等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于提供一种能够检测头的连接器与电力线缆是否已经电连接的等离子体发生装置。在等离子体头的连接器与线缆束已经电连接的情况下，根据从控制器输出的脉冲信号，使信号电流在从控制器起经由光耦合器、继电器、线缆、端子、端子以及第一接地线缆而到达地线的路径中流动。因而，等离子体发生装置能够根据光耦合器是否检测出信号电流来检测等离子体头的连接器与第一电力线缆以及第二电力线缆是否已经电连接。

Plasma generator

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体发生装置
本专利技术涉及一种等离子体发生装置。
技术介绍
在专利文献1中，例如公开了一种具备电流传感器的线缆故障显示装置，该电流传感器具有三相线缆分别接地的屏蔽件(金属屏蔽体)，检测经由屏蔽件朝向地线流动的接地电流。根据专利文献1的线缆故障显示装置，在接地电流超过预定值的情况下，能够检测出线缆已经接地。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-314009号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，等离子体发生装置对头所具备的一对电极施加电压，使一对电极之间产生放电，并将由头产生的等离子体向对象物照射。另外，头具备与朝向一对电极供给电力的一对电力线缆电连接的、例如连接器等，连接器与一对电力线缆的电连接有时能够解除。在该情况下，若在头所具备的连接器与一对电力线缆之间并未电连接的状态下向一对电力线缆供给电力，则从与连接器连接的一对电力线缆的一方的末端部分朝向附近的金属发生短路或者放电，导致电流流动。附近的金属例如是电力线缆的屏蔽件、一对电力线缆的另一方的末端部分、其它装置的壳体等。在此，在电流从一对电力线缆的一方的末端部分朝向电力线缆的屏蔽件流动的情况下，通过专利文献1记载的结构，能够通过电流传感器检测出头的连接器与一对电力线缆并未电连接。然而，在屏蔽件以外的附近的金属中流动有电流的情况下，无法通过专利文献1记载的结构检测出头的连接器与一对电力线缆之间是否已经电连接。本申请就是鉴于上述课题而提出的，其目的在于提供一种能够检测出头的连接器与电力线缆是否已经电连接的等离子体发生装置。用于解决课题的技术方案本说明书公开一种等离子体发生装置，该等离子体发生装置具备：头，具备连接器，该连接器具有向通过放电而产生等离子体的电极供电的端子以及被接线的第一端子和第二端子；电力线缆，向端子供电；线缆，向第一端子传输信号；第一接地线缆，使第二端子接地；以及检测器，检测随着信号的传输而在从线缆至第一接地线缆的路径中流动的信号电流。专利技术效果根据本公开，能够提供一种等离子体发生装置，在连接器与线缆以及第一接地线缆连接的情况下，由于检测器检测信号电流，因此能够检测出头的连接器与电力线缆是否已经电连接。附图说明图1是表示安装于工业用机器人的等离子体发生装置的概略结构的图。图2是等离子体头的立体图。图3是表示等离子体头的内部结构的剖面图。图4是表示等离子体发生装置的控制系统的框图。图5是表示等离子体头与控制装置的电连接的框图。具体实施方式整体结构等离子体发生装置10具备等离子体头11、控制装置110、线缆束40、气体配管80以及检测模块120等。等离子体发生装置10从控制装置110经由线缆束40向等离子体头11传输电力，经由气体配管80供给处理气体，从等离子体头11照射等离子体。等离子体头11安装于工业用机器人100的机械臂101的前端。线缆束40以及气体配管80沿机械臂101安装。机械臂101是使两个臂部105、105在一个方向上连结而成的多关节机器人。工业用机器人100驱动机械臂101，进行对工作台5所支撑的工件W照射等离子体的作业。如后所述，线缆束40具有第一电力线缆50、第二电力线缆51、线缆52以及第一接地线缆53。气体配管80具有未图示的第一气体配管和第二气体配管。控制装置110具有第一处理气体供给装置111以及第二处理气体供给装置112。第一处理气体供给装置111将包括氮气等的非活性气体作为处理气体而供给。第二处理气体供给装置112将包括干燥空气等的活性气体作为处理气体而供给。另外，在控制装置110中具备触摸面板113。触摸面板113显示各种设定画面、装置的动作状态等。等离子体头的结构接着，使用图2和图3来说明等离子体头11的结构。如图2所示，等离子体头11具备主体块20、一对电极22、22(图3)、缓冲部件26、第一连结块28、反应室块30以及第二连结块32。