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气体传感器及传感器元件制造技术
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文档序号:23083522
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提供一种气体传感器(100),其具备:元件主体,其具有氧离子传导性的固体电解质层(1~6),且在内部设置有被测定气体流通部;主泵单元(21),其用于调整第一内部空腔(20)的氧浓度;辅助泵单元(50),其用于调整第二内部空腔(40)的氧浓度...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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