一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体电子元器件平面加工设备技术领域，特别涉及一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构。包括减速箱；减速箱设于底板上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱内；主驱动系统有三组；均包括驱动电机，驱动电机均布于减速箱四周的底板上,驱动电机上连有主皮带轮；三个从动皮带轮交错设于减速箱内，主皮带轮与从动皮带轮通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；轴系传动系统包括三根同心的主轴和三组传动轴承；三根主轴均沿竖向设置且下部通过轴承固设于减速箱内，顶端通过螺钉分别装配有下盘、拨轮与太阳轮，底部的输入端分别与三个蜗轮相连。本实用新型专利技术结构紧凑、占用空间小，传动精度高，运行平稳。

A kind of worm gear transmission mechanism for precision double faced grinder

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构
本技术属于半导体电子元器件平面加工设备
，特别涉及一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构。
技术介绍
在国内，半导体一直是我们制造业中比较薄弱的一块，半导体技术相较国外落后严重。我国拥有世界上最大的消费市场，但用于手机等通讯行业的芯片百分之八十以上都是依赖进口，我们信息技术的自主权仍然受到桎梏和约束。近年来，随着需求的持续增大和国家也加大了对芯片技术的扶持，国内生产芯片的技术提高明显，迅速崛起了不少硅片设备和加工厂商，包括硅片成型，切割，减薄，研磨，抛光等。其中，最后三道工艺最为关键，也是难度最大的。尽管多种规格的研磨设备被研发成功，但是仍然存在很多技术难题制约着国产设备的进一步发展。例如现有的大部分研磨设备主驱动部分采用的是齿轮与齿轮啮合传动，但是齿轮传动相对而言运行不够平稳，占用空间大，特别是现有设备使用的开式齿轮传动会被研磨过程中的粉尘或颗粒污染，从而降低了设备寿命和加工精度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构。为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：提供一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构，包括主驱动系统、减速箱、轴系传动系统与蜗轮蜗杆机构；减速箱设于底板上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱内；主驱动系统有三组；均包括驱动电机，驱动电机均布于减速箱四周的底板上,驱动电机上连有主皮带轮；三个从动皮带轮交错设于减速箱内，主皮带轮与从动皮带轮通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；轴系传动系统包括三根同心的主轴和三组传动轴承；三根主轴均沿竖向设置且下部通过轴承固设于减速箱内，顶端通过螺钉分别装配有下盘、拨轮与太阳轮，底部的输入端分别与三个蜗轮相连。作为一种改进，下盘通过螺钉连接固定在下盘托架上，下盘托架设于下盘轴承座内并通过轴承相连；下盘轴承座通过螺钉连接安装在支撑套上，支撑套设于下盘所连主轴的中部，支撑套底端通过螺钉连接安装在减速箱上。作为一种改进，减速箱内设有减速箱支架。作为一种改进，下盘托架与下盘轴承座间中心处设有连接板。作为一种改进，驱动电机通过驱动电机座固设于底板上。作为一种改进，驱动电机通过键与主皮带轮连接。作为一种改进，蜗轮蜗杆机构为为双包络蜗轮蜗杆。与现有技术相比，本技术的技术效果是：本技术结构紧凑、占用空间小，传动精度高，运行平稳，蜗轮蜗杆密封在减速箱里能隔绝外界环境污染，延长了使用寿命。附图说明图1为本技术的整体的正视图；图2为本技术的侧视图；图3为本技术的剖视图。附图中的标记为：1-第一电机座，2-第一主皮带轮，3-第一驱动电机，4-第一从动皮带轮，5-拨轮，6-太阳轮，7-下盘，8-下盘托架，9-下盘轴承座，10-支撑套，11-减速箱，12-减速箱支架，13-第二驱动电机，14-第二电机座，15-底板，16-第三从动皮带轮，17-第三主皮带轮,18-第三驱动电机，19-第三电机座，20-第二主皮带轮，21-第二从动皮带轮，22-第一蜗杆，23-第一蜗轮，24-第一轴承，25-第一主轴，26-第二蜗轮，27-第二蜗杆，28-第二主轴，29-第三蜗杆，30-第三蜗轮，31-第二轴承，32-第三主轴，33-第三轴承，34-连接板，35-第四轴承。具体实施方式下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述。如图1-3所示，一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构，包括主驱动系统、减速箱、轴系传动系统与蜗轮蜗杆机构；减速箱11设于底板15上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱11内；减速箱11内设有减速箱支架12。蜗轮蜗杆机构为为双包络蜗轮蜗杆。主驱动系统有三组；包括第一驱动电机3、第二驱动电机13、第三驱动电机18，第一驱动电机3、第二驱动电机13、第三驱动电机18分别通过第一电机座1、第二电机座14与第三电机座19均布于减速箱11四周的底板15上，第一驱动电机3、第二驱动电机13、第三驱动电机18上各通过键连有第一主皮带轮2、第二主皮带轮20、第三主皮带轮17；三个从动皮带轮交错设于减速箱11内，第一主皮带轮2、第二主皮带轮20、第三主皮带轮17分别与第一从动皮带轮5、第二从动皮带轮21、第三从动皮带轮16通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；轴系传动系统包括同心的第一主轴25、第二主轴28与第三主轴32；第一主轴25、第二主轴28与第三主轴32均沿竖向设置且下部通过第一轴承24、第二轴承31与第三轴承33固设于减速箱11内，第一主轴25、第二主轴28与第三主轴32顶端通过螺钉分别装配有下盘7、拨轮5与太阳轮6，第一主轴25、第二主轴28与第三主轴32底部的输入端分别与第一蜗轮23、第二蜗轮26与第三蜗轮30相连。下盘7通过螺钉连接固定在下盘托架8上，下盘托架8设于下盘轴承座9内并通过第四轴承35相连；下盘轴承座9通过螺钉连接安装在安装套10上，安装套10套设于第一主轴25的中部，安装套10底端通过螺钉连接安装在减速箱11上。下盘托架8与下盘轴承座9间中心处设有连接板34。本技术的使用方法：开启第一驱动电机3，通过第一主皮带轮2和第一从动皮带轮4带动第三蜗杆29转动，第三蜗杆29带动与之啮合的第三蜗轮30转动，第三蜗轮30转动带动与之连接的第三主轴32转动，第三主轴32通过连接板34和下盘托架8最终带动下盘7转动；开启第二驱动电机13，通过第二主皮带轮20和第二从动皮带轮21带动第二蜗杆27转动，第二蜗杆27带动与之啮合的第二蜗轮26转动，第二蜗轮26带动与之连接的第二主轴28转动，第二主轴28带动太阳轮6转动；开启第三驱动电机18，通过第三主皮带轮17和第三从动皮带轮16带动第三蜗杆22转动，第三蜗杆22带动与之啮合的第三蜗轮23转动，第三蜗轮23带动与之连接的第三主轴25转动，第三主轴25带动拨轮5转动(拨轮再带动上盘转动)。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构，其特征在于，包括主驱动系统、减速箱、轴系传动系统与蜗轮蜗杆机构；/n所述减速箱设于底板上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱内；/n所述主驱动系统有三组；均包括驱动电机，驱动电机均布于减速箱四周的底板上,驱动电机上连有主皮带轮；三个从动皮带轮交错设于减速箱内，主皮带轮与从动皮带轮通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；/n所述轴系传动系统包括三根同心的主轴；三根主轴均沿竖向设置且下部通过轴承固设于减速箱内，顶端通过螺钉分别装配有下盘、拨轮与太阳轮，底部的输入端分别与三个蜗轮相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构，其特征在于，包括主驱动系统、减速箱、轴系传动系统与蜗轮蜗杆机构；
所述减速箱设于底板上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱内；
所述主驱动系统有三组；均包括驱动电机，驱动电机均布于减速箱四周的底板上,驱动电机上连有主皮带轮；三个从动皮带轮交错设于减速箱内，主皮带轮与从动皮带轮通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；
所述轴系传动系统包括三根同心的主轴；三根主轴均沿竖向设置且下部通过轴承固设于减速箱内，顶端通过螺钉分别装配有下盘、拨轮与太阳轮，底部的输入端分别与三个蜗轮相连。


2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述下盘通过螺钉连接固定在下盘托架上，下...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，周锋，曹建伟，傅林坚，卢嘉彬，吴兵兵，严浩，刘文涛，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33