一种检测装置及设备制造方法及图纸

本申请提供一种检测装置及设备，属于激光技术领域。该检测装置，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用于移动所述相机；所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。在本申请实施例中，通过在不同位置处获取激光光束的图像，得到最小光斑以及激光光束的远场位置，进而可以准确的获得垂直腔面发射激光器的发散角以及激光的光束质量。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置及设备
本申请涉及技术激光
，例如，涉及一种检测装置及设备。
技术介绍
目前，对于垂直腔面发射激光器(Vertical－cavitysurface－emittinglaser，VCSEL)的检测都是依靠发光二极管(LED)测试平台，由于LED测试与激光测试本质上的不同，激光的发散特性并不是简单的直线扩散，因此，LED测试平台无法准确的获取垂直腔面发射激光器的发散角，也无法测试最小光斑和激光的光束质量的准确性。
技术实现思路
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种检测装置及设备，以改善上述“无法准确的获取垂直腔面发射激光器的发散角，也无法测试最小光斑和激光的光束质量的准确性”问题。为了解决上述技术问题，本申请实施例通过如下方式实现：第一方面，本申请实施例提供一种检测装置，应用于检测垂直腔面发射激光器；所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；所述移动件用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；/n所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；/n所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；/n所述移动件用于移动所述相机；/n所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，应用于检测垂直腔面发射激光器；
所述检测装置包括放大成像系统、相机以及与所述相机连接的移动件；待测的垂直腔面发射激光器、放大成像系统以及所述相机共光轴设置；
所述放大成像系统用于放大所述待测的垂直腔面发射激光器发出的激光光束；
所述移动件用于移动所述相机；
所述相机用于在不同位置处获取经所述放大成像系统放大后的激光光束的图像。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统包括显微物镜和镜筒；所述显微物镜设置在所述镜筒的一端，所述待测的垂直腔面发射激光器置于所述显微物镜远离所述镜筒的一侧。


3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述显微物镜的放大倍数为10倍。


4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述放大成像系统还包括管透镜；所述管透镜设置在所述镜筒的另一端，所述管透...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄继欣，张钧，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44