镀膜装置制造方法及图纸

一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、盖板组件以及密封元件，所述盖板组件包括盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及用以驱动所述摇臂带动盖板绕第一转轴旋转的旋转驱动机构；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力。如此设置，本发明专利技术的镀膜装置性能较好且易于操作。

coating device

The coating device includes a main body part with a coating chamber, a cover plate assembly and a sealing element, the cover plate assembly includes a cover plate and a rocker arm fixed on the cover plate; the coating device also includes at least two sets of jacking mechanisms for jacking the cover plate assembly and a rotating driving mechanism for driving the rocker arm to drive the cover plate to rotate around the first rotating shaft; the shaking mechanism The arm is provided with a fixing part which is located on one side of the first rotating shaft and fixed with the cover plate and a force applying part which is located on the other side of the first rotating shaft; the rotating driving mechanism includes a rotating driving part and a position compensation mechanism which is connected with the force applying part to avoid the force on the rotating driving part in the process of the cover plate assembly being lifted. In this way, the coating device of the invention has better performance and is easy to operate.

【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
本专利技术涉及一种镀膜装置，能够应用于气相沉积真空镀膜

技术介绍
镀膜设备的镀膜腔室都需要至少一个可开闭的盖板，以便往镀膜腔室内装载产品和从镀膜腔室内卸载已被镀膜的产品。盖板的开启方式主要有上开和侧开两种，其中上开的开启方式多采用手动吊装机构或气缸驱动的提升机构，其自动化程度低；因为开启后的盖板需要平移至设备的侧面，导致设备占地面积大；另外，盖板内侧的膜层清理操作不方便，操作者不得不下蹲操作或将沉重的盖板移到另外的工作区域清理膜层。翻转侧开的开启方式多采用手动操作，由于盖板的重量较大，手动开启和关闭操作，费时费力且不安全，须经其他机构或工具辅助才能完成。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种性能较好且易于操作的镀膜装置。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种镀膜装置，其包括具有镀膜腔室的主体部、安装在所述主体部上的盖板组件以及位于所述主体部与所述盖板组件之间的密封元件，所述盖板组件包括用以密封所述镀膜腔室的盖板以及固定在所述盖板上的摇臂；所述镀膜装置还包括用以顶起所述盖板组件的至少两组顶起机构以及在所述盖板组件被顶起后用以驱动所述摇臂绕第一转轴旋转以打开所述镀膜腔室的旋转驱动机构，其中所述两组顶起机构包括用以顶起所述盖板组件的顶起驱动件，所述第一转轴与相应的所述顶起驱动件的驱动端相连，以能够在初始位置以及顶起位置之间运动；所述摇臂设有位于所述第一转轴的一侧且与所述盖板相固定的固定部以及位于所述第一转轴的另一侧的施力部；所述旋转驱动机构包括旋转驱动件以及连接在所述旋转驱动件的驱动端的位置补偿机构，所述位置补偿机构与所述施力部相连，所述位置补偿机构用以在所述盖板组件被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件受力；所述镀膜装置还设有平行于所述第一转轴的第二转轴，其中所述第一转轴能够绕所述第二转轴旋转。