【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种填充式气体分压结构，特别是关于一种无 限填充式气体分压结构。
技术介绍
产业中有许多制程为符合广大应用的需求，都需要依靠可靠的 加工气体来源，此等气体经常都储存在钢瓶或容器内，然后经控制 的条件下由钢瓶输送至制程当中。例如在半导体产业中，使用许 多特用的气体，如薄膜沉积的磷化氢、砷化三氢或三氟化硼等。由 于其高毒性和自然性，所以该气体都具有显著的安全性和环境上的 争议。除了毒性因素外，该气体中是有许多压縮并液化使以高压方 式储存于钢瓶中。为了方便，有人利用在现场以电化学的方式产生该气体，因为 在现场合成该气体有困难，所以有许多新进的技术以低压储存和输 送系统将此等气体吸附于固体承载物上。但该等储存及输送系统也并不是没有问题。该系统会遭遇到容量不足和输送的限制；不良的热传导等等问题，实为一大缺憾。有鉴于此，上述现有技术的缺失，本技术提出一种无限填 充式气体分压结构，以解决存在于现有技术中的该些缺失。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种无限填充式气体分压结 构，其是透过涡轮吸气装置，可以与置钢架与填充钢瓶一同并联， 当填充钢瓶内部的气体使用完毕后，...
【技术保护点】
一种无限填充式气体分压结构，包括：一置钢架，在该置钢架上设置有多个串接的填充钢瓶；一输送管，一端与多个填充钢瓶连接，另一端则和一混合处理钢瓶与一转换器并联；且自该混合处理钢瓶连接出另一输送管，分别并连至该转换器内部；一输出管，一端连接至该转换器，另一端则将该转换器输出的气体输出连接一第一钢瓶、一第二钢瓶、一第三钢瓶、一第四钢瓶与一第五钢瓶的上部，并将气体储存；多个控制输出管，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶连接；一压力箱，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶下方的该控制输出管连接，负责将该控制输出管输出的气体进行压缩；以及...
【技术特征摘要】
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