无限填充式气体分压结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种填充式气体分压结构，特别是关于一种无限填充式气体分压结构，包含一置钢架，在置钢架上设置有多个串接的填充钢瓶；一输送管，一端与多个填充钢瓶连接，另一端则和一混合处理钢瓶与一转换器并联；且自该混合处理钢瓶连接出另一输送管，分别并连至该转换器内部；一输出管，一端连接至转换器，另一端则将转换器输出的气体输出连接钢瓶的上部，并将气体储存；多个控制输出管，与第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶连接；以及一压力箱，与钢瓶下方的控制输出管连接，负责将控制输出管输出的气体进行压缩。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种填充式气体分压结构，特别是关于一种无 限填充式气体分压结构。
技术介绍
产业中有许多制程为符合广大应用的需求，都需要依靠可靠的 加工气体来源，此等气体经常都储存在钢瓶或容器内，然后经控制 的条件下由钢瓶输送至制程当中。例如在半导体产业中，使用许 多特用的气体，如薄膜沉积的磷化氢、砷化三氢或三氟化硼等。由 于其高毒性和自然性，所以该气体都具有显著的安全性和环境上的 争议。除了毒性因素外，该气体中是有许多压縮并液化使以高压方 式储存于钢瓶中。为了方便，有人利用在现场以电化学的方式产生该气体，因为 在现场合成该气体有困难，所以有许多新进的技术以低压储存和输 送系统将此等气体吸附于固体承载物上。但该等储存及输送系统也并不是没有问题。该系统会遭遇到容量不足和输送的限制；不良的热传导等等问题，实为一大缺憾。有鉴于此，上述现有技术的缺失，本技术提出一种无限填 充式气体分压结构，以解决存在于现有技术中的该些缺失。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种无限填充式气体分压结 构，其是透过涡轮吸气装置，可以与置钢架与填充钢瓶一同并联， 当填充钢瓶内部的气体使用完毕后，就可以利用涡轮吸气装置直接 吸取大自然的空气，进行转换的动作，可以有效达到节约能源的功效，非常适合大量生产。本技术的主要目的在于提供一种无限填充式气体分压结 构，其是透过热源转换装置，将一端压力箱产生的热量，经由填充 钢瓶输出时的放热，达到热平衡，可以有效降低压力箱的温度，达 到降温的功效。 -为达上述的目的，本技术涉及一种填充式气体分压结构， 特别是关于一种无限填充式气体分压结构，包含一置钢架，在置钢 架上设置有多个串接的填充钢瓶； 一输送管， 一端与多个填充钢瓶 连接，另一端则和一混合处理钢瓶与一转换器并联；且自该混合处 理钢瓶连接出另一输送管，分别并连至该转换器内部； 一输出管， 一端连接自转换器，另一端则将转换器输出的气体输出自钢瓶的上 部，并将气体储存；多个控制输出管，与第一钢瓶、该第二钢瓶、 该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶连接；以及一压力箱，与钢 瓶下方的控制输出管连接，负责将控制输出管输出的气体进行压縮 并转换输出，结构简单，稳定性高。以下藉由具体实施例配合所附的附图详加说明，当更容易了解 本技术的目的、
技术实现思路
、特点及其所达成的功效。附图说明图l为本技术无限填充式气体分压结构立体图。图2为本技术无限填充式气体分压结构另一实施例图。图3为本技术无限填充式气体分压结再一实施例图。具体实施方式为方便简洁了解本技术的其它特征内容与优点及其所达 成的功效能够更为明显，兹将本技术配合附图，详细说明如下请参阅图l，为本技术无限填充式气体分压结构立体图。 如图所示， 一置钢架IO，在该置钢架10上设置有多个串接的填充钢 瓶12; —输送管14， 一端与多个填充钢瓶12连接，另一端则和一混合处理钢瓶16与一转换器18并联；且自该混合处理钢瓶16连接出另 一输送管20，分别并连至该转换器18内部，且在该混合处理钢瓶16 与该输送管14连接处，还包含有一自动减压安全装置161，且该混合 处理钢瓶16与填充钢瓶12的间的该输送管上还包含设置有一气压过 温器121，在该混合处理钢瓶16与该转换器18之间，还包含有一控制 开关181; —输出管22， 一端连接至该转换器18，另一端则将该转换 器18输出的气体输出连接一第一钢瓶24、 一第二钢瓶26、 一第三钢 瓶28、 一第四钢瓶30与一第五钢瓶32的上部，经开关221控制，并将 气体储存在该第一钢瓶24、该第二钢瓶26、该第三钢瓶28、该第四 钢瓶30与该第五钢瓶32;多个控制输出管36，设置于该第一钢瓶24、 该第二钢瓶26、该第三钢瓶28、该第四钢瓶30与该第五钢瓶32的底 部；又， 一压力箱34，与该第一钢瓶24、该第二钢瓶26、该第三钢 瓶28、该第四钢瓶30与该第五钢瓶32下方的该控制输出管36连接， 负责将该控制输出管36输出的气体进行压縮，才可以由管路38输出； 以及一热源转换装置40，透过传输管401、 402， 一端设置于该压力 箱34，另一端连接于输出的填充钢瓶12附近，使压力箱34再作动时 产生的高温，可以经由得钢瓶输出气体时产生放热而达到降温的动 作，该热源转换装置40内部可以填充天然的水。