子，所述刷子包括：
中心核心；
清洁材料，所述清洁材料处于所述中心核心周围；以及
无线装置，所述无线装置与所述刷子相关联。
2.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置是无源RFID标签。
3.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置(410)附接到所述刷子或嵌入在所述刷子中。
4.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置包括存储器，并且所述存储器的至少一部分被配置为提供写入存取和读取存取。
5.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置包括存储器，并且所述存储器的至少一部分是单次写入存储器。
6.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置包括存储器，并且所述无线装置被配置为接收命令以禁用对所述存储器的至少一部分的写入存取。
7.根据权利要求1所述的刷子，其中所述无线装置包括存储器，并且所述存储器被配置为存储刷子特性数据。
8.根据权利要求7所述的刷子，其中所述刷子特性数据包括以下各者中的一个或更多个：刷子识别号码、批次号码、产品识别码、刷子大小、调节历史、污染概况或指示将用于调节所述刷子的调节过程的信息。
9.根据权利要求1所述的刷子，其中所述刷子被配置为与以下各者中的一个或更多个一起使用：离线刷子调节系统、刷子监测系统或化学机械平坦化系统。
10.一种用于与被配置为清洁半导体晶片的表面的刷子通信的方法，所述方法包括：
通过电子装置与无线装置通信以执行将第一数据写入到所述无线装置中的存储器以及从所述无线装置中的所述存储器读取第二数据中的一者或两者，其中所述无线装置与所述刷子相关联。
11.根据权利要求10所述的方法，所述方法还包括：通过所述电子装置传输与将存储在所述无线装置中的所述刷子相关联的刷子特性数据。
12.一种离线刷子调节系统，所述系统包括：
第一调节室，所述第一调节室被配置为调节第一刷子；
技术研发人员：布拉德利·斯科特·威瑟斯，科里·艾伦·休斯，埃里克·斯科特·纳尔逊，史蒂芬·肯尼斯·克里斯蒂，布伦特·艾伦·贝斯特，
申请(专利权)人：伊利诺斯工具制品有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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