一种检测装置及设备制造方法及图纸

本申请提供一种检测装置及设备，属于激光技术领域。该检测装置，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用于移动所述相机；所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。在本申请实施例中，通过在不同位置处获取激光光束的图像，得到最小光斑以及激光光束的远场位置，进而可以准确的获得垂直腔面发射激光器的发散角以及激光的光束质量。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置及设备
本申请涉及技术激光
，例如，涉及一种检测装置及设备。
技术介绍
目前，对于垂直腔面发射激光器(Vertical－cavitysurface－emittinglaser，VCSEL)的检测都是依靠发光二极管(LED)测试平台，由于LED测试与激光测试本质上的不同，激光的发散特性并不是简单的直线扩散，因此，LED测试平台无法准确的获取垂直腔面发射激光器的发散角，也无法测试最小光斑和激光的光束质量的准确性。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种检测装置及设备，以改善上述“无法准确的获取垂直腔面发射激光器的发散角，也无法测试最小光斑和激光的光束质量的准确性”问题。为了解决上述技术问题，本申请实施例通过如下方式实现：第一方面，本申请实施例提供一种检测装置，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用于移动所述相机；所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。在本申请实施例中，通过在不同位置处获取激光光束的图像，得到最小光斑以及激光光束的远场位置，进而可以准确的获得垂直腔面发射激光器的发散角以及激光的光束质量。并且，通过本申请实施例中的放大成像系统可以使得测量更精准，减小机械误差。结合上述第一方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述放大成像系统包括显微物镜和镜筒；所述显微物镜设置在所述镜筒的一端，所述待测的垂直腔面发射激光器置于所述显微物镜远离所述镜筒的一侧。在本申请中，通过设置显微物镜和镜筒可以更加精确的放大待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束，使得测量更加准确。结合上述第一方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述放大成像系统还包括管透镜；所述管透镜设置在所述镜筒的另一端，所述管透镜与所述显微物镜位于所述镜筒的相对两端。在本申请中，加装管透镜可以达到更好的聚焦效果，进一步地提高测量效果。结合上述第一方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述显微物镜的放大倍数为10倍。结合上述第一方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述移动件包括连接件、滑轨以及电机；所述连接件与所述相机连接，所述连接件置于所述滑轨上，所述电机用于驱动所述连接件沿着所述滑轨的轨道移动，以移动所述相机。在本申请中，通过设置电机、滑轨可以使得相机稳定的移动至测量位置，减少了测试时的机械误差。结合上述第一方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述移动件包括连接件、滑槽以及电机；所述连接件与所述相机连接，所述连接件置于所述滑槽内部，所述电机用于驱动所述连接件沿着所述滑槽移动，以移动所述相机。在本申请中，设置滑槽使得稳定性更好。第二方面，本申请实施例提供一种检测设备，应用于检测垂直腔面发射激光器，所述检测设备包括：操作台以及置于所述操作台上的如上述第一方面提供的检测装置。结合上述第二方面提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述检测设备还包括固定件；所述固定件置于所述操作台上，所述固定件用于固定所述待测的垂直腔面发射激光器。本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例而了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本申请实施例提供的一种检测装置的结构示意图。图2为本申请实施例提供的一种相机和移动件的结构示意图。图3为本申请实施例提供的一种检测设备的结构示意图。图4为本申请实施例提供的一种检测方法的方法流程图。图5为本申请实施例提供的一种获取步骤S103的方法的流程图。图6为本申请实施例提供的一种获取步骤S105的方法的流程图。图标：100-检测装置；10-放大成像系统；11-显微物镜；12-镜筒；13-管透镜；20-相机；30-移动件；31-连接件；32-滑轨；33-电机；200-待测的垂直腔面发射激光器；300-检测设备；40-操作台；50-固定件。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本申请实施例的描述中，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在现有技术中，对于垂直腔面发射激光器的检测都是依靠LED测试平台，由于LED测试与激光测试本质上的不同，激光的发散特性并不是简单的直线扩散，因此，LED测试平台无法准确的获取垂直腔面发射激光器的发散角，也无法测试最小光斑和激光的光束质量的准确性。鉴于上述问题，本申请专利技术人经过研究探索，提出以下实施例以解决上述问题。请参考图1，本申请实施例提供一种检测装置100，应用于检测垂直腔面发射激光器。具体的，该检测装置100用于检测垂直腔面发射激光器的最小光斑、发散角以及激光的光束质量。该检测装置100包括：放大成像系统10、相机20以及移动件30。放大成像系统10置于待测的垂直腔面发射激光器200与相机20之间，且待测的垂直腔面发射激光器200、放大成像系统10以及相机20共光轴设置。其中，该放大成像系统10用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器200发出的激光光束。可选地，该放大成像系统10包括显微物镜11和镜筒12。显微物镜11设置在该镜筒12的一端。待测的垂直腔面发射激光器200置于该显微物镜11远离镜筒121的一侧。在本实施例中，所选取的是放大倍数为10倍的显微物镜11。可以理解，在不同的场景下，所选取的显微物镜11放大倍数不同，比如，在其他场景还可以选用50倍放大倍数的显微物镜11，对此，本申请不作限定。在本申请实施例中，通过设置显微物镜11和镜筒12可以更加精确的放大待测的垂直腔面发射激光器200发出的激光光束，使得测量更加准确。作为又一种实施方式，放大成像系统10也可以是其他的设备，比如放大镜，在此，本申请不作限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；/n所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；/n所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；/n所述移动件用于移动所述相机；/n所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；
所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；
所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；
所述移动件用于移动所述相机；
所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统包括显微物镜和镜筒；所述显微物镜设置在所述镜筒的一端，所述待测的垂直腔面发射激光器置于所述显微物镜远离所述镜筒的一侧。


3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述显微物镜的放大倍数为10倍。


4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统还包括管透镜；所述管透镜设置在所述镜筒的另一端，所述管透...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄继欣，张钧，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44