又在该输出管22上还可外加设置有多个钢瓶24、 26、 28、 30、 32与该控制输出管36，并与该压力箱34连接，可以并联延伸更多的 钢瓶。再请参阅图2，图2为本技术无限填充式气体分压结构另一 实施例图，如图所示， 一涡轮吸气装置42，可以取代置钢架10与填 充钢瓶12，如此 一 来就可以利用涡轮吸气装置42直接吸取大自然的 空气，进行分解处理，取之不尽，用之不竭。再请参阅图3，图3为本技术无限填充式气体分压结再一实 施例图。 一涡轮吸气装置42,可以与置钢架10与填充钢瓶12—同并 联，当使用完填充钢瓶12内的气体，就可以利用涡轮吸气装置42直 接吸取大自然的空气，进行分解处理，取之不尽，用之不竭。综上所述，本技术在突破现有技术结构下，确实己达到所 欲增进的功效。 .以上所述的实施例仅是为说明本技术的技术思想及特点， 其目的在使本领域的普通技术人员能够了解本技术的内容并据 以实施，当不能以限定本技术的专利范围，即大凡依本实用新 型所揭示的精神所作的等同变化或修饰，仍应涵盖在本技术的 专利范围内。主要组件标号说明置钢架10填充钢瓶12气压过温器121输送管14混合处理钢瓶1 6自动减压安全装置161转换器18控制开关181输送管20输出管22开关221第一钢瓶24第二钢瓶26第三钢瓶28第四钢瓶30第五钢瓶32压力箱34控制输出管36管路38热源转换装置40 传输管401、 402涡轮吸气装置4权利要求1.一种无限填充式气体分压结构，包括一置钢架，在该置钢架上设置有多个串接的填充钢瓶；一输送管，一端与多个填充钢瓶连接，另一端则和一混合处理钢瓶与一转换器并联；且自该混合处理钢瓶连接出另一输送管，分别并连至该转换器内部；一输出管，一端连接至该转换器，另一端则将该转换器输出的气体输出连接一第一钢瓶、一第二钢瓶、一第三钢瓶、一第四钢瓶与一第五钢瓶的上部，并将气体储存；多个控制输出管，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶连接；一压力箱，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶下方的该控制输出管连接，负责将该控制输出管输出的气体进行压缩；以及一热源转换装置，一端设置于该压力箱，另一端连接于输出的该钢瓶附近，使高温的压力箱可以获得钢瓶输出气体时而进行降温。2. 如权利要求l所述的无限填充式气体分压结构，其中，在该混合 处理钢瓶与该填充钢瓶的间的该输送管上还包含设置有一气压 过温器。3. 如权利要求l所述的无限填充式气体分压结构，其中，在该混合 处理钢瓶与该输送管连接处，还包含有一自动减压安全装置。4. 如权利要求l所述的无限填充式气体分压结构，其中，在该混合 处理钢瓶与该转换器的间，还包含有 一 控制开关。5. 如权利要求l所述的无限填充式气体分压结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无限填充式气体分压结构，包括：一置钢架，在该置钢架上设置有多个串接的填充钢瓶；一输送管，一端与多个填充钢瓶连接，另一端则和一混合处理钢瓶与一转换器并联；且自该混合处理钢瓶连接出另一输送管，分别并连至该转换器内部；一输出管，一端连接至该转换器，另一端则将该转换器输出的气体输出连接一第一钢瓶、一第二钢瓶、一第三钢瓶、一第四钢瓶与一第五钢瓶的上部，并将气体储存；多个控制输出管，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶连接；一压力箱，与该第一钢瓶、该第二钢瓶、该第三钢瓶、该第四钢瓶与该第五钢瓶下方的该控制输出管连接，负责将该控制输出管输出的气体进行压缩；以及一热源转换装置，一端设置于该压力箱，另一端连接于输出的该钢瓶附近，使高温的压力箱可以获得钢瓶输出气体时而进行降温。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟源政，
申请(专利权)人：钟源政，
类型：实用新型
国别省市：71[]