【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机水冷却循环系统
本技术涉及镀膜机设备领域，尤其涉及真空镀膜机水冷却循环系统。
技术介绍
真空镀膜设备运行时有许多部分需要冷却水冷却。如：真空室、机械泵、扩散泵、电子枪、阻蒸、晶控探头等。这些部位的冷却是通过焊接在外壳的铜管和本身带有金属管道通入冷却水来散热。冷却水流入带走热量，然后再回到冷却塔冷却，被冷却的水再通过水泵重新回到设备冷却水管，以此循环。在冷却塔上通常配置自来水和自来水补水装置作为冷却水源。但自来水中有很多矿物质，在水流经设备冷却管道时，因为高温而使水中的矿物质析出形成水垢粘在设备的冷却管道上，时间一久水垢会堵塞冷却水管使得水路不通真空设备无法散热，严重时设备无法工作，甚至造成设备损坏。而堵塞的水管因为线径细而且多弯曲极难疏通，有时要用除垢剂花费几天的时间来疏通管道，严重地时候冷却水管报废需要重新焊接。造成生产停产，损失严重。
技术实现思路
本技术的目的在于提供真空镀膜机水冷却循环系统，能避免或减轻水垢堵塞冷却水管的现象，节省清理成本，保证机器长时间正常运行，结构简单，操作便捷。
【技术保护点】
1.真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：包括形成回路的相互水路连接的水塔、镀膜机冷却管路、第一水泵，还包括分别与水塔水路连接的纯净水补水装置及自来水备用补水装置，还包括水位控制装置，所述水位控制装置分别与纯净水补水装置和自来水备用补水装置电性连接。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述水位控制装置包括设置于水塔中的第一水位传感器，还包括与所述第一水位传感器电性连接的补水控制电箱。
3.如权利要求2所述的真空镀膜机水冷却循环系统，其特征在于：所述纯净水补水装置包括相互水路连接的纯水桶、第一电磁阀、第二水泵，所述第二水泵出水口接入水塔，所述第一电...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢志坚，
申请(专利权)人：中山晶通光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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