在以下的说明中，方向使用图2所示的方向。在主体块20的上表面形成有沿上下方向贯通的孔(未图示)，在贯通的孔中安装有圆筒状的上部保持架54、54。在上部保持架54、54中插入有棒状的导电部58、58，且被上部保持架54、54固定地保持。导电部58、58分别与第一电力线缆50以及第二电力线缆51电连接。在导电部58、58的下方的前端部安装有一对电极22、22。一对电极22、22大致为棒状。在主体块20中，在主体块20的上表面的沿Y轴方向的中心线上的位置形成有沿上下方向贯通的第一气体流路62的开口部。另外，在主体块20的左右的面形成有两条第二气体流路66的开口部。第一气体流路62以及第二气体流路66分别与第一气体配管以及第二气体配管物理连接(关于连接状态未图示)。缓冲部件26大致呈板状，由硅树脂制的材料成形。第一连结块28、反应室块30以及第二连结块32大致呈厚板形状，由陶瓷制的材料成形。接着，使用图3来说明等离子体头11的内部构造。在主体块20的下表面形成有一对圆柱状的圆柱凹部60。另外，在主体块20的内部形成有第一气体流路62和两条第二气体流路66。第一气体流路62在一对圆柱凹部60之间开口，两条第二气体流路66在一对圆柱凹部60的内部开口。此外，第二气体流路66形成为在从主体块20的左右面起朝向主体块20的中央部并沿X轴方向延伸了预定距离之后，朝向下方向弯折。另外，第一气体流路62形成为在从主体块20的上表面起朝向下方并沿Z轴方向延伸了预定距离之后，朝向后方弯折，进而朝向下方弯折。在缓冲部件26形成有与圆柱凹部60连通的插入部76。在第一连结块28形成有与插入部76连通的插入部64。在反应室块30形成有与插入部64连通的插入部63。主体块20的圆柱凹部60、插入部76、插入部64以及插入部63连通，内部的空间为反应室35。在第二连结块32形成有沿上下方向贯通的多个连通孔36。多个连通孔36形成为在Y方向上的中央部沿X方向并排。等离子体照射接着，说明等离子体发生装置10中的等离子体产生。将混合了氮气等非活性气体与干燥空气的气体作为处理气体向第一气体流路62供给。将供给至第一气体流路62的气体向反应室35供给。另外，将氮气等非活性气体作为处理气体向第二气体流路66供给。将供给至第二气体流路66的非活性气体向反应室35供给。另外，对一对电极22、22施加电压。由此，在一对电极22、22之间产生模拟电弧放电而流动有电流。通过模拟电弧放电而将处理气体等离子体化。此外，模拟电弧放电是指以不像通常的电弧放电那样流动有大电流的方式一边利用等离子体电源来限制电流一边进行放电的方式的电弧放电。在反应室35产生的等离子体经由第二连结块32的多个连通孔36而喷出，从而向工件W照射等离子体。控制系统接着，使用图4来说明等离子体发生装置10的控制系统。除了上述结构之外，控制装置110还具备控制器130、电源装置140以及多个驱动电路132。多个驱动电路13本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：/n头，具备连接器，所述连接器具有向通过放电而产生等离子体的电极供电的端子以及被接线的第一端子和第二端子；/n电力线缆，向所述端子供电；/n线缆，向所述第一端子传输信号；/n第一接地线缆，使所述第二端子接地；以及/n检测器，检测随着所述信号的传输而在从所述线缆至所述第一接地线缆的路径中流动的信号电流。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：
头，具备连接器，所述连接器具有向通过放电而产生等离子体的电极供电的端子以及被接线的第一端子和第二端子；
电力线缆，向所述端子供电；
线缆，向所述第一端子传输信号；
第一接地线缆，使所述第二端子接地；以及
检测器，检测随着所述信号的传输而在从所述线缆至所述第一接地线缆的路径中流动的信号电流。


2.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其中，
所述检测器是使发光元件处在所述路径上的光耦合器。


3.根据权利要求1或2所述的等离子体发生装置，其中，
所述等离子体发生装置具备处在所述信号的输出装置与所述线缆之间的继电器，
所述继电器具有与所述信号的输出装置连接的第一输入端子、接地的第二输入端子以及与所述线缆连接的输出端子，根据所述信号的传输而将与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：神藤高广，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP