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本实用新型提供一种晶圆烘干槽，包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本实用新型一种晶圆烘干槽，...
该专利属于昆山基侑电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山基侑电子科技有限公司授权不得商用。

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