一种晶圆烘干槽制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本实用新型专利技术一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率。

A kind of wafer drying tank

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆烘干槽
本技术涉及晶圆清洗设备
，尤其涉及一种晶圆烘干槽。
技术介绍
在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇(IPA)吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。高纯氮气的消耗量很大，所以需要对氮气快速加热，但是现有的单台高纯氮气加热器的加热速度不能满足氮气用量需求，只能多台联合使用，导致设备成本增高，同时加热时间长。
技术实现思路
技术目的：提供一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率。一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。进一步的，所述石英内槽体位于外槽体内部，所述石英内槽体与外槽体中间填充隔热保温棉。进一步的，所述石英碳素加热器的内部焊接有K型热电偶。进一步的，所述K型热电偶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆烘干槽，其特征在于：包括石英内槽体(1)以及外槽体(2)；所述石英内槽体(1)底端设置有石英碳素加热器(3)，所述石英内槽体(1)通过支撑架与氮气加热器(5)相连接，所述氮气加热器(5)与石英碳素加热器(3)位置相对应，所述外槽体(2)的侧边设置有有杆水缸(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘干槽，其特征在于：包括石英内槽体(1)以及外槽体(2)；所述石英内槽体(1)底端设置有石英碳素加热器(3)，所述石英内槽体(1)通过支撑架与氮气加热器(5)相连接，所述氮气加热器(5)与石英碳素加热器(3)位置相对应，所述外槽体(2)的侧边设置有有杆水缸(4)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干槽，其特征在于：所述石英内槽体(1)位于外槽体(2)内部，所述石英内槽体(1)与外槽体(2)中间填充隔热保温棉。


3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静强，徐福兴，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32