一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种钛酸钡‑钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法，所述材料组成的体积比为SrRuO

【技术实现步骤摘要】
一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法
本专利技术属于电子信息材料、功能材料和智能材料领域，具体涉及一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法。
技术介绍
铁电薄膜具有优越的铁电、压电、介电和光电等电学性能，在数据存储器、晶体场效应管、声表面波器件、传感器和致动器等集成铁电器件上有着广泛的应用。目前，一般常用的铁电材料是以锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3，简称PZT)为代表的铅基氧化物陶瓷材料,其中的PbO含量约占原料总量的70％。在铅基铁电材料的生产、使用和废弃后的处理过程中存在着对生态环境严重污染的风险。在欧州议会已经通过的关于“电器和电子设备中限制有害物质”的法令中，含铅的铁电、压电材料是被限制使用的物质。我国信息产业部在电子信息产品污染重点防治目录中也要求电子信息产品中不得含有铅、汞、镉、六价铬等有害物质。因此，随着环境保护意识和人类社会可持续发展理念的不断增强，无铅铁电材料已经成为世界各主要科研大国大力研发的重点材料之一。近几年，无铅铁电材料的开发与应用已经取得了一些显著的进展。但是，无铅铁电材料的铁电、压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料组成的体积比为SrRuO

【技术特征摘要】
1.一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料组成的体积比为SrRuO3：2～9vol％，BaTiO3:91～98vol％。


2.按照权利要求1所述的钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：所述纳米复合薄膜材料剩余极化强度为14.1～40.3μC/cm2，饱和极化强为27.4～47.8μC/cm2，介电常数为1083～1220，介电损失为0.04～0.09。


3.按照权利要求1所述的钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：平均尺寸为8.5nm的钌酸锶纳米粒子均匀地分布在钛酸钡基体上。


4.按照权利要求1所述的钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜分别具有(001)(110)(111)面晶体取向。


5.按照权利要求1-4任一所述钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料的厚度为350～400nm。


6.一种权利要求1所述钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料的制备方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
(1)、把钛酸钡靶材和钌酸锶靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：王占杰，
申请(专利权)人：沈阳工业大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21