一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。由恒温控制装置控制测厚探头水冷循环回路的蓄水箱中水热装置，配合水冷装置，即时调节水温并维持在一个恒定的温度，保证测厚探头在镀膜真空室内的高温环境下能正常工作，同时提供给冷却回路的恒温冷却水不随环境温度变化而变化，减少测厚探头温差波动，测量数据更准确，提高镀膜质量。

A constant temperature water circulation system of thickness measuring probe of vacuum coater

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统
本技术涉及镀膜机设备，尤其涉及一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统。
技术介绍
真空镀膜机镀膜时需要控制成膜的厚度，目前使用最多的方法是使用石英膜厚控制仪来控制成膜的厚度，从而使镀制出来的薄膜实现各种功能。如：减反、高反、分光、滤光等等。因为，真空镀膜机的真空室在工作时常常处于高温状态，所以，位于真空室里的石英膜厚仪的测厚探头需要通冷却水来降温。实践证明石英膜厚仪测厚探头的水温变化会直接带来镀膜的光学零件表面成膜的膜厚变化，造成成膜质量的不稳定，甚至出现不良品。目前，现有技术方案采用简单的水循环系统对测厚探头进行降温处理，虽然能对测厚探头降温，使其维持在高温的工作环境，但仍然会产生温差变化从而影响测厚探头不稳定，镀膜质量不高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，使石英膜厚仪的测厚探头经循环的恒温水进行降温处理，同时极大减小温差波动对测厚探头造成的影响，提高镀膜质量。本技术所采用的技术方案是：一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。其中，所述恒温控制装置包括温度控制电箱、温度传感器，所述温度传感器接入蓄水箱，所述温度控制电箱分别与水热装置、温度传感器电性连接。其中，所述水热装置为加热棒。其中，所述水冷装置包括水路串接的冷水机、第二水泵和冷却铜管，所述冷却铜管放置于蓄水箱中。本技术与现有技术相比具有以下优点：本技术的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，由恒温控制装置控制测厚探头水冷循环回路的蓄水箱中水热装置，配合水冷装置，即时调节水温并维持在一个恒定的温度，保证测厚探头在镀膜真空室内的高温环境下能正常工作，同时提供给冷却回路的恒温冷却水不随环境温度变化而变化，减少测厚探头温差波动，测量数据更准确，提高镀膜质量。附图说明图1是本技术的水路结构示意图。图中标号所示为1-蓄水箱、2-水热装置、21-加热棒、3-水冷装置、31-冷水机、32-冷却铜管、33-第二水泵、4-第一水泵、5-测厚探头水冷管、6-恒温控制装置、61-温度控制电箱、62-温度传感器。具体实施方式：为加深本技术的理解，下面将结合实施案例和附图对本技术作进一步详述。本技术可通过如下方式实施：参见图1所示的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，包括蓄水箱1、接入所述蓄水箱1的水热装置2、水冷装置3，还包括第一水泵4、测厚探头水冷管5，所述蓄水箱1、第一水泵4、测厚探头水冷管5相互水路连接成循环回路，持续为测厚探头水冷管5提供流动循环水对测厚探头进行水冷降温。还包括与水热装置2电性连接的恒温控制装置6，由于水热装置2配合水冷装置3能对蓄水箱1中的水温度高低调节，因此通过恒温控制装置6即可将水温稳定在一个恒定值，使供给的循环冷却水稳定地给测厚探头降温，温差波动小，有效提升镀膜质量。具体的，所述恒温控制装置6包括温度控制电箱61、温度传感器62，所述温度传感器62放置在蓄水箱1中，所述温度控制电箱61分别与水热装置2、温度传感器62电性连接。温度控制电箱61将来自温度传感器62感知水箱水温的反馈与设定值比对后，控制是否开启水热装置2，对水箱水温进行调节，使其保持在设定的恒定值，为测厚探头提供恒温冷却水。具体的，所述水热装置2为加热棒21。具体的，所述水冷装置3包括水路串接的冷水机31、冷却铜管32、第二水泵33，所述冷却铜管32放置于蓄水箱1中。由水冷装置3常态化给蓄水箱1中的经过测厚探头水冷管5的循环水进行冷却，若循环水水温过低，温度传感器62反馈信号至温度控制电箱61比对后及时开启加热棒21对蓄水箱1的水加热升温，使循环水维持在一个恒定的温度，不至于过低或过高。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：包括蓄水箱、接入所述蓄水箱的水热装置、水冷装置，还包括第一水泵、测厚探头水冷管，所述蓄水箱、第一水泵、测厚探头水冷管相互水路连接成循环回路，还包括与水热装置电性连接的恒温控制装置。


2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机测厚探头的恒温水循环系统，其特征在于：所述恒温控制装置包括温度控制电箱、温度传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢志坚，
申请(专利权)人：中山晶通光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44