一种复合结构的差动电容传感器定极板制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种差动电容传感器的极板结构，尤其涉及一种复合结构的差动电容传感器定极板。
技术介绍
现有倾斜仪多数采用高精度电容位移传感器测量摆体相对仪器框架的位移变化；而电容位移传感器的测量精度和稳定性与极板面积、形状、表面粗糙度以及电容极板间距的变化密切相关。由整块金属制成的极板极难得到既要有较小的边缘效应、又要有较小的温度膨胀系数和还要具有较小的应力变形系数的结构。
技术实现思路
本技术的目的就在于克服现有的电容位移传感器稳定性低给测量带来的误差，提供一种复合结构的差动电容传感器定极板，减少边缘效应，减小温度变化时的变形和受应力时的变形，具有更高的稳定性和更高的灵敏度。本技术解决其技术问题采用的技术方案是：1、采用两种不同的材料复合构成定极板：基板采用温度膨胀系数小、应力变形系数小、介电常数稳定、表面可被加工为镜面的绝缘材料，保证传感器定极板的几何形状稳定性和镀层的平整光洁；另一种材料是导电性好、柔顺性好的金属，使用镀膜法在基板正反表面分别镀层；正面镀层作为传感器定极板电极，要求厚度小、光洁度高，减少极板厚度带来的边缘效应和极板表面粗糙度带来的噪声；背面镀层起屏蔽作用，要求覆盖整个基板的背面，同时形成以基板材料为介质的电容作为位移电容电桥的一个组成部分；2、在基板的顶部与测量镀层连接处切有宽度窄的斜面，此斜面表面镀金，位于有效面积之外，起传导作用；外接导线连接在斜面上，可使导线连接到测量镀层的同时，对传感器的电容不造成影响；由于基板是绝缘材料且占了定极板绝大部分的体积，使得定极板拥有和基板材料相同的温度膨胀系数和应力变形系数，对温度变化和应力改变不敏感；镀层厚...
【技术保护点】
一种复合结构的差动电容传感器定极板，其特征在于：由基板（1）、电容镀层（2）、屏蔽镀层（3）和导电斜面（4）组成；在基板（1）的正面设置有电容镀层（2），在基板（1）的背面设置有屏蔽镀层（3），在基板（1）和电容镀层（2）的左端面设置有导电斜面（4）。
【技术特征摘要】
2016.03.29 CN 20162024828891.一种复合结构的差动电容传感器定极板，其特征在于：由基板（1）、电容镀层（2）、屏蔽镀层（3）和导电斜面（4）组成；在基板（1）的正面设置有电容镀层（2），在基板（1）的背面设置有屏蔽镀层（3），在基板（1）和电容镀层（2）的左端面设置有导电斜面（4）。2.按权利要求1所述的复合结构的差动电容传感器定极板，其特征在于：所述的基板（1）是一种热膨胀系数和应力变形系数小的绝缘长方体。3.按权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张黎，李树德，张道忠，蔡庆福，吴涛，张慧华，
申请(专利权)人：中国地震局地震研究所，武汉地震科学仪器研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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