气体传感器及传感器元件制造技术

提供一种气体传感器(100)，其具备：元件主体，其具有氧离子传导性的固体电解质层(1～6)，且在内部设置有被测定气体流通部；主泵单元(21)，其用于调整第一内部空腔(20)的氧浓度；辅助泵单元(50)，其用于调整第二内部空腔(40)的氧浓度；预备泵单元(15)，其向缓冲空间(12)汲入氧；测定电极(44)，其配设于第三内部空腔(61)的内周面上；以及基准电极(42)。预备泵单元(15)的预备泵电极(16)和主泵单元(21)的内侧泵电极(22)中的至少一方不含有：具有催化活性抑制能力的贵金属，辅助泵单元(50)的辅助泵电极(51)包含：具有催化活性抑制能力的贵金属。

Gas sensor and sensor element

【技术实现步骤摘要】
气体传感器及传感器元件
本专利技术涉及一种气体传感器及传感器元件。
技术介绍
以往，已知有：对汽车的尾气等被测定气体之中的NOx等特定气体的浓度进行检测的气体传感器。例如，专利文献1中记载有如下气体传感器，其具备：氧离子传导性的多个固体电解质层的层叠体、以及设置于固体电解质层的电极。在利用该气体传感器来检测NOx的浓度的情况下，首先，在传感器元件的内部的被测定气体流通部与传感器元件的外部之间进行氧的汲出或汲入，从而调整被测定气体流通部内的氧浓度。而且，对调整了氧浓度之后的被测定气体之中的NOx进行还原，基于对应于还原后的氧浓度而流通于传感器元件内部的电极(测定电极)的电流，来检测被测定气体之中的NOx的浓度。另外，专利文献2中记载有：用于检测被测定气体中的氨的浓度的气体传感器。在该气体传感器中，以被测定气体之中的氧将氨氧化为NOx，利用与专利文献1同样的方法，来检测源自于该氨的NOx的浓度，由此检测氨的浓度。另外，专利文献1中记载了：用于调整氧浓度的泵单元之中的配置于被测定气体流通部的内侧泵电极为包含1％Au的Pt与ZrO2的金属陶瓷电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体传感器，其特征在于，具备：/n元件主体，该元件主体具有氧离子传导性的固体电解质层，且在内部设置有供被测定气体导入并流通的被测定气体流通部；/n主泵单元，该主泵单元将所述被测定气体流通部之中的第一内部空腔的氧汲出，来调整该第一内部空腔的氧浓度；/n辅助泵单元，该辅助泵单元将所述被测定气体流通部之中的设置于所述第一内部空腔的下游侧的第二内部空腔的氧汲出，来调整该第二内部空腔的氧浓度；/n预备泵单元，该预备泵单元向所述被测定气体流通部之中的设置于所述第一内部空腔的上游侧的预备室汲入氧，以使得低氧气氛的所述被测定气体不会到达所述第一内部空腔；/n测定电极，该测定电极配设于所述被测定气体流通...

【技术特征摘要】
20180702 JP 2018-126301;20190327 JP 2019-0599551.一种气体传感器，其特征在于，具备：
元件主体，该元件主体具有氧离子传导性的固体电解质层，且在内部设置有供被测定气体导入并流通的被测定气体流通部；
主泵单元，该主泵单元将所述被测定气体流通部之中的第一内部空腔的氧汲出，来调整该第一内部空腔的氧浓度；
辅助泵单元，该辅助泵单元将所述被测定气体流通部之中的设置于所述第一内部空腔的下游侧的第二内部空腔的氧汲出，来调整该第二内部空腔的氧浓度；
预备泵单元，该预备泵单元向所述被测定气体流通部之中的设置于所述第一内部空腔的上游侧的预备室汲入氧，以使得低氧气氛的所述被测定气体不会到达所述第一内部空腔；
测定电极，该测定电极配设于所述被测定气体流通部中的设置于所述第二内部空腔的下游侧的测定室的内周面上；
基准电极，该基准电极配设于所述元件主体的内部，且被导入作为所述被测定气体中的特定气体浓度的检测基准的基准气体；
测定用电压检测机构，该测定用电压检测机构用于检测所述基准电极与所述测定电极之间的测定用电压；以及
特定气体浓度检测机构，该特定气体浓度检测机构基于所述测定用电压，来取得与源自所述特定气体而在所述测定室产生的氧相对应的检测值，并基于该检测值，来检测所述被测定气体之中的特定气体浓度，
所述预备泵单元具有配设于所述预备室的内侧预备泵电极，
所述主泵单元具有配设于所述第一内部空腔的内侧主泵电极，
所述辅助泵单元具有配设于所述第二内部空腔的内侧辅助泵电极，
所述内侧预备泵电极、所述内侧主泵电极、所述内侧辅助泵电极、以及所述测定电极分别包含：具有催化活性的贵金属，
所述内侧预备泵电极和所述内侧主泵电极中的至少一方不含有：具有能够抑制所述贵金属针对所述特定气体而言的催化活性的催化活性抑制能力的贵金属，
所述内侧辅助泵电极包含：具有所述催化活性抑制能力的贵金属。


2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，
具备预备泵控制机构，该预备泵控制机构以一定的预备泵电流流过所述预备泵单元的方式对该预备泵单元进行控制。


3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其特征在于，
具备存储机构，该存储机构对所述检测值和所述特定气体浓度之间的关系式所相关的信息进行存储，
所述特定气体浓度检测机构无论所述元件主体的外部的被测定气体是否为低氧气氛，都使用存储在所述存储机构中的相同关系式，来检测所述特定气体浓度。


4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的气体传感器，其特征在于，
所述特定气体浓度检测机构用于检测：基于所述元件主体的外部的所述被测定气体的氧浓度而进行修正后的所述特定气体浓度。


5.根据权利要求4所述的气体传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：中垣邦彦，冈本拓，中曾根修，生驹信和，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP