The invention aims to provide a barium titanate / lanthanum nickel oxide Ferroelectric Superlattice film material and a preparation method thereof. The material is composed of a periodically growing ferroelectric oxide material barium titanate and a metal conductive oxide material lanthanum nickel oxide. The barium titanate / lanthanum nickel Titanate Ferroelectric Superlattice film material has the advantages that the dielectric constant is increased by 11-90% compared with the pure barium titanate film, and has good ferroelectric polarization performance, and the residual polarization strength reaches 13.1 \u03bc C / cm
【技术实现步骤摘要】
一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料及其制备方法
本专利技术属于电子信息材料、功能材料和智能材料领域，具体涉及一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料及其制备方法。
技术介绍
铁电薄膜具有优良的铁电、压电、光电和介电等电学性能，在数据存储器、晶体场效应管、声表面波器件等集成铁电器件上有广泛的应用前景。开发新型的铁电薄膜材料，大幅度提高铁电薄膜的铁电、介电等电学性能，对提高集成铁电器件的功能特性具有重要意义。利用薄膜制备技术，在特定的基板上将钙钛矿氧化物铁电材料与其他钙钛矿氧化物材料交替生长，制备成铁电超晶格薄膜材料，与其构成材料对比可以大幅度地提高铁电、介电等电学性能。铁电超晶格薄膜材料无论在化学成分上还是在微观组织结构上皆与其构成材料不同，所以可以认为是一种有别于纯铁电材料的“新型”铁电材料。因此，铁电超晶格薄膜材料的制备及其应用也得到了越来越多的关注。通常，在铁电超晶格薄膜的构成材料中，除了必需的铁电材料，人们常选用绝缘的钙钛矿氧化物材料作为另一种构成材料，比如SrTiO3、CaTiO3等。其理由是，由铁电材料与绝缘...
【技术保护点】
1.一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料包含铁电性材料BaTiO
【技术特征摘要】
1.一种钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料包含铁电性材料BaTiO3和金属导电性氧化物材料LaNiO3。
2.按照权利要求1所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料具有(001)面取向，钛酸钡和镍酸镧皆呈现层状并且周期性的交替排列。
3.按照权利要求1所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料表示为BTO-x/LNO-y，其中：BTO代表BaTiO3，x代表BTO的周期厚度，为30个晶胞；LNO代表LaNiO3，y代表LNO的周期厚度，为1-3个晶胞。
4.按照权利要求1所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料生长在氧化物单晶基片上。
5.按照权利要求1所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料生长在铌掺钛酸锶单晶基片上。
6.按照权利要求1-5任一所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料，其特征在于：该铁电超晶格薄膜材料的厚度为250～350nm。
7.一种权利要求1所述钛酸钡/镍酸镧铁电超晶格薄膜材料的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
(1)、把钛酸钡和镍酸镧靶材安放在脉冲激光沉积设备的沉积室中，利...
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