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述两组顶起机构分别具有所述顶起驱动件，所述第一转轴与其中一个所述顶起驱动件的驱动端相连。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述两组顶起机构分别设有与所述盖板相配合的滚轮。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述施力部包括第一延伸臂、第二延伸臂以及连接在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的横杆，所述位置补偿机构与所述横杆相连。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述镀膜装置还设有当所述盖板覆盖所述镀膜腔室时，以补偿因所述密封元件被压缩而导致所述盖板产生位移的补偿机构。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述补偿机构包括所述第二转轴以及连接所述第一转轴与所述第二转轴的连接臂。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述补偿机构包括与所述盖板相连的弹簧机构或者弹性材料。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述盖板能够在所述旋转驱动机构的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置包括将所述盖板固定在所述垂直位置的保险机构。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述盖板能够在所述旋转驱动机构的驱动下旋转90度至垂直位置，所述镀膜装置包括将所述盖板固定在所述垂直位置的保险机构，所述保险机构为锁扣在所述横杆上的挂钩。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述保险机构为插销。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述位置补偿机构设有与所述旋转驱动件的受力端面相卡扣的限位端面以及相对于所述限位端面的抵靠端面，所述限位端面与所述抵靠端面相隔一补偿距离，所述第一转轴相对所述顶起驱动件移动具有一顶升距离，所述补偿距离大于或小于所述顶升距离。相较于现有技术，本专利技术通过设置至少两组顶起机构能够将盖板组件平稳地顶起；通过设置位置补偿机构能够在所述盖板组件被顶起的过程中避免使旋转驱动件受力，不影响所述盖板的水平状态，从而确保所述盖板与所述密封元件均匀地脱离，具有较好的性能；当盖板组件被顶起后，通过旋转驱动件使所述盖板绕第一转轴旋转打开，提高了自动化程度，更易于操作。附图说明图1是本专利技术镀膜装置的立体示意图。图2是图1的主视图，其中盖板处于初始位置。图3是将图2中的盖板组件处于顶起位置时的主视图。图4是将图3中的盖板组件绕第一转轴旋转时的主视图。图5是将图4中的盖板组件绕第一转轴旋转至打开位置时的主视图。图6是图1的部分立体分解图，其中盖板组件被分离出来。图7是图5的立体示意图。图8是旋转驱动机构的立体示意图。图9是图3中画圈部分的局部放大图。具体实施方式请参图1至图8所示，本专利技术揭示了一种镀膜装置100，其能够应用于化学气相沉积(以下简称CVD)镀膜设备、物理气相沉积(以下简称PVD)镀膜设备或者其他的真空镀膜设备中。请参图1、图2及图6所示，所述镀膜装置100包括具有镀膜腔室10的主体部1、安装在所述主体部1上的盖板组件2、位于所述主体部1与所述盖板组件2之间的密封元件3、用以顶起所述盖板组件2的至少两组顶起机构4、在所述盖板组件2被顶起后用以驱动所述盖板组件2旋转的旋转驱动机构5、以及用以将所述盖板组件2固定在打开位置的保险机构6。在本专利技术图示的实施方式中，所述主体部1的顶部设有腔室法兰11，所述密封元件3安装在所述腔室法兰11上。所述盖板组件2包括用以密封所述镀膜腔室10的盖板21以及固定在所述盖板21上的摇臂22。所述摇臂22能够在旋转驱动机构5的作用下绕第一转轴71旋转以打开所述镀膜腔室10。在本专利技术图示的实施方式中，所述镀膜腔室10呈圆柱状，所述盖板21大致呈圆形。当然，在其他实施方式中，所述镀膜腔室10也可以为其他形状，所述盖板21的形状可以为正方形、矩形或者其他形状，只要能够保证盖板21在处于闭合状态下能够完全遮蔽住镀膜腔室10即可。所述密封元件3在本专利技术的一种实施方式中为密封圈，密封元件3设置在盖板21的内表面与所述主体部1的顶面之间，其可以设置在盖板21的内表面或者所述主体部1的顶面。当所述盖板21打开后，可以向镀膜腔室10内装载产品以及从镀膜腔室10内卸载已被镀膜的产品。所述密封元件3能够保证镀膜腔室10在抽真空后，镀膜腔室10的气密性不受影响。在本专利技术图示的实施方式中，所述两组顶起机构4采用沿圆形盖板21周向180度对称位置水平等高布置，亦即两组顶起机构4位于主体部1的相对两侧，且两组顶起机构4的高度一致。在其他实施方式中，所述顶起机构4的数量也可以采取三个或者三个以上；优选地，这些顶起机构4均匀分布在所述盖板21的周向上，以平均分担顶起盖板21的力量，而能够更平稳地将盖板21向上顶起。所述两组顶起机构4包括例如用以沿直线顶起所述盖板组件2的顶起驱动件41。在本专利技术图示的实施方式中，所述两组顶起机构4向上沿直线顶起所述盖板组件2。所述第一转轴71与相应的所述顶起驱动件41的驱动端相连，以能够在初始位置A以及顶起位置B之间运动(请参图3及图9所示)。换言之，所述第一转轴71是一个浮动的转轴，其所在位置能够在顶起机构4的作用下发生变化。请参图6所示，在本专利技术图示的实施方式中，所述两组顶起机构4分别具有所述顶起驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜装置(100)，其包括具有镀膜腔室(10)的主体部(1)、安装在所述主体部(1)上的盖板组件(2)以及位于所述主体部(1)与所述盖板组件(2)之间的密封元件(3)，所述盖板组件(2)包括用以密封所述镀膜腔室(10)的盖板(21)以及固定在所述盖板(21)上的摇臂(22)；其特征在于：所述镀膜装置(100)还包括用以顶起所述盖板组件(2)的至少两组顶起机构(4)以及在所述盖板组件(2)被顶起后用以驱动所述摇臂(22)绕第一转轴(71)旋转以打开所述镀膜腔室(10)的旋转驱动机构(5)，其中所述两组顶起机构(4)包括用以顶起所述盖板组件(2)的顶起驱动件(41)，所述第一转轴(71)与相应的所述顶起驱动件(41)的驱动端相连，以能够在初始位置(A)以及顶起位置(B)之间运动；所述摇臂(22)设有位于所述第一转轴(71)的一侧且与所述盖板(21)相固定的固定部(221)以及位于所述第一转轴(71)的另一侧的施力部(222)；所述旋转驱动机构(5)包括旋转驱动件(51)以及连接在所述旋转驱动件(51)的驱动端的位置补偿机构(52)，所述位置补偿机构(52)与所述施力部(222)相连，所述位置补偿机构(52)用以在所述盖板组件(2)被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件(51)受力；所述镀膜装置(100)还设有平行于所述第一转轴(71)的第二转轴(72)，其中所述第一转轴(71)能够绕所述第二转轴(72)旋转。/n...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置(100)，其包括具有镀膜腔室(10)的主体部(1)、安装在所述主体部(1)上的盖板组件(2)以及位于所述主体部(1)与所述盖板组件(2)之间的密封元件(3)，所述盖板组件(2)包括用以密封所述镀膜腔室(10)的盖板(21)以及固定在所述盖板(21)上的摇臂(22)；其特征在于：所述镀膜装置(100)还包括用以顶起所述盖板组件(2)的至少两组顶起机构(4)以及在所述盖板组件(2)被顶起后用以驱动所述摇臂(22)绕第一转轴(71)旋转以打开所述镀膜腔室(10)的旋转驱动机构(5)，其中所述两组顶起机构(4)包括用以顶起所述盖板组件(2)的顶起驱动件(41)，所述第一转轴(71)与相应的所述顶起驱动件(41)的驱动端相连，以能够在初始位置(A)以及顶起位置(B)之间运动；所述摇臂(22)设有位于所述第一转轴(71)的一侧且与所述盖板(21)相固定的固定部(221)以及位于所述第一转轴(71)的另一侧的施力部(222)；所述旋转驱动机构(5)包括旋转驱动件(51)以及连接在所述旋转驱动件(51)的驱动端的位置补偿机构(52)，所述位置补偿机构(52)与所述施力部(222)相连，所述位置补偿机构(52)用以在所述盖板组件(2)被顶起的过程中避免使所述旋转驱动件(51)受力；所述镀膜装置(100)还设有平行于所述第一转轴(71)的第二转轴(72)，其中所述第一转轴(71)能够绕所述第二转轴(72)旋转。


2.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述两组顶起机构(4)分别具有所述顶起驱动件(41)，所述第一转轴(71)与其中一个所述顶起驱动件(41)的驱动端相连。


3.如权利要求2所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述两组顶起机构(4)分别设有与所述盖板(21)相配合的滚轮(42)。


4.如权利要求1所述的镀膜装置(100)，其特征在于：所述施力部(222)包括第一延伸臂(2221)、第二延伸臂(2222...

【专利技术属性】
技术研发人员：何宝东，王凯，宋文庆，张建飞，盛兆亚，
申请(专利权)人：苏州沃盾